期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
S1818光刻胶工艺实验研究
1
作者 陈永祚 史孔玉 等 《集成电路通讯》 2003年第1期14-15,共2页
详细介绍了对S1818光刻胶进行实验的数据及分析过程，总结出适合我所光刻系统的S1818光刻胶工艺参数。
关键词 S1818 光刻胶工艺 胶厚 曝光指数 滴胶工艺 工艺参数
下载PDF
光刻工艺的实践与提高
2
作者 陈永祚 陈晓晨 《集成电路通讯》 2000年第1期1-3,共3页
关键词 极限分辨率 光刻机 光刻工艺
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部