利用一维光栅标样校准扫描电子显微镜方法的研究

提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测量对象。实验结果表明，有8台扫描电镜的标尺的准确度在5％的范围内与标准值符合，其余2台在6．5％的范围内与标准值符合。