氩气辉光放电正柱区等离子体特征参数的测量分析

为解决气体放电等离子体的实际应用问题,测量等离子体特征参数尤为重要。结合直流高压辉光放电中各区域的特性,利用朗缪尔探针对放电管中的Ar辉光放电等离子体开展实验研究。原位测得等离子体伏安特性曲线,计算得出等离子体空间电位、悬浮电位、电子温度、等离子体密度、德拜长度等系列特征参数,并研究等离子体特征参数与不同Ar气压的关系,为用于物理气相沉积(PVD)领域的Ar等离子体应用提供基础理论支持。