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532nm连续激光晶化非晶硅薄膜的原位拉曼光谱研究 被引量:8
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作者 徐二明 袁超 +2 位作者 王俊平 霍浩磊 梁二军 《光散射学报》 2008年第3期258-264,共7页
用磁控溅射制备了非晶硅薄膜,用波长为532 nm的连续激光退火和显微Raman光谱原位测试技术和场发射扫描电子显微镜研究了非晶硅薄膜在不同激光功率密度和不同扫描速度下的晶化状态。结果表明,激光照射时间10 s,激光功率密度大于2.929... 用磁控溅射制备了非晶硅薄膜,用波长为532 nm的连续激光退火和显微Raman光谱原位测试技术和场发射扫描电子显微镜研究了非晶硅薄膜在不同激光功率密度和不同扫描速度下的晶化状态。结果表明,激光照射时间10 s,激光功率密度大于2.929×105W/cm2时,能实现非晶硅薄膜晶化。在激光功率密度为5.093×105W/cm2,扫描速度为10 mm/s时非晶硅开始向多晶硅转化。在5.093×105W/cm2的功率密度下,以1.0 mm/s的扫描速度退火非晶硅薄膜,得到的晶粒直径为740 nm。 展开更多
关键词 非晶硅薄膜 拉曼光谱 晶化
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准直器型扩束光纤连接器插入损耗的设计和控制
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作者 霍浩磊 俞文昊 施鹏 《光纤与电缆及其应用技术》 2024年第1期5-8,12,共5页
扩束光纤连接器是一种特殊的非接触式光纤连接器,具有抗污染能力强、机械寿命性能优越及抗振动冲击能力强的特点,但工程化设计及制造难度大。通过对准直器型扩束光纤连接器的工作原理和插入损耗影响因素的研究,提出了降低该类连接器插... 扩束光纤连接器是一种特殊的非接触式光纤连接器,具有抗污染能力强、机械寿命性能优越及抗振动冲击能力强的特点,但工程化设计及制造难度大。通过对准直器型扩束光纤连接器的工作原理和插入损耗影响因素的研究,提出了降低该类连接器插入损耗的设计和控制措施,并总结出了一套行之有效的装配调试方法,希望为准直器型扩束光纤连接器的设计和制造提供参考。 展开更多
关键词 扩束光纤连接器 准直器 插入损耗
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