半导体级多晶硅的低成本清洗方法

半导体产业是支撑经济社会发展和保障国家安全的基础性、战略性和先导性产业,单晶硅由于具有独特的物理及化学性质,在半导体产业中占有重要的地位,多晶硅作为制备单晶硅的前驱体,对纯度的要求尤为严苛,因此本文研究了一种采用低成本混酸清洗多晶硅块,进而制备高纯多晶硅的新型方法。在室温环境中,采用纯度为电子级(EL)、超纯(UP)、超纯MOS(UP-S)级的由氢氟酸和硝酸组成的混酸溶液清洗多晶硅块,所得多晶硅表面金属含量均在2 ppbw以下,即符合半导体级多晶硅对表面金属含量的要求;并研究了多晶硅表面金属含量与清洗过程所消耗EL级混酸之间的关系,发现使用300 ml V_(HF):V_(HNO3)=1:10的由氢氟酸和硝酸组成的EL级混酸溶液可以清洗出3.33kg半导体级多晶硅,说明低成本EL级混酸也可以广泛用于半导体级多晶硅的工业生产中。

奇人共欣赏

生活是平凡的，但却总有不平凡的奇人在其间，他们可能是妙手回春的医生，可能是醉生梦死的酒鬼，也可能是技艺绝伦的手艺人……这些人凭着或匪夷所思，或绝妙无比的技艺，成为清末民初天津卫的代表人物。他们的形象都被作者冯骥才栩栩如生地刻画下来，编成一本书，这本书就是今天我要向大家推荐的《俗世奇人》。

春在枝头闹

春，悄悄地来。她在世间行走，在明媚的阳光下轻吻着枝头，让它们带上一抹抹春的色泽。春是“春色满园关不住，一枝红杏出墙来”般不甘寂寞。仿佛有一点点空间，她都要尽力舒展，将自己的美丽绽放到每个角落。她似是最懂浪漫的怀春少女，让你不经意间瞥到一丝丝萌发的生机，感到惊喜万分。仿佛在墙外看见一枝明亮的春花，她将缕缕美妙的情思传入你的心中。