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脉动压力传感器研制
1
作者
陶锡有
《流体力学实验与测量》
CSCD
1997年第2期65-68,共4页
测量脉动压力用压阻式压力传感器,通过有限元应力分析求得灵敏度高、线性又好的双岛硅膜片结构;采用双面对准光刻工艺,各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术。最后给出了脉动压力传感器的动、静态性能指标。
关键词
脉动压力
传感器
有限元
应力集中
压阻效应
下载PDF
职称材料
题名
脉动压力传感器研制
1
作者
陶锡有
机构
中国空气动力研究与发展中心
出处
《流体力学实验与测量》
CSCD
1997年第2期65-68,共4页
文摘
测量脉动压力用压阻式压力传感器,通过有限元应力分析求得灵敏度高、线性又好的双岛硅膜片结构;采用双面对准光刻工艺,各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术。最后给出了脉动压力传感器的动、静态性能指标。
关键词
脉动压力
传感器
有限元
应力集中
压阻效应
Keywords
pulsating pressure
transducers
finite element analysis (FEA)
concentration of stress
piezoresistive effect
分类号
TH812.03 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
脉动压力传感器研制
陶锡有
《流体力学实验与测量》
CSCD
1997
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