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飞秒激光光镊直写银微纳结构 被引量:12
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作者 陈忠贇 方淦 +4 位作者 曹良成 付芸 曹洪忠 姜肇国 段宣明 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期178-183,共6页
利用800nm飞秒激光光镊捕获了水中分散的银纳米颗粒,在玻璃基片表面直写银线,通过调控激光参数研究了激光功率对银线线宽及表面形貌的影响,实现了线宽为378nm的银线直写。经过测试,直写的银线电阻率为固体银的19.88倍。此外,还利用该方... 利用800nm飞秒激光光镊捕获了水中分散的银纳米颗粒,在玻璃基片表面直写银线,通过调控激光参数研究了激光功率对银线线宽及表面形貌的影响,实现了线宽为378nm的银线直写。经过测试,直写的银线电阻率为固体银的19.88倍。此外,还利用该方法制备了银二维网格结构,体现了该技术在二维结构直写方面的良好加工能力。 展开更多
关键词 激光技术 激光直写 光镊 飞秒激光 银微纳结构
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