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题名应用于数字光刻机的DMD数据处理及控制系统
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作者
陈海巍
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机构
江苏影速集成电路装备股份有限公司
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出处
《现代信息科技》
2023年第18期129-132,共4页
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文摘
无掩膜数字光刻机已在PCB光刻及半导体光刻领域逐渐开始应用,相比传统掩膜式光刻机,可缩减光刻流程,节省光刻成本,使光刻数据在线实时调整变得更为简单。而DMD(数字微镜器件)目前作为数字光刻机常用的一种SLM(空间光调制)图形发生器,对其所需要进行的数据处理及控制较为关键。会直接关系到数字光刻机的曝光效率和产能。文章从DMD的驱动控制原理,探讨研究DMD在数字光刻机中的数据处理和控制流程、方法,实现较高的设备光刻效率。
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关键词
DMD
数字光刻
扫描
数据处理
控制
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Keywords
DMD
digital lithography
scan
data process
control
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分类号
TP274.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名浅谈公路软土路基施工技术
被引量:2
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作者
陈海巍
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机构
中建隧道建设有限公司
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出处
《绿色环保建材》
2017年第12期119-119,共1页
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文摘
现在我国的经济水平比较高,人们的生活质量与生活节奏在不断提高,不断加快。社会经济水平也在逐步稳定的发展之中,与此同时人们的物质水平要求也越来越高。随着我国汽车保有量的增加人们对交通设施的质量要求与需求也在不断的增加。就现阶段我国的交通情况来看,已经与现在我国的使用量不成比例。交通拥堵较为严重,因此市政道路建设与公路建设迫在眉睫。由于我国地理范围比较广阔,各种地形相对较多,因此在实际的施工阶段遇到的情况也会比较多常常阻碍施工。在我国的平原地区软土路基段相对较多,因此对于这方面的施工设计与施工技术需要我们着重进行研究分析。
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关键词
公路软土路基
施工技术
分析探讨
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分类号
U416.1
[交通运输工程—道路与铁道工程]
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