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一种电子显微镜用高亮度长寿命阴极Y_2O_3-lr 被引量:1
1
作者 陈尔纲 沈凤鸣 郑如梅 《仪器仪表学报》 EI CAS 1981年第1期18-23,共6页
本文介绍了一种适宜于电子显微镜用的高亮度长寿命的新阴极Y_2O_3-1r。测量其热发射特性:介于Th-W阴极与LaB_6阴极之间。测量其电子枪特性:束流稳定度可达7×10^(-3),亮度可达3×10~5A/cm^2·sr,交叉斑直径约为20μ。根据... 本文介绍了一种适宜于电子显微镜用的高亮度长寿命的新阴极Y_2O_3-1r。测量其热发射特性:介于Th-W阴极与LaB_6阴极之间。测量其电子枪特性:束流稳定度可达7×10^(-3),亮度可达3×10~5A/cm^2·sr,交叉斑直径约为20μ。根据对其物理化学性能的分析,阐明了寿命长的根据。本文并介绍这种阴极的制造工艺及在透射式电子显微镜和扫描电子显微镜上应用的情况。最后讨论了这种阴极在电子显微镜上应用的前景。 展开更多
关键词 Y2O3-lr 阴极表面 透射式 发射性能 化学性能 发射特性 制造工艺 热发射 透射电镜 电子光学系统
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高分辨力热场发射显微镜(HRTFEM)及其应用
2
作者 陈尔纲 杨德清 +1 位作者 窦菊英 孙祥乐 《广西师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2000年第S2期15-18,共4页
从理论与实际方面研究了获得高分辨力场发射电镜 (FEM)的条件 ,认为在适当的场强及温度下0 .2 nm的分辨力是可以达到的 ,这与当前认为的 FEM分辨力只能在 2 nm上下高一个数量级 .称这种显微镜为高分辨力热场发射显微镜 (HRTFEM) .利用... 从理论与实际方面研究了获得高分辨力场发射电镜 (FEM)的条件 ,认为在适当的场强及温度下0 .2 nm的分辨力是可以达到的 ,这与当前认为的 FEM分辨力只能在 2 nm上下高一个数量级 .称这种显微镜为高分辨力热场发射显微镜 (HRTFEM) .利用这种显微镜 ,我们研究了 W尖端上 Zr原子吸附情况[1 ] .进一步介绍其在表面晶体结构、表面电子态及表面原子的热力学过程的可能应用 . 展开更多
关键词 场发射显微镜 场离子显微镜 热场发射显微镜 高分辨力 空间电荷
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高分辨率热场发射显微镜(HRTFEM)
3
作者 陈尔纲 杨德清 +2 位作者 窦菊英 孙祥乐 陈仲伟 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第4期617-618,共2页
关键词 高分辨率 热场发射显微镜 HRTFEM
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浸没式平面镜与凸镜的光学特性
4
作者 陈尔纲 戴心淑 《广西师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2000年第S2期21-24,共4页
报导了一种浸没在折射率为 n>1的介质中的反射光学系统 (平面反射镜、凸面反射镜 )的光学特性 .计算结果表明 ,当物与观察者处于介质外的空气中时 ,这种浸没式反射系统的成像特性与通常的三者均处于空气中的成像特性有很大区别 .
关键词 浸没 平面镜 凸面镜 焦散线
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近场光学中成象衬度机制的研究 被引量:3
5
作者 周庆 朱星 +3 位作者 李宏福 郑明玖 刘筠 陈尔纲 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1999年第5期36-37,共2页
本文从理论上研究了收集式近场光学显微镜中的成象衬度问题。采用三维时域有限差分法计算了光学近场区域亚波长尺度的电磁场分布。计算表明:利用p 偏振光成象可以得到样品的形貌衬度,而利用s 偏振光成象可以得到样品形貌的边缘象。
关键词 近场光学 成象衬度 时域有限差分法 光学显微镜
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计算场发射系统尖端形状系数的半经验公式 被引量:4
6
作者 杨德清 宋红江 +1 位作者 王智 陈尔纲 《电子科学学刊》 CSCD 1990年第6期660-665,共6页
本文提出了一般场发射系统尖端形状系数β的计算公式:β≈0.2/[((?)+h)ln(2h/(?)]。用该公式和数值计算法以及D.Selidovkin,W.Swanson和P.Dyke等人提出的相应公式,分别对尖端呈半球形、椭球形、旋转抛物形和双曲形四种场发射系统的β值... 本文提出了一般场发射系统尖端形状系数β的计算公式:β≈0.2/[((?)+h)ln(2h/(?)]。用该公式和数值计算法以及D.Selidovkin,W.Swanson和P.Dyke等人提出的相应公式,分别对尖端呈半球形、椭球形、旋转抛物形和双曲形四种场发射系统的β值进行了计算和比较。结果表明,用本文的公式所得的β值与电子计算机的数值计算结果基本上是一致的。 展开更多
关键词 场发射系统 场发射 尖端形状 计算
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磁六极透镜场分布的测定 被引量:2
7
作者 木崇俊 窦菊英 陈尔纲 《电子显微学报》 CAS CSCD 1993年第5期433-439,共7页
本文介绍一种用于电镜透镜球差矫正系统中的磁六极透镜的磁场分布实验测定原理及方法,并给出较详细的测量数据。测量结果说明这种透镜内磁场分布是以3θ为宗量的正弦和余弦规律,随r的变化是二次方规律。
关键词 磁六极透镜 磁感应强度 磁标位 电子显微镜 磁场
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国产扫描电镜上安装X线能谱仪 被引量:2
8
作者 戴宏 陈尔纲 周庆 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第4期629-630,共2页
关键词 扫描电镜 X线能谱仪 安装
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W[111]场发射尖端的制作与使用 被引量:2
9
作者 杨德清 陈尔纲 《电子显微学报》 CAS CSCD 1992年第6期474-478,共5页
本文报道w[111]场发射尖端的制作,使用条件以及尖端的闪烁和重建。从实验得到其正常工作范围是尖端曲率半径在0.9~1.2×10~(-5)cm;第一阳极电位V_1在2~2.5KV之间。闪烁电压约3~4伏,时间0.5~2秒;w[111]尖端重建条件为尖端表面... 本文报道w[111]场发射尖端的制作,使用条件以及尖端的闪烁和重建。从实验得到其正常工作范围是尖端曲率半径在0.9~1.2×10~(-5)cm;第一阳极电位V_1在2~2.5KV之间。闪烁电压约3~4伏,时间0.5~2秒;w[111]尖端重建条件为尖端表面电场强度必须大于3×10~7V/cm,加热电压为30伏,时间1×10~(-2)秒。了解这些情况对场发射电子枪的正确使用和维护无疑是重要的,具有实用意义。 展开更多
关键词 场发射 电子枪 场发射尖端 应用
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SNOM的光纤探针制备及扫描电镜观察 被引量:1
10
作者 戴宏 周庆 +1 位作者 宗容 陈尔纲 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第5期676-677,共2页
扫描近场光学显微镜(SNOM)是一种新型超高分辨率光学显微镜。它既具有光学显微镜可在自然状态下观察样品,获得物体的光学信息,且对样品无任何损伤的优点,又由于采用了近场光学探测原理及技术,使得分辨率不受衍射极限的限制,... 扫描近场光学显微镜(SNOM)是一种新型超高分辨率光学显微镜。它既具有光学显微镜可在自然状态下观察样品,获得物体的光学信息,且对样品无任何损伤的优点,又由于采用了近场光学探测原理及技术,使得分辨率不受衍射极限的限制,从而实现光学显微镜的超高分辨率。目... 展开更多
关键词 光纤探针 电镜观察 扫描式 近场光学显微镜
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磁六极球差校正系统的计算与分析 被引量:1
11
作者 周庆 陈尔纲 胡宗高 《计算物理》 CSCD 北大核心 1997年第4期485-486,共2页
限制电子显微镜分辨本领的主要因素是电子透镜的球差,对一种实际的校正磁透镜的磁六极球差校正系统进行了计算和分析。计算结果表明利用该系统可以消除三级球差。
关键词 球差校正器 磁六极系统 电子显微镜
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ZrO/W(多晶)材料逸出功和发射常数的实验测定 被引量:1
12
作者 窦菊英 杨德清 +1 位作者 陈尔纲 朱长纯 《真空电子技术》 2000年第2期52-53,共2页
在 1 0 - 5乇真空条件下 ,对 Zr O/W(多晶 )的逸出功 和发射常数 A进行了测量。实验结果 为 3.0 5e V,A为 1 .1 6× 1 0 - 2 (安 /厘米 2 ·度2 ) ,表明用多晶钨代替单晶钨 ,也能得到很低的逸出功值 ,其应用价值是好的。
关键词 逸出功 多晶 电子枪 发射常数
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场发射电子枪亮度测定的一种新方法 被引量:3
13
作者 杨德清 陈尔纲 《微细加工技术》 1991年第1期14-19,共6页
本文报导了通过测量场发射电子显微镜(FEM)分辨率,来测定场发射电子枪亮度的新方法。与考虑了系统像差影响的球——锥面模型理论的计算结果进行了比较,二者结果基本一致。
关键词 场发射 电子枪 亮度
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W[111]尖端场发射电子枪的工作特性 被引量:1
14
作者 杨德清 陈尔纲 《电子科学学刊》 CSCD 1992年第3期295-300,共6页
本文报道了单晶W[111]尖端的制作,以及由W[111]尖端阴极,第一、二阳极组成的三极场发射电子枪(FEG)的工作特性。实验结果表明,这种FEG在枪室真空为5×10^(-7)Pa,加速电压在30kV的条件下,其虚源半径为1.6nm;亮度为3.8×10~9A/cm^... 本文报道了单晶W[111]尖端的制作,以及由W[111]尖端阴极,第一、二阳极组成的三极场发射电子枪(FEG)的工作特性。实验结果表明,这种FEG在枪室真空为5×10^(-7)Pa,加速电压在30kV的条件下,其虚源半径为1.6nm;亮度为3.8×10~9A/cm^2.sterad;场发射电流为1μA时,束流稳定性为5%(10min内)。说明它是一种较理想的点状电子源,在实际应用中具有广泛发展前景。 展开更多
关键词 场发射电子枪 尖端 虚源半径
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近场光子显微镜用尖端的一种制作方法 被引量:2
15
作者 戴宏 周庆 +1 位作者 字张雄 陈尔纲 《微细加工技术》 1998年第1期74-78,共5页
本文介绍一种用电阻丝局部加热、重力拉伸光纤制作尖端的方法。采用该法在合适的实验条件下制作出了用于近场光子显微镜的尖端。该法有实验设备简单,便于制作的优点,可获得曲率半径小于120nm的尖端。
关键词 近场光子显微镜 尖端 光学显微镜
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ZrO/W肖特基发射阴极的研制 被引量:1
16
作者 戴宏 潘尔达 +1 位作者 陈尔纲 周庆 《微细加工技术》 2002年第2期11-14,23,共5页
研制成功了一种实用的低功函数肖特基发射阴极—锆 /钨 (ZrO/W )阴极。这种阴极是在改进的电解腐蚀法制成的W单晶尖端表面 ,采用特别的涂覆法或蒸镀法 ,形成含ZrO膜层 ,并经特殊处理后得到的。实验测出了这种阴极在适当条件下的功函数值... 研制成功了一种实用的低功函数肖特基发射阴极—锆 /钨 (ZrO/W )阴极。这种阴极是在改进的电解腐蚀法制成的W单晶尖端表面 ,采用特别的涂覆法或蒸镀法 ,形成含ZrO膜层 ,并经特殊处理后得到的。实验测出了这种阴极在适当条件下的功函数值为 2 .86电子伏特左右 ,低于钨阴极的功函数值。 展开更多
关键词 ZrO/W肖特发射 阴极 功函数 电解腐蚀法
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一种用扫描电镜制作表面纳米结构的方法
17
作者 朱念麟 张晋 +5 位作者 陈尔纲 柏晗 张茜 王光灿 郭俊梅 窦菊英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期186-188,共3页
提出了一种用扫描电镜制作表面量子点、纳米孔和纳米线阵列的方法,该方法是在数字式扫描电镜的阴极自偏压电路中串联一个可控的负电压发生器,其内阻远小于自偏压电阻;用扫描电镜本身的行扫描时钟信号作为控制信号,经倍频和放大,加到电... 提出了一种用扫描电镜制作表面量子点、纳米孔和纳米线阵列的方法,该方法是在数字式扫描电镜的阴极自偏压电路中串联一个可控的负电压发生器,其内阻远小于自偏压电阻;用扫描电镜本身的行扫描时钟信号作为控制信号,经倍频和放大,加到电子枪栅极上控制电子束的通断,使电子束由连续扫描变为规则的点、线扫描,不需用模板即可以"直写"方式在涂有电子束光刻胶(PMMA)的样品上实现点、线曝光,形成周期性量子点、纳米孔和纳米线阵列. 展开更多
关键词 数字式扫描电镜 负电压发生器 表面纳米阵列 电子束刻蚀
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旋转对称电子光学系统的五级几何像差分析
18
作者 木崇俊 陈尔纲 +1 位作者 高俊 李川 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第8期67-69,共3页
本文将旋转对称电子光学系统五级几何像差按边界条件分成球差、彗差、亚像散和场曲、亚彗差、像散和场曲、畸变等六类,并分析各类像差在高斯像平面上的图像.
关键词 旋转对称 电子光学系统 几何像差 球差
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光纤探针镀膜的扫描电镜检测
19
作者 周庆 戴宏 +1 位作者 陈尔纲 木崇俊 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第5期678-679,共2页
扫描近场光学显微镜(SNOM)是一种新型高分辨率光学显微镜。它突破了传统的光学显微镜所受到的衍射极限,可在超高光学分辨率下进行纳米尺度的光学成像。已报道的近场光学显微镜的分辨率已达10nm。因此,近场光学显微镜将在物... 扫描近场光学显微镜(SNOM)是一种新型高分辨率光学显微镜。它突破了传统的光学显微镜所受到的衍射极限,可在超高光学分辨率下进行纳米尺度的光学成像。已报道的近场光学显微镜的分辨率已达10nm。因此,近场光学显微镜将在物理、化学、生物学及材料科学等领域有... 展开更多
关键词 光纤探针 镀膜 扫描式 近场光学显微镜 电镜检测
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一种高亮度点状场发射电子枪的研制
20
作者 杨德清 陈尔纲 木崇俊 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期15-19,共5页
本文对一种自制的场发射电子枪(FEG)的结构、使用以及发射和稳定特性作了详细的报道.经测量表明:FEG在枪室真空为6.67×10-7Pa,场发射工作电流0.9μA的条件下,其束流稳定性优于5%(10min);又当... 本文对一种自制的场发射电子枪(FEG)的结构、使用以及发射和稳定特性作了详细的报道.经测量表明:FEG在枪室真空为6.67×10-7Pa,场发射工作电流0.9μA的条件下,其束流稳定性优于5%(10min);又当加速电压为40kV时,其虚源半径小于1.3nm;而亮度则大于5×109A/cm2·sr.说明它是一种高亮度小束斑的点状电子源.在SEM,STEM和其它先进的电真空分析仪器以及电子束加工等方面,具有广泛推广的实用价值. 展开更多
关键词 场发射电子枪 束流稳定性 虚源半径 电子器件
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