蚀刻深度传感器耦合问题的研究

对离子束蚀刻深度传感器敏感元件与传感元件间的耦合问题进行了探讨。表明敏感元件的振动对蚀刻深度的测量结果有较大影响。给出了振动误差的抑制措施。