微机光纤位移测量装置

本文讲述了一种以复合式光纤位移传感器和微机为基础构成的微机光纤位移测量装置,它能消除光源和检测部件漂移以及被测表面反射率变化对测量的影响,在200μm的测量范围内,测量不确定度为2μm。