非接触白光干涉法测量圆柱筒壁厚

0 引言 在科研和生产实践中,常会碰到一些精密测量圆柱筒壁厚的问题,在材料刚性较好而精度要求又不很高时,可用机械的或电磁的方法实现,但对于要求高精度而材料的刚性又不很好,特别是当筒壁厚度与内径相比相当小时,这种接触测量方式很难实现。

激光扫平仪的应用

介绍了激光扫平仪在工程机械上的一种动态应用。激光扫平信号与闭环控制系统结合，可实现地面的水平平整。文中对影响平整精度的误差作了详尽的分析。初步分析和实验结果表明：在２５０×２５０ｍ２的工作范围内，平整精度优于±２５ｍｍ。

激光扫平仪的误差分析、测试和分离

介绍了一种激光扫平仪的自检方法,不仅可以检测出综合误差,并可同时分离出几项主要的系统误差,为激光扫平仪的检测争校准提供了可靠的依据。文中对激光扫平仪的误差来源作了详细的分析,并给出了实验结果。

莫尔条纹技术应用于掩模－硅片的自动对准

简要回顾了莫尔条纹技术在光刻机的掩模－硅片对准系统中的应用，介绍了国际上该项技术的应用现状，分析了其优势和局限性，对今后的发展方向作了简要的概括．

双光束自适应旋光准直系统

介绍了一种双光束自适应准直测量系统。传感元件为两套楔角相同的左旋和右旋石英光楔。由于两束光足够靠近，用其中一束光专门监测各种漂移因素以便补偿另一束光的测量结果，从而达到对环境干扰自适应补偿的作用。文中给出了理论分析和实验结果。