光致诱蚀无显影气相光刻（DFVP）作用机理及其应用

大功率半导体器件是机电一体化不可缺少的基础元件，光致诱蚀无显影气相ＤＦＶＰ光刻具有分辨率高、针孔密度低、光刻流程短、设备简单、经济上节约等优点。因此将ＤＦＶＰ运用于晶闸管器件的生产具有重要的意义。研究的技术关键是要解决厚ＳｉＯ＿２层的刻蚀、刻蚀的曝光量及速度问题。本课题对ＤＦＶＰ机理作了进一步研究，从而研究了两种新的光致诱蚀剂；已大大缩短曝光时间（约１分钟），并能刻蚀含杂质镓且厚达１．４μｍ的ＳｉＯ＿２层；对腐蚀设备进行了大的改进，使其能适应生产的需要。

无显影气相光刻在大功率晶闸管元件生产中的应用

由于无显影气相光刻（ＤＦＶＰ）具有分辨率高、针孔密度低、光刻流程短、设备简单、成本低等优点，因此将其应用于晶闸管元件的生产具有非常重要的实际意义．本文在系统地研究ＤＦＶＰ机理的基础上，提出了新的配方，解决了刻蚀厚二氧化硅（ＳｉＯ２）层的关键技术问题。

基于容积法的海绵城市道路设计计算

城市道路作为市政排水系统的主要载体,在城市排水系统中具有非常重要的作用。随着城市硬化地面的不断增多,一些路段在雨季很难及时将雨水排放出去,导致城市出现严重的内涝。本文从"单位面积控制容积"的指标出发,通过具体案例,对基于容积法的海绵城市道路设计计算做了简单介绍。

中国大功率半导体器件制造行业竞争分析

行业整体状况 近年来，随着中国经济的持续发展以及国家在电力、交通及基础设施的大规模投入，我国电力电子器件市场发展迅速，在全球市场中所占的份额越来越大，己成为全球最大的大功率电力电子器件需求市场。

市政雨污水管线最小水平间距的设计计算

道路宽度无法满足管线布置需求时,需将雨污水管线并列敷设.本文通过计算各种管径的组合,确定了雨污并列敷设的最小间距.