微型真空泵抽气性能集成自动测量方法的实践研究

微型真空泵的便携式、低功耗、低价格、易集成的特性,具有广泛的应用前景。本文基于微型真空泵的性能测试方法和系统缺乏的现状,针对目前微型真空泵和微小型待测容器极限真空难以测量的问题,提出用静态膨胀法和天平称重法测试极限压力和抽速的思路。实验研究了不同抽速和不同容积测试罩下的系统特性,结果表明,当控制测试罩容积在测试过程中达到极限真空的时间为20~40 s,大小测试罩容积之差在10倍以内时,测试快速准确。