腔面镀膜对1342nm分布反馈半导体激光器输出功率的影响

为提高1342 nm分布反馈(Distributed Feedback,DFB)半导体激光器的输出功率,设计了三种腔面膜膜系组合。采用电子束蒸发镀膜技术对该激光器进行了腔面镀膜,并测试了其在三种膜系组合下的输出功率。结果表明,采用增透膜为基底(Sub)/Al_(2)O_(3)/Ta_(2)O_(5)/空气(Air)、高反膜为Sub/(Al_(2)O_(3)/Si)^(3)Al_(2)O_(3)/Air的腔面膜膜系组合时,激光器的输出功率最高。前腔面反射率为0.2%,后腔面反射率为98.6%。在260 mA的直流电流下,平均输出功率达到了85 mW以上(增加了85.6%),斜率效率提升了82.9%。通过采用此膜系组合进行激光器腔面镀膜,可以大幅提升1342 nm DFB半导体激光器的输出功率。