CVD法制备SiC涂层的工艺影响分析

化学气相沉积(CVD)法制备的碳化硅(SiC)涂层是碳基材料表面防氧化涂层的理想选择,各项工艺直接影响涂层的沉积结果。为指导碳/碳(C/C)复合材料高温抗氧化SiC涂层的工艺调控,建立了CVD法制备SiC涂层的沉积炉仿真模型,采用计算流体力学软件对沉积结果进行数值模拟研究,探究了工件摆放和主要工艺参数对沉积结果的影响,量化了主要工艺参数的影响并优选了工艺参数组合。结果表明:建立的有限元分析模型合理可靠;工件摆放方式与间距协同影响沉积结果。在工艺参数范围内,温度对沉积均匀性影响较大,影响程度达28.39%;其次是压力,影响程度为13.90%;反应物甲基三氯硅烷(MTS)流量影响最小,影响程度为6.43%。此外,随着温度、压力的减小和MTS流量的增大,沉积均匀性提高;根据影响规律对工艺进行优化后沉积均匀性提高了102.45%。

福建南海集团:以创新领跑蜜柚产业

第十三届中国国际投资贸易洽谈会现场，福建南海集团与德国德福美公司签订了数万吨蜜柚订单。金秋时节，正值享誉海内外溪蜜柚成熟时节，福建南海集团生产车间里到处呈现出一片繁忙景象。

百年汉威的精神启示

在中国工业论坛上，泉州市汉威机械制造有限公司（汉威机械）凭借雄厚的企业实力、精益求精的工匠品质以及不断创新的开拓精神，获“中国工业示范单位”殊荣，公司董事长林秉正被评为“中国工业企业创新先锋人物”。