64×64焦平面器件读出电路铟柱列阵工艺设计及实践

用铟柱进行探测器芯片与读出电路 (ROIC)之间的电气和机械连接是混合红外焦平面列阵(FPA)最常用的互连方式之一。根据现有的工艺设备和实验条件对在 6 4× 6 4ROIC上生长铟柱进行了优化工艺设计 ,并分析讨论了工艺过程及参数对生长铟柱质量的影响。通过工艺实践验证 ,在 6 4×6

昆明物理所锑化铟红外材料、器件研究进展

简要报道昆明物理研究所锑化铟体晶材料、弹用锑化铟红外探测器组件和320×256锑化铟焦平面器件的最新进展.

化学抛光InSb晶片的扫描电镜观测

本文选取5种腐蚀液对 InSb 晶片进行化学抛光。用扫描电镜(SEM)对抛光前后的 InSb 晶片进行了表面形貌、电子束通道图案、表面组分和杂质的对比观测,并对观测结果进行了讨论。实验结果表明:用乳酸液抛光可获得光滑平坦、In/Sb 原子比接近1的表面。

锑化铟p-on-n光伏器件的离子注入设计

通过理论分析计算获得了光伏型InSb红外探测器的的优化掺杂浓度及结深。利用LSS理论估算了Be+注入InSb的射程及标准偏差,同时设计了与优化掺杂浓度及结深相对应的注入条件。实验所得典型的R0A为值4.7×103～3×103Ω·cm2,量子效率为0.65～0.7之间。实验R0A值及量子效率与理论结果基本吻合。此工作对离子注入工艺有一定的参考价值。

噪声作为红外探测器可靠性评价的探讨

红外探测器的可靠性是一个重要的指标,当前利用噪声来表征器件的可靠性受到了广泛的关注。文分析了红外探测器的电噪声,它包括热噪声、散粒噪声、g-r噪声和1/f噪声,再结合g-r噪声和1/f噪声的产生,对噪声用作InSb光伏探测器可靠性的评价进行了详细分析。

InSb混合红外焦平面工艺研究

InSb 光伏线列器件是以 n 型 InSb 为衬底,扩散 Cd 形成 p-n 结,经光刻、蒸电极、焊接等工艺制成。SiCCD 为表面 p 沟器件,可按延时积分(TDI)和多路传输(MUX)两种方式工作。在研制1×12、2×12、1×64、2×64元 InSb 光伏线列器件并与 SiCCD 进行互连的基础上,从开发64×64元 InSb 混合红外焦平面着眼,我们进行了64×16元 InSb 光伏面阵的研制,并在 InSb 面阵和 Si 上电镀 In 柱,用我们研制的 HDD-1型红外对准倒焊机进行了对焊,开展了背面辐照 InSb 混合红外焦平面的工艺研究。本文介绍了工艺实验状况,并对工艺实验中有关问题进行了讨论。

132元InSb光伏线列的研究

报道了我们研制出的132元InSb光伏线列的制备工艺及其性能。线列是采用流行的Cd扩散工艺和光刻剥离技术制成的,每个线列装于封离的检测杜瓦瓶中,77K,线列典型检测元的探测率D~*(500,1000,1)为(0.8～1.5)×10^(10)cm·Hz^(1/2)/W。

室温长波MCT探测器研究

介绍了昆明物理所对室温长波Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ光导探测器研究的进展情况。采用ＭＣＴ体晶材料已制备出室温８～１４μｍ光导探测器，其λｃ＝１１．６μｍ，Ｄ＊＝１．１６×１０７ｃｍＨｚ１／２／Ｗ。

室温工作的低成本氧化钒红外焦平面器件

文章给出了氧化钒焦平面器件的基本工作原理、设计思想、关键工艺、应用前景、现在已经达到和将来可能达到的性能指标,指出本器件是军民两用的低成本器件。

企业全面预算管理的绩效研究

全面预算管理自20世纪20年代被通用电气、杜邦公司等企业应用后,被越来越多的企业所接受。全面预算管理从最初的计划、协调、生产到具有控制、激励、评价等一系列功能的企业管理方案,在企业的内部控制中占有重要的地位。推行全面预算管理是提高企业管理水平的重要措施,近年来我国越来越多的企业开展全面预算管理工作。文章旨在通过科学的程序和方法,对预算管理的执行状况进行衡量,并评价预算管理绩效,为企业实施奖惩提供依据,并进一步优化企业的全面预算管理水平。文章重点研究对全面预算的绩效管控,为预算工作提供指导。

基于财务共享的企业业财融合研究

随着管理会计理论的高速发展,业财融合也被越来越多的企业所接受,对于实行了财务共享的企业而言,财务人员也需要进行更高附加值的工作,在财务共享模式下开展业财融合也成为未来财务管理的趋势,对此本文探讨了目前企业在实施财务共享下的业财融合中存在的问题,并针对所存在的问题提出了优化建议,以期促进财务共享中心建设。