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题名电子束大面积辐照硅片温度分布的计算机模拟
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作者
陶敦仁
祁筑宁
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机构
机械电子工业部第四十八研究所
中南工业大学应用物理系
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出处
《微细加工技术》
1989年第2期22-30,共9页
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文摘
本文对聚焦电子束大面积辐照(包括快速多次扫描)硅片的纵向温度分布进行了计算机数值模拟。作者运用表面热导关系计算了硅片底面的传导散热。模拟中还计入了电子在硅中的能量耗散分布、硅的热导率随温度的变化以及硅片两面的辐射散热等因素。模拟结果与实验都较好地符合。本文模拟结果特别指出:辐射时间达1毫秒或更长时,如果辐照功率密废达10~3瓦/厘米~2以上,硅片纵向温度分布并不均匀,温度差远远超过10℃。这一结果尚未见国内外文献报道。作者根据模拟结果作了一些推论。
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关键词
电子束
硅片
温度分布
计算机
模拟
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分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
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题名在组合机床设计中运用价值工程思想的体会
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作者
陶敦仁
江明全
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出处
《管理现代化》
1983年第2期31-32,共2页
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文摘
常州机床厂承担洪湖机械厂九台组合机床制造任务,在设计时,运用了价值工程思想,取得了显著的经济效益。洪湖机械厂专门生产活扳手,为了提高产量和质量,该厂要求我厂设计制造D086-D090九台组合机床,计有扳体口面铣床四台,扳体铣槽机床二台,扳口铣齿及齿顶机床一台,扳口铣小肩和铣斜肩机床各一台。制造价格,按部颁标准计算,应为18万元,但该厂只有资金16万元。这个任务接不接呢?
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关键词
设计制造
扳体
活扳手
制造成本
底座
工程思想
运用价值
组合机床设计
使用成本
铣槽机床
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分类号
C931
[经济管理—管理学]
F270
[经济管理—企业管理]
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