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UHV/CVD 设备及其特性 被引量:6
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作者 雷震霖 赵科新 +7 位作者 余文斌 任国豪 谢琪 余金中 成步文 于卓 王启明 杨乃恒 《真空》 CAS 北大核心 1997年第6期14-17,共4页
本文描述超高真空化学气相淀积系统(UHV/CVD)的设计思想、系统的结构和性能,着重介绍超高真空的获得和系统的特点,将为“第二代硅”SiGe/Si异质结材料的生长及未来的光电子集成提供有力的工具。
关键词 IC 设计 UHV/CVD 半导体薄膜技术
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用于超高真空的磁力耦合传动元件工作特性的研究 被引量:3
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作者 雷震霖 谢琪 +2 位作者 张世伟 况战 杨乃恒 《真空》 CAS 北大核心 1998年第5期18-21,共4页
本文介绍了用于超高真空设备中的磁力耦合传动元件的工作原理与结构,以及与普通磁力传动的差别。利用集总参数法建立了磁路参数计算的数学模型和公式,并得出传动力和力矩的计算公式。针对一种实用元件画出其工作特性曲线。这些内容是... 本文介绍了用于超高真空设备中的磁力耦合传动元件的工作原理与结构,以及与普通磁力传动的差别。利用集总参数法建立了磁路参数计算的数学模型和公式,并得出传动力和力矩的计算公式。针对一种实用元件画出其工作特性曲线。这些内容是指导磁力传动元件优化设计和合理选用的理论其础。 展开更多
关键词 磁力传动元件 超高真空 工作特性 动密封元件
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7-醚基香豆素衍生物的合成及抑菌活性研究 被引量:6
3
作者 雷震霖 侯文成 骆焱平 《化学试剂》 CAS 北大核心 2016年第2期157-162,共6页
利用Peachmann缩合反应,合成了7-羟基-4,6-二甲基香豆素和7-羟基-4,8-二甲基香豆素。随后分别与取代苄氯反应,合成了23个7-苄醚基香豆素衍生物。所有化合物的结构经过1HNMR和高分辨质谱进行表征。初步生物活性实验结果表明,在质量浓度为... 利用Peachmann缩合反应,合成了7-羟基-4,6-二甲基香豆素和7-羟基-4,8-二甲基香豆素。随后分别与取代苄氯反应,合成了23个7-苄醚基香豆素衍生物。所有化合物的结构经过1HNMR和高分辨质谱进行表征。初步生物活性实验结果表明,在质量浓度为100 mg/L时,化合物7-(4-氟苄氧基)-4,6-二甲基-2H-苯并吡喃-2-酮、4,6-二甲基-7-(2-甲苄氧基)-2H-吡喃-2-酮、7-(4-甲氧苄氧基)-4,6-二甲基-2H-吡喃-2-酮、7-(4-氟苄氧基)-4,8-二甲基-2H-吡喃-2-酮、7-(4-甲氧苄氧基)-4,8-二甲基-2H-吡喃-2-酮对芒果蒂腐病菌(Botryodiplodia Theobromae Pat.)抑制率达70%以上;化合物7-(3-氯苄氧基)-4,8-二甲基-2H-吡喃-2-酮显示出广谱抑菌活性。 展开更多
关键词 7-醚基香豆素 合成 抑菌活性
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高功率密度同步辐射前端区安全防护系统的结构与配置
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作者 雷震霖 张振厚 +3 位作者 孙宇凌 黄文符 张国栋 刘先卓 《真空》 CAS 北大核心 1998年第6期23-26,共4页
第三代同步辐射光源,尤其是由波荡器引出的同步辐射光,具有极高的功率密度。本文介绍了高功率密度同步辐射带来的热辐射问题并探讨了在前端区解决该问题的方法与结构。
关键词 同步辐射 前端区 功率密度 热负荷 安全防护
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高压强下外延生长的差分RHEED原位监测
5
作者 雷震霖 杨乃恒 +4 位作者 于卓 成步文 李代宗 余金中 王启明 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第6期470-474,共5页
给出了能在较高压强(10(-1)Pa)下进行原位监控生长的差分RHEED系统的设计思想、结构性能等,同时给出了在LMBE技术中实际应用的结果,包括随着氧压强的增加衍射条纹所发生的变化。阐述了产生这一现象的原因,提出了需要进一步研究... 给出了能在较高压强(10(-1)Pa)下进行原位监控生长的差分RHEED系统的设计思想、结构性能等,同时给出了在LMBE技术中实际应用的结果,包括随着氧压强的增加衍射条纹所发生的变化。阐述了产生这一现象的原因,提出了需要进一步研究和改进的问题。 展开更多
关键词 反射式 高能电子衍射 外延生长 激光 薄膜
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改善UHV/CVD外延生长环境提高GeSi/Si材料性能有效方法
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作者 雷震霖 于卓 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第A10期152-155,共4页
本文阐述了应用国产UHV/CVD设备处延生长的GeSi/Si材料碳、氧含同的原因,定量地分析了有害残余气体的成分,提出了改善处延生长环境提高GeSi/Si材料性能的有效方法。
关键词 超高真空 CVD 外延 残余气体 材料性能
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蔬菜农药残留检测的红外光谱法研究 被引量:49
7
作者 李文秀 徐可欣 +2 位作者 汪嚥 雷震霖 张振厚 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1202-1204,共3页
对常用高残留农药敌百虫和敌敌畏在蔬菜汁溶剂中的中红外衰减全反射光谱 (ATR)数据进行了研究。在中红外两种农药特征吸收区域 ,蔬菜中的各种色素对农药的特征吸收基本没有干扰 ;农药在蔬菜汁溶液中与在标准试剂溶液中反映出基本相同的... 对常用高残留农药敌百虫和敌敌畏在蔬菜汁溶剂中的中红外衰减全反射光谱 (ATR)数据进行了研究。在中红外两种农药特征吸收区域 ,蔬菜中的各种色素对农药的特征吸收基本没有干扰 ;农药在蔬菜汁溶液中与在标准试剂溶液中反映出基本相同的吸收特性。研究结果表明 ,应用红外光谱技术可以直接对蔬菜上的农药残留进行检测 ,通过农药在水中的吸收建立模型来模拟其在蔬菜体内的吸收 。 展开更多
关键词 蔬菜 农药残留 中红外衰减全反射光谱 直接快速检测
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长大区间隧道抽出式串联通风机排烟能力实验研究 被引量:1
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作者 雷震霖 陈世强 +4 位作者 董向阳 陈永平 刘纯玉 朱祝龙 陈宜汉 《中国安全生产科学技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期115-120,共6页
为实现有效通风以降低隧道火灾带来的损失和伤亡,依托青岛市地铁8号线大洋站至青岛北站区间隧道,建立线性比尺为1∶15的隧道通风排烟模型实验系统,针对通风机串联单抽,围绕3种通风机频率匹配组合,测定单机的变频频率值、电功消耗、排烟... 为实现有效通风以降低隧道火灾带来的损失和伤亡,依托青岛市地铁8号线大洋站至青岛北站区间隧道,建立线性比尺为1∶15的隧道通风排烟模型实验系统,针对通风机串联单抽,围绕3种通风机频率匹配组合,测定单机的变频频率值、电功消耗、排烟道与行车道的断面平均风速以及右侧行车道静压。研究结果表明:在相同功率消耗下,不同频率匹配的串联通风机排烟效果存在差异;针对此差异,利用气体挡烟墙性能及其计算欧拉数值比较发现,风井近端的通风机频率较大时,下游对污染气流的抵抗力更强,拥有更好的排烟效果。研究结果可为隧道火灾提供更有效率的防灾救灾数据支持,并从欧拉数方面为研究隧道临界风速提供新角度。 展开更多
关键词 区间隧道 通风排烟 双通风机串联 欧拉数 实验
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具有RHEED在线监控功能的超高真空CVD系统及3"硅片低温外延研究 被引量:5
9
作者 叶志镇 曹青 +5 位作者 张侃 赵炳辉 李剑光 阙端麟 谢琪 雷震霖 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第12期932-935,共4页
本文报道了自己研制的一台超高真空化学汽相淀积(UHV/CVD)系统,本底真空达10-7Pa.该系统配有反射高能电子衍射仪,可对衬底表面清洁状况、外延层厚度等进行在线监控.利用该设备进行了硅低温外延实验,生长温度为78... 本文报道了自己研制的一台超高真空化学汽相淀积(UHV/CVD)系统,本底真空达10-7Pa.该系统配有反射高能电子衍射仪,可对衬底表面清洁状况、外延层厚度等进行在线监控.利用该设备进行了硅低温外延实验,生长温度为780℃,得到了表面平整、缺陷密度低、界面杂质分布陡峭的薄外延层. 展开更多
关键词 硅片 低温外延 CVD RHEED 在线监控
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用固相外延方法制备Si_(1-x-y)Ge_xC_y三元材料 被引量:3
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作者 于卓 李代宗 +5 位作者 成步文 黄昌俊 雷震霖 余金中 王启明 梁骏吾 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第9期862-866,共5页
分析了 Si1- x- y Gex Cy 三元系材料外延生长的特点 ,指出原子性质上的巨大差异使 Si1- x- yGex Cy 材料的制备比较困难 .固相外延生长是制备 Si1- x- y Gex Cy 的有效方法 ,但必须对制备过程各环节的条件进行优化选择 .通过实验系统... 分析了 Si1- x- y Gex Cy 三元系材料外延生长的特点 ,指出原子性质上的巨大差异使 Si1- x- yGex Cy 材料的制备比较困难 .固相外延生长是制备 Si1- x- y Gex Cy 的有效方法 ,但必须对制备过程各环节的条件进行优化选择 .通过实验系统地研究了离子注入过程中温度条件的控制对外延层质量的影响以及外延退火条件的选择与外延层结晶质量的关系 .指出在液氮温度下进行离子注入能够提高晶体质量 ,而注入过程中靶温过高会导致动态退火效应 ,影响以后的再结晶过程 .采用两步退火方法有利于消除注入引入的点缺陷 ,而二次外延退火存在着一个最佳退火温区 .在此基础上优化得出了固相外延方法制备 Si1- x- y Gex Cy/Si材料的最佳条件 . 展开更多
关键词 Si1-x-yGexCy材料 固相外延 三元系 半导体材料
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UHV/CVD外延生长SiGe/Si表面反应动力学 被引量:1
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作者 于卓 李代宗 +5 位作者 成步文 黄昌俊 雷震霖 余金中 王启明 梁骏吾 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期564-569,共6页
利用 Si H4 和 Ge H4 作为源气体 ,对 UHV/CVD生长 Si1- x Gex/Si外延层的表面反应机理进行了研究 ,通过 TPD、RHEED等实验观察了 Si( 1 0 0 )表面 Si H4 的饱和吸附、热脱附过程 ,得出 Si H4 的分解应该是每个 Si H4 分子的 4个 H原子... 利用 Si H4 和 Ge H4 作为源气体 ,对 UHV/CVD生长 Si1- x Gex/Si外延层的表面反应机理进行了研究 ,通过 TPD、RHEED等实验观察了 Si( 1 0 0 )表面 Si H4 的饱和吸附、热脱附过程 ,得出 Si H4 的分解应该是每个 Si H4 分子的 4个 H原子全部都吸附到了 Si表面 ,Si H4 的吸附率正比于表面空位的 4次方 ,并分析了 Ge H4 的表面吸附机制 .在此基础上建立了 UHV/CVD生长Si1- x Gex/Si的表面反应动力学模型 ,利用模型对实验结果进行了模拟 。 展开更多
关键词 UHV/CVD 外延生长 锗化硅 表面反应动力学
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Si_(1-x-y)Ge_xC_y三元系材料的应变补偿特性 被引量:1
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作者 于卓 李代宗 +5 位作者 成步文 黄昌俊 雷震霖 余金中 王启明 梁骏吾 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期52-56,共5页
研究了 Si1 - x- y Gex Cy 三元系材料的应变补偿特性 ,分析了固相外延方法制备的样品中注入离子的分布对应变补偿效果的影响 ,指出由于 Ge和 C的投影射程及标准偏差不同 ,二者在各处的组分比并不恒定 ,存在着纵向分布 ,因此各处的应变... 研究了 Si1 - x- y Gex Cy 三元系材料的应变补偿特性 ,分析了固相外延方法制备的样品中注入离子的分布对应变补偿效果的影响 ,指出由于 Ge和 C的投影射程及标准偏差不同 ,二者在各处的组分比并不恒定 ,存在着纵向分布 ,因此各处的应变补偿情况也不尽相同 .利用高斯公式对不同位置的应变补偿效果进行了分析 ,得出了外延层中存在应变完全补偿区域时 Ge、C的峰值浓度比 NGe/ NC应满足一定的取值范围 .通过制备不同 C组分的样品对上述结论进行了验证 。 展开更多
关键词 应变补偿 半导体材料 SIGEC 三元化合物
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6-酯基香豆素衍生物的除草抑菌活性 被引量:4
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作者 谢颖 雷震霖 骆焱平 《海南大学学报(自然科学版)》 CAS 2014年第3期233-238,251,共7页
利用生长量法和生长速率法分别测试了6-酯基香豆素衍生物的除草活性和抑菌活性,结果表明:6-酯基香豆素衍生物对5种受体植物表现出较好的除草活性,特别是Io,Iz,Ioo,Iqq,Im,Ia分别对含羞草、猪屎豆和三叶鬼针草的抑制活性超过80%,与乙草... 利用生长量法和生长速率法分别测试了6-酯基香豆素衍生物的除草活性和抑菌活性,结果表明:6-酯基香豆素衍生物对5种受体植物表现出较好的除草活性,特别是Io,Iz,Ioo,Iqq,Im,Ia分别对含羞草、猪屎豆和三叶鬼针草的抑制活性超过80%,与乙草胺对照药剂的活性相当;6-酯基香豆素衍生物对6种靶标菌也有一定的抑菌作用,其中Im对椰子灰斑病的抑菌率为81.86%,与对照药剂的百菌清效果相当. 展开更多
关键词 6-酯基香豆素 除草活性 抑菌活性
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Si_(1-y)C_y合金的固相外延生长及其特性
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作者 于卓 余金中 +4 位作者 成步文 雷震霖 李代宗 王启明 梁骏吾 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期60-64,共5页
采用固相外延的方法在Si(100)衬底上生长了C组分为0.5at.%的Si1-yCy合金,并对合金的质量及特性进行了测试分析.采用多重离子注入的方法,并利用SiO2做缓冲层,能够获得满意的C离子分布.小束流、长时间的... 采用固相外延的方法在Si(100)衬底上生长了C组分为0.5at.%的Si1-yCy合金,并对合金的质量及特性进行了测试分析.采用多重离子注入的方法,并利用SiO2做缓冲层,能够获得满意的C离子分布.小束流、长时间的注入方法能避免β-SiC相的出现,最大限度地抑制动态退火效应.对Si衬底进行非晶化预处理能显著提高代位C原子的比例.两步退火过程能有效地减少注入前沿的点缺陷。 展开更多
关键词 硅碳合金 半导体 离子注入 固相外延 晶体质量
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Ge_xSi_(1-x)材料生长的改善
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作者 李代宗 于卓 +3 位作者 雷震霖 成步文 余金中 王启明 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期215-217,共3页
利用超高真空化学气相淀积(UHV/CVD)系统在 650℃生长出表面光亮的 GeSi单晶 在1200L/min分子泵与前级机械系间串接 450L/min分子泵,改善了生长环境串接分子泵后生长的 样品的X射线双晶衍射分析表... 利用超高真空化学气相淀积(UHV/CVD)系统在 650℃生长出表面光亮的 GeSi单晶 在1200L/min分子泵与前级机械系间串接 450L/min分子泵,改善了生长环境串接分子泵后生长的 样品的X射线双晶衍射分析表明,外延层衍射峰半宽仅为 198arcsec, 且出现了 Pendellosung干涉条 纹,说明外延层结晶质量很好。 展开更多
关键词 超高真空化学气相淀积 硅化锗材料 晶体生长
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金属有机源分子束外延设备的研制
16
作者 谢琪 刘世闯 +8 位作者 雷震霖 张利强 余文斌 乔金梁 孔梅影 孙殿照 韩汝水 朱世莱 阎春辉 《半导体情报》 1991年第6期80-82,共3页
本文报道了金属有机源分子束外廷设备的设计方案和技术特点。该设备最大样品尺寸为3英寸,3室结构,空气闭锁换样,6条气路。
关键词 金属 有机化合物 分子束外延 设备
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吸能型连梁装置吸能部件结构设计及有限元分析 被引量:5
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作者 邢心魁 王逸飞 +1 位作者 雷震霖 李秦 《铁道建筑》 北大核心 2019年第6期6-9,共4页
吸能型连梁装置的工作原理是在强震作用时通过将楔形块挤入吸能管使其发生弹塑性变形来吸收能量。吸能部件的设计是实现缓冲性能的关键。首先根据吸能部件的构造形式提出了其结构设计参数;在此基础上,运用塑性力学理论中的主应力法推导... 吸能型连梁装置的工作原理是在强震作用时通过将楔形块挤入吸能管使其发生弹塑性变形来吸收能量。吸能部件的设计是实现缓冲性能的关键。首先根据吸能部件的构造形式提出了其结构设计参数;在此基础上,运用塑性力学理论中的主应力法推导了吸能管的缓冲荷载理论计算公式;最后建立了吸能部件有限元模型,验证了理论计算公式的正确性,并分析了吸能管扩径变形的基本特征。 展开更多
关键词 桥梁 连梁装置 吸能部件 理论分析 有限元 缓冲荷载
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公路桥梁连梁装置研究进展 被引量:1
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作者 邢心魁 王逸飞 +3 位作者 雷震霖 李秦 党浩 刘顺 《工程抗震与加固改造》 北大核心 2019年第4期140-145,114,共7页
基于落梁震害给人们带来的惨痛教训,世界各国学者对落梁防止装置展开深入研究,以提高桥梁结构的抗震能力。连梁装置是一种防止落梁震害的有效措施。本文首先对连梁装置特点和使用范围进行了概述,并介绍了常用的连梁装置类型。然后介绍... 基于落梁震害给人们带来的惨痛教训,世界各国学者对落梁防止装置展开深入研究,以提高桥梁结构的抗震能力。连梁装置是一种防止落梁震害的有效措施。本文首先对连梁装置特点和使用范围进行了概述,并介绍了常用的连梁装置类型。然后介绍了目前常用的连梁装置设计方法,并对连梁装置设计方法的研究进展进行总结。针对目前连梁装置研究的现状,进一步研究连梁装置的设计思想和方法,对连梁装置的后续研究及工程应用起到推动作用。 展开更多
关键词 地震 落梁 连梁装置 设计方法
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高熔点稀土倍半氧化钪(Sc_(2)O_(3))晶体的生长 被引量:3
19
作者 赵衡煜 侯文涛 +5 位作者 薛艳艳 王庆国 董建树 雷震霖 徐晓东 徐军 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第4期732-734,共3页
本文通过自主研发制造新型高温晶体生长炉,并采用热交换-温度梯度法的热场结构,从而克服了高温环境下坩埚污染。调节热场结构并引入循环气,增大了温度梯度并改善了结晶驱动力不足的问题。用热交换-温度梯度法生长了2英寸(1英寸=2.54 cm... 本文通过自主研发制造新型高温晶体生长炉,并采用热交换-温度梯度法的热场结构,从而克服了高温环境下坩埚污染。调节热场结构并引入循环气,增大了温度梯度并改善了结晶驱动力不足的问题。用热交换-温度梯度法生长了2英寸(1英寸=2.54 cm)级的氧化钪(Sc_(2)O_(3))晶体,这一结果是目前已知的最大尺寸的倍半氧化物单晶。氧化钪晶体呈现无色透明,外形完整、内部无气泡或其他可观察到的宏观缺陷。尺寸为ϕ55 mm×50 mm。其中放肩部分高度15 mm,等径生长部分的高度为40 mm。块状晶体的XRD谱只有(222)与(444)峰,可判定为单晶体,双晶摇摆曲线半高宽(FWHM)为113″,显示较好的结晶性能。 展开更多
关键词 氧化钪晶体 倍半氧化物晶体 热交换法 温度梯度法
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预应力钢绞线动态力学拉伸性能及本构关系 被引量:7
20
作者 邢心魁 李亚 +1 位作者 雷震霖 李秦 《科学技术与工程》 北大核心 2018年第7期228-233,共6页
首先利用电液伺服加载试验机对单束钢绞线在(10^(-3)~10^(-1)s^(-1))应变率范围内进行动态力学拉伸试验;然后根据实验数据,分析了不同应变率对屈服强度的影响规律;并对我国设计规范中用于硬钢类材料简化计算的Ramberg-Osgood本构模型进... 首先利用电液伺服加载试验机对单束钢绞线在(10^(-3)~10^(-1)s^(-1))应变率范围内进行动态力学拉伸试验;然后根据实验数据,分析了不同应变率对屈服强度的影响规律;并对我国设计规范中用于硬钢类材料简化计算的Ramberg-Osgood本构模型进行修正,以获得可以更好地描述钢绞线动态拉伸应力-应变关系的本构模型。研究表明,单束钢绞线的应变率越大,其屈服应变和极限应变越小,屈服强度越大。修正后的Ramberg-Osgood本构模型能够较好地描述钢绞线动态拉伸应力-应变关系;并且随着应变率的增大,钢绞线的硬化指数减小,残余应变增大。 展开更多
关键词 钢绞线 动态拉伸 应变率 屈服强度 Ramberg-Osgood本构模型
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