表面粗糙度对飞秒激光烧蚀4H-SiC衬底的影响

飞秒激光加工材料中烧蚀阈值对微纳加工有极其重要的指导意义。本文利用飞秒激光辐照三种表面粗糙度4H-SiC晶片进行烧蚀实验。研究了表面粗糙度对飞秒激光加工4H-SiC烧蚀形貌、阈值及其周期性条纹的影响。实验系统地测定了三种表面粗糙度Si C晶片单脉冲及多脉冲烧蚀阈值。分析了单脉冲激光作用下,不同表面粗糙度晶片随脉冲能量变化的烧蚀形貌。在多脉冲激光作用下,退火区产生了定向条纹结构,在SiC衬底R_(a)≥5.5 nm,其表面产生深亚波长波纹(约110 nm,Λ≈0.2λ)。而烧蚀阈值随着脉冲数N≥500的增加而降低,并最终趋于稳定。

团结拼搏谋发展 与时俱进创新业

坑仔口镇位于永春县西部山区。全镇总面积76平方公里,下辖8个行政村,总人口16589人。改革开放以来,特别是近几年来,本镇经济社会面貌发生了翻天覆地的变化。在工业区建设、农业产业结构调整、镇区规划建设。