利用TaCl5-Ar-C3H6体系,采用X射线衍射技术和扫描电镜研究不同温度下化学气相沉积Tac涂层微观形貌及晶粒择优生长。结果表明:在800~1200℃时,随沉积温度升高,TaC颗粒从网球形逐渐转变为多角形以及金字塔形多面体,而其晶体择优取...利用TaCl5-Ar-C3H6体系,采用X射线衍射技术和扫描电镜研究不同温度下化学气相沉积Tac涂层微观形貌及晶粒择优生长。结果表明:在800~1200℃时,随沉积温度升高,TaC颗粒从网球形逐渐转变为多角形以及金字塔形多面体,而其晶体择优取向依次从无明显择优取向向〈220〉和H〈200〉转变;利用牛长参数α和VAN DER DRIFT,MEAKIN的纳米级晶粒选择生长模型可较好地解释不同形貌的生长机制。当a=3时,薄膜会优先生长成〈200〉择优取向的金字塔品粒;当a=1.5时,则容易生长成〈220〉取向的多角形品粒。展开更多
基金supported by the Funding of National Key Laboratory,the Pre-Research Funding,China(No.6142907200301)the Key Laboratory of Lightweight High Strength Structural Materials and State Key Laboratory of Powder Metallurgy in Central South University for financial support。
基金Project(6142907200301) supported by the National Defense Pre-Research Foundation of ChinaProject supported by the Key Laboratory for Lightweight High Strength Structural Materials,Central South University,China。
文摘利用TaCl5-Ar-C3H6体系,采用X射线衍射技术和扫描电镜研究不同温度下化学气相沉积Tac涂层微观形貌及晶粒择优生长。结果表明:在800~1200℃时,随沉积温度升高,TaC颗粒从网球形逐渐转变为多角形以及金字塔形多面体,而其晶体择优取向依次从无明显择优取向向〈220〉和H〈200〉转变;利用牛长参数α和VAN DER DRIFT,MEAKIN的纳米级晶粒选择生长模型可较好地解释不同形貌的生长机制。当a=3时,薄膜会优先生长成〈200〉择优取向的金字塔品粒;当a=1.5时,则容易生长成〈220〉取向的多角形品粒。