用于MEMS器件制造的深反应离子刻蚀设备

深反应离子刻蚀(DRIE)设备,主要应用于MEMS器件制造中Si材料的深槽刻蚀[1].介绍了一种用于硅材料的高深宽比反应离子刻蚀设备,采用ICP技术,刻蚀深宽比≥25∶1.着重阐述了该设备的结构组成、设计方法及控制方法.

SiC外延炉加热系统的设计

碳化硅材料是一种宽禁带半导体材料,其耐高温、耐高压的特性特别适合制作大功率半导体器件。近几年来,随着SiC器件生产工艺技术的突破,碳化硅器件得到了快速的发展,其相关设备也在不断开发并走向成熟。简要介绍了SiC外延生长设备中加热器的设计方法、温度控制以及温度均匀性调节方法,通过实验验证了温度均匀性及控制精度。

射频离子束辅助溅射镀膜设备的研制

介绍了一种用于氧化物薄膜制备的射频离子束辅助溅射镀膜设备,阐述了设备原理、组成、特点以及试验结果。通过使用射频离子源和射频中和器,解决了采用热灯丝离子源的同类设备中灯丝易被氧化的关键问题,适合于氧化物薄膜制备。

太阳能电池生产线中的新型等离子体刻蚀机的研制

介绍了用于太阳能电池片生产工艺中的新型等离子体刻蚀机及设备的工作原理、构造、简单的工艺试验结果。与现在生产线上普遍使用的老式等离子体刻蚀机相比,它大大提高了生产产能,减少了设备维护工作量。该设备操作简单,是一种实用、高效的生产型工艺设备。

多晶硅铸锭用坩埚烧结炉的设计

多晶硅铸锭时是将硅材料放在一个耐高温容器即坩埚中将硅料熔化、冷却、长晶的过程。装硅料的容器必须耐高温,不挥发,一般采用氧化硅陶瓷制造。为了保证硅锭的纯度,在硅料放入前需在坩埚内表面喷涂一层隔离材料,然后将此材料与坩埚在高温下形成一体。坩埚烧结炉就是将此喷涂物与坩埚烧结起来,形成牢固的隔离层。本文介绍了设计方法,提供了详细设计计算过程,介绍了设备的特点,并结合实际使用情况给出了测试数据。

晶体硅太阳能电池生产线外围设施建设经验漫谈

中国电子科技集团公司第四十八研究所是国内最早从事晶体硅太阳能电池整线交钥匙工程的单位,在国内已完成了几十家太阳能整线的建设。整线建设包括生产线设备的配置、安装,外围设施建设(厂房设计,净化间施工,水、电、气的设计施工),工艺调试,投产。其中外围设施建设的重要性往往被人们忽视。作者通过承担几条生产线的整线设计,参与了外围设施设计并在现场跟踪施工全过程,直至整线交付。在外围设施建设过程中发现了一些可修改的设计问题,在此提出来与大家分享。

太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺探讨

介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据。利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大,提高了电池片的综合性能指标。

太阳能电池用高温烧结炉传动系统的设计计算

介绍了太阳能电池生产线用高温烧结的特点、传动原理,提出了网带驱动力及其传递功率的理论计算方法,利用该方法进行设计计算,可在保证传动可靠的前提下,选择最合适的电机、减速机,减少安装位置,节约设备制造成本。作者根据计算结果应用到实际的生产中,较好的指导了生产。

多晶硅太阳电池PECVD氮化硅钝化工艺的研究

介绍等离子体化学气相淀积(PECVD)制备减反射钝化膜。将PECVD设备运用于太阳电池生产线上,发现通过PECVD设备可以对多晶硅太阳电池有很好的钝化效果。分析PECVD对多晶硅太阳电池钝化机理。

离子束溅射制备的氧化钽层的绝缘特性

介绍了一种具有高附着力和优良绝缘性能的Ta2 O5 介质膜 ,它由离子束溅射镀膜工艺制备而成。检测了在不同氧气流量下制备的氧化钽薄膜的绝缘性。结果表明 :在其余条件相同的情况下 ,氧气流量越大所制备的薄膜绝缘程度越高。但当氧气流量达到一定的程度时 ,其绝缘程度不再有所变化。

高阻晶体硅电池扩散炉温度控制的研究

介绍了一种用于太阳能电池高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,能满足60Ω以上高阻的生产要求。

高产能晶体硅太阳能电池制绒设备及工艺研究

制绒工艺作为晶体硅太阳能电池生产的重要环节,电池厂商在要求保证工艺质量的前提下,希望能扩大单台设备的产能。介绍了一种用于太阳能电池制绒设备及该系统中关键部件制绒槽和移载机械手。该系统结构简单,控制效果良好,通过对工艺的研究该系统能满足100 MW生产线的生产要求。

扩散炉自动上下料系统安全性设计

介绍了一种用于卧式扩散炉的自动上下料系统,对自动上下料系统组成进行了介绍,着重讨论了系统的安全性问题,并对安全性提出了解决方案,该系统控制效果良好,能为电池片生产企业降低人工成本,提高生产效率,增强了设备的安全性,适合大规模电池片生产要求。

多靶磁控溅射镀膜设备及其特性

介绍了一种多靶磁控溅射镀膜设备,阐述了镀膜室、工件台、阴极溅射靶、辅助离子源、真空系统等关键部件的设计思想。镀膜工艺结果显示,设备满足工艺要求,膜层均匀性优于±3%。

扩散炉反应管压力自平衡系统的设计

对晶体硅太阳能电池片生产用扩散炉反应管压力平衡系统的要求及原理进行了阐述,由于反应管内气流变化对扩散效果影响很大,本系统根据实际使用经验,对工艺管内压力进行检测,在外围尾气排放不稳定的条件下,对反应管内气体排放进行调节,从而控制管内压力,使管内流速均匀,达到好的扩散效果。

GaN-MOCVD设备MO源注入摩尔流量的精确控制

分析了GaN-MOCVD设备中MO源注入摩尔流量控制的基本原理,给出了决定MO源注入摩尔流量的三个重要条件,然后针对于Ga N-MOCVD中5种常用的金属有机源,根据工艺生长的需要,分别给出了MO源注入摩尔流量精确控制的解决方案。

氮化铝高温隧道烧结炉截面加热单元温度均匀性研究

建立氮化铝高温隧道烧结炉体截面加热单元仿真模型,针对加热器不同分布情况对温度场的影响进行分析计算,结果表明,在基片载盘两侧与上部布置发热体时基片载盘截面具有更好的加热均匀性。该加热器分布方式在实际研制设备上也取得了较好的截面温度均匀性。

一种新型离子束刻蚀装置的研制

介绍了一种新型离子束刻蚀装置。该装置具有如下特点:工件台可进行二维运动,带有自动挡板机构和独立的测束装置,中国电子科技集团公司第四十八研究所研制的平行束离子源,以及分子泵加机械泵的真空系统。工艺试验结果表明,该设备是一台先进的半导体工艺设备,性能稳定,刻蚀均匀性可达±4%。

浅谈“泉州南音”的发扬

泉州南音是非常有价值的乐种,是中国古典音乐经典中的经典,把我们祖先的心血和传统音乐瑰宝,在华夏音乐史上有着“活化石”的美誉.将其发扬光大,是政府文化教育机构、每一位南音学者以及南音传承人义不容辞的责任.文章将重点探究如何更好地发扬泉州南音,希望能借此为泉州南音的传承与发扬提供一定的参考借鉴.

南箫的继承与发展

南箫是非物质文化遗产“泉州弦管”的主要乐器之一，其音色柔美、深沉而含蓄，深得广大听众喜爱。今通过改良和加键，提高了它的表现力和演奏风格，让它不仅仅只是演奏我们的民族音乐，还能演奏中外名曲，与世界音乐接轨。