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PECVD法沉积大尺寸氮化硅薄膜性能的研究
被引量:
5
1
作者
胡毓龙
金哲山
+2 位作者
董杰
刘晓婷
霍建宾
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期188-192,共5页
采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)法在大尺寸玻璃基板上沉积氮化硅薄膜,对薄膜性能进行了研究,并从微观角度对所得结论进行了进一步分析与讨论。PECVD法在连续沉积氮化硅薄膜时,薄膜的厚度、沉积速率、均一性以及致密度会随镀膜...
采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)法在大尺寸玻璃基板上沉积氮化硅薄膜,对薄膜性能进行了研究,并从微观角度对所得结论进行了进一步分析与讨论。PECVD法在连续沉积氮化硅薄膜时,薄膜的厚度、沉积速率、均一性以及致密度会随镀膜基板数变化。结果表明,随镀膜基板数量的逐渐增加,氮化硅薄膜平均厚度呈上升趋势,均一性变好,薄膜致密度呈下降趋势。
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关键词
薄膜晶体管
化学气相沉积
氮化硅
均一度
致密度
膜厚
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职称材料
PECVD设备Leak在线监控系统创建及应用
2
作者
金哲山
霍建宾
+2 位作者
董杰
刘晓婷
胡毓龙
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第11期1039-1042,共4页
等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分析方法在线监控PECVD工艺腔室Leak的可行性,搭建了腔室在线监...
等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分析方法在线监控PECVD工艺腔室Leak的可行性,搭建了腔室在线监控系统。通过光谱条件的调整测试,发现Ar等离子状态下,Leak光谱和正常光谱差异最大化,更有利于Leak光谱检测,成功实现Leak在线检测,在行业内首次实现PECVD真空腔室在线监控功能。
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关键词
真空腔室
等离子体增强型化学气相沉积
漏气
光谱检测
等离子体光谱分析仪
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职称材料
题名
PECVD法沉积大尺寸氮化硅薄膜性能的研究
被引量:
5
1
作者
胡毓龙
金哲山
董杰
刘晓婷
霍建宾
机构
北京京东方显示技术有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期188-192,共5页
文摘
采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)法在大尺寸玻璃基板上沉积氮化硅薄膜,对薄膜性能进行了研究,并从微观角度对所得结论进行了进一步分析与讨论。PECVD法在连续沉积氮化硅薄膜时,薄膜的厚度、沉积速率、均一性以及致密度会随镀膜基板数变化。结果表明,随镀膜基板数量的逐渐增加,氮化硅薄膜平均厚度呈上升趋势,均一性变好,薄膜致密度呈下降趋势。
关键词
薄膜晶体管
化学气相沉积
氮化硅
均一度
致密度
膜厚
Keywords
Thin Film Transistor
PECVD
Silicon nitride thin film
Uniformity
Density
Thickness
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
PECVD设备Leak在线监控系统创建及应用
2
作者
金哲山
霍建宾
董杰
刘晓婷
胡毓龙
机构
北京京东方显示技术有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第11期1039-1042,共4页
文摘
等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分析方法在线监控PECVD工艺腔室Leak的可行性,搭建了腔室在线监控系统。通过光谱条件的调整测试,发现Ar等离子状态下,Leak光谱和正常光谱差异最大化,更有利于Leak光谱检测,成功实现Leak在线检测,在行业内首次实现PECVD真空腔室在线监控功能。
关键词
真空腔室
等离子体增强型化学气相沉积
漏气
光谱检测
等离子体光谱分析仪
Keywords
Vacuum Chamber
PECVD
Leak
Spectrum detection
RTPSA
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
PECVD法沉积大尺寸氮化硅薄膜性能的研究
胡毓龙
金哲山
董杰
刘晓婷
霍建宾
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021
5
下载PDF
职称材料
2
PECVD设备Leak在线监控系统创建及应用
金哲山
霍建宾
董杰
刘晓婷
胡毓龙
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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