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电子束大面积辐照硅片温度分布的计算机模拟
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作者 陶敦仁 祁筑宁 《微细加工技术》 1989年第2期22-30,共9页
本文对聚焦电子束大面积辐照(包括快速多次扫描)硅片的纵向温度分布进行了计算机数值模拟。作者运用表面热导关系计算了硅片底面的传导散热。模拟中还计入了电子在硅中的能量耗散分布、硅的热导率随温度的变化以及硅片两面的辐射散热等... 本文对聚焦电子束大面积辐照(包括快速多次扫描)硅片的纵向温度分布进行了计算机数值模拟。作者运用表面热导关系计算了硅片底面的传导散热。模拟中还计入了电子在硅中的能量耗散分布、硅的热导率随温度的变化以及硅片两面的辐射散热等因素。模拟结果与实验都较好地符合。本文模拟结果特别指出:辐射时间达1毫秒或更长时,如果辐照功率密废达10~3瓦/厘米~2以上,硅片纵向温度分布并不均匀,温度差远远超过10℃。这一结果尚未见国内外文献报道。作者根据模拟结果作了一些推论。 展开更多
关键词 电子束 硅片 温度分布 计算机 模拟
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在组合机床设计中运用价值工程思想的体会
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作者 陶敦仁 江明全 《管理现代化》 1983年第2期31-32,共2页
常州机床厂承担洪湖机械厂九台组合机床制造任务,在设计时,运用了价值工程思想,取得了显著的经济效益。洪湖机械厂专门生产活扳手,为了提高产量和质量,该厂要求我厂设计制造D086-D090九台组合机床,计有扳体口面铣床四台,扳体铣槽机床二... 常州机床厂承担洪湖机械厂九台组合机床制造任务,在设计时,运用了价值工程思想,取得了显著的经济效益。洪湖机械厂专门生产活扳手,为了提高产量和质量,该厂要求我厂设计制造D086-D090九台组合机床,计有扳体口面铣床四台,扳体铣槽机床二台,扳口铣齿及齿顶机床一台,扳口铣小肩和铣斜肩机床各一台。制造价格,按部颁标准计算,应为18万元,但该厂只有资金16万元。这个任务接不接呢? 展开更多
关键词 设计制造 扳体 活扳手 制造成本 底座 工程思想 运用价值 组合机床设计 使用成本 铣槽机床
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