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国内首台化学束外延(CBE)系统的设计考虑及外延结果
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作者 孙殿照 孔梅影 +13 位作者 韩汝水 朱世荣 阎春辉 国红熙 付首清 周增圻 张晓秋 黄运衡 谢琪 刘世闯 雷震林 张利强 余文斌 乔金梁 《半导体情报》 1991年第6期79-80,共2页
研制了国内首台化学束外延(CBE)系统。半导体所用此系统进行了CBE实验,获得质量良好的半导体材料。本文给出该系统的设计考虑及CBE实验结果。
关键词 化学束外延 设备 半导材料 设计
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