光学元件表面疵病视觉检测与评价方法研究

表面疵病是评估光学元件表面质量的重要标准,主要包括划痕和麻点.为了准确评估光学元件的表面质量,提出了一种基于机器视觉的检测与评价方法.根据暗场散射成像原理,搭建了图像采集系统,并通过数字图像处理技术设计了疵病识别系统.基于质量检测标准编写了数字化评价系统,实现了对光学元件表面疵病的检测.实验结果显示,该检测方法对光学元件表面质量的评价结果与人工评价结果一致,匹配度达到 100%,验证了方法的可靠性,有助于实现光学元件表面质量的数字化评价.