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金属诱导法制备多晶硅薄膜的研究进展
被引量:
8
1
作者
蔡捷宏
姚若河
+2 位作者
陈明鑫
许佳雄
陈岳政
《轻金属》
CSCD
北大核心
2006年第11期48-50,共3页
多晶硅薄膜材料已广泛应用于太阳能电池和集成电路制造等领域。本文综述了金属诱导非晶硅薄膜进行低温晶化的研究,讨论了金属诱导法的晶化机理,分析了金属诱导晶化过程中的主要影响因素,对不同的金属诱导法进行比较,展望了金属诱导法的...
多晶硅薄膜材料已广泛应用于太阳能电池和集成电路制造等领域。本文综述了金属诱导非晶硅薄膜进行低温晶化的研究,讨论了金属诱导法的晶化机理,分析了金属诱导晶化过程中的主要影响因素,对不同的金属诱导法进行比较,展望了金属诱导法的进一步发展。
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关键词
多晶硅薄膜
金属诱导
低温晶化
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职称材料
题名
金属诱导法制备多晶硅薄膜的研究进展
被引量:
8
1
作者
蔡捷宏
姚若河
陈明鑫
许佳雄
陈岳政
机构
华南理工大学物理科学与技术学院
出处
《轻金属》
CSCD
北大核心
2006年第11期48-50,共3页
文摘
多晶硅薄膜材料已广泛应用于太阳能电池和集成电路制造等领域。本文综述了金属诱导非晶硅薄膜进行低温晶化的研究,讨论了金属诱导法的晶化机理,分析了金属诱导晶化过程中的主要影响因素,对不同的金属诱导法进行比较,展望了金属诱导法的进一步发展。
关键词
多晶硅薄膜
金属诱导
低温晶化
Keywords
Poly- Si films
metal indaced
low temperature crystallization
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
金属诱导法制备多晶硅薄膜的研究进展
蔡捷宏
姚若河
陈明鑫
许佳雄
陈岳政
《轻金属》
CSCD
北大核心
2006
8
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职称材料
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