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准分子激光器及其应用 被引量:1
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作者 霍芸生 楼祺洪 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1991年第3期11-15,共5页
本文评述了准分子激光在激光加工、激光医疗中的应用前景,非线性光学在准分子激光技术中的运用,以及近年来高重复频率与高亮度准分子的激光器件的新进展。
关键词 准分子激光器 应用 激光器
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20瓦横向流动X光预电离XeCl准分子激光器
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作者 楼祺洪 霍芸生 +4 位作者 董景星 丁爱臻 魏运荣 丁泽安 王润文 《激光杂志》 CAS 1987年第1期66-70,共5页
自从1975年稀有气体卤化物准分子激光器出现以来,这类激光器已被誉为新一代紫外光源。近几年来,在高能激光武器、激光核聚变、激光同位素分离、激光化学、激光半导体材料表面处理、微电子加工和激光医学等方面都获得了很大的进展。在... 自从1975年稀有气体卤化物准分子激光器出现以来,这类激光器已被誉为新一代紫外光源。近几年来,在高能激光武器、激光核聚变、激光同位素分离、激光化学、激光半导体材料表面处理、微电子加工和激光医学等方面都获得了很大的进展。在这些应用中,所需要的激光平均功率也日益提高, 展开更多
关键词 准分子激光器 XECL 横向流动 预电离 激光同位素分离 X光 高能激光武器 材料表面处理 激光核聚变 微电子加工
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Bogoliubov Quasiparticles Carried by Dark Solitonic Excitations in Nonuniform Bose-Einstein Condensates
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作者 洪涛 王育竹 霍芸生 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 1998年第8期550-552,共3页
We consider the noncondensate part of the Bose gas in presence of dark solitons.We get a stationary equation of Bogoliubov quasiparticles and find that these Bogoliubov quasiparticles are confined by a dark soliton an... We consider the noncondensate part of the Bose gas in presence of dark solitons.We get a stationary equation of Bogoliubov quasiparticles and find that these Bogoliubov quasiparticles are confined by a dark soliton and carried to propagate with it.This model of the compound structure of the soliton and Bogoliubov quasiparticles provides more precise description of localized sound excitations in Bose-Einstein condensates. 展开更多
关键词 EINSTEIN SOLITON quasi
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大阪激光工程研究所的激光二极管泵浦固体激光驱动器
4
作者 Yaman.,M 霍芸生 《强激光技术进展》 1994年第2期13-22,共10页
关键词 激光二极管 泵浦 固体激光器
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“Super—ASHURA”,万焦耳级KrF激光器
5
作者 Owada.,Y 霍芸生 《强激光技术进展》 1994年第3期23-25,共3页
关键词 Super-ASHURA 万焦耳级 KRF激光器
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原子光刻用亚稳态氖原子束源的研究 被引量:2
6
作者 霍芸生 蔡惟泉 +2 位作者 曾庆林 鄢和明 王育竹 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期40-42,共3页
研制了一台用于原子光刻的亚稳态氖原子束源 ,其束流强度可达 3 3× 10 14 atoms/s·Sr.。研究了束流强度的变化规律 ,并对其机理进行了探讨。
关键词 原子光刻 惰性气体 亚稳态 原子束 束流强度 氖原子
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亚稳态氖原子光刻的实验研究 被引量:1
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作者 霍芸生 蔡惟泉 +2 位作者 曾庆林 鄢和明 王育竹 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期22-24,共3页
用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验。用栅网作掩膜 ,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂 ,在硅片上刻蚀出分辨率为 2 μm的微结构 ,为进一步的纳米级原子光刻技术的研究打下了基础。
关键词 原子光刻 亚稳态氖原子束 惰性气体 微结构
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用于热原子束的消色差原子透镜的研究 被引量:1
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作者 霍芸生 蔡惟泉 +1 位作者 曾庆林 王育竹 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期245-248,共4页
研究了与钠原子束斜交的激光束所构成的消色差原子透镜的聚焦特性 ,计算结果表明 ,由于色差得到一定程度的修正 ,沟道化钠原子的条纹宽度减小了一半 ,且信噪比得到了显著的提高。
关键词 原子透镜 消色差 热原子束 光刻
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钡蒸气中放大自发辐射与参量四波混频的竞争
9
作者 霍芸生 林英仪 +2 位作者 丁爱臻 上官诚 楼祺洪 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第7期519-522,共4页
研究了在双光子共振条件下,Ba蒸气中放大自发辐射(ASE)与参量四波混频(PFWM)的竞争过程,其机制可归结为ASE与PFWM之间的干涉相消。
关键词 非线性光学 钡蒸气 放大自发辐射 参量四波混频
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钡原子三重态的碰撞诱导受激辐射
10
作者 霍芸生 丁爱臻 +1 位作者 魏运荣 董景星 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第10期888-894,共7页
在XeCl激光光泵的Ba蒸气中,首次观察到波长为551.9nm、606.3nm及611.1nm的受激辐射,它们分别对应于Ba原子的三重态跃迁:6s6d^3D_2—6s6p^3P_1、5d6p^3P_2-6s5d^3D_3及5d6p^3P_1—6s5d^3D_2.对于Ba原子的自旋禁戒跃迁6s7p^1P_1—6s6d^3D_... 在XeCl激光光泵的Ba蒸气中,首次观察到波长为551.9nm、606.3nm及611.1nm的受激辐射,它们分别对应于Ba原子的三重态跃迁:6s6d^3D_2—6s6p^3P_1、5d6p^3P_2-6s5d^3D_3及5d6p^3P_1—6s5d^3D_2.对于Ba原子的自旋禁戒跃迁6s7p^1P_1—6s6d^3D_2的可能性进行了探讨. 展开更多
关键词 原子 碰撞诱导 辐射
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紫外预电离20WXeCl准分子激光器的研究
11
作者 霍芸生 楼祺洪 +4 位作者 魏运荣 董景星 丁爱臻 丁泽安 高鸿奕 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第S1期7-11,共5页
从一台紫外预电离XeCl激光器中得到单脉冲能量~400mJ、平均功率22W的激光输出,其总体效率约2%。分析和实验测量表明,C-G能量转移效率对激光器的工作特性有着重要影响。
关键词 准分子激光器 脉冲重复频率
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KrF激光在氢-惰性气体体系中的反斯托克斯拉曼转换
12
作者 霍芸生 丁爱臻 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第8期604-606,共3页
通过氢-惰性气体体系中惰性气体分子对氢拉曼能级的碰撞加宽所引起的对拉曼增益系数的控制,抑制了由一阶向二阶斯托克斯的受激拉曼转换,提高了低价反斯托克斯拉曼转换的效率。
关键词 KRF激光 受激拉曼转换 散射 氢气 惰性气体
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反斯托克斯拉曼转换增益系数的最佳化
13
作者 霍芸生 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第8期649-652,共4页
研究了反斯托克斯拉曼转换与受激拉曼散射之间的竞争过程,讨论了反斯托克斯拉曼转换增益系数的最佳化。
关键词 反SR转换 增益系数 最佳化 VUV
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原子光刻 被引量:20
14
作者 蔡惟泉 李传文 +1 位作者 霍芸生 王育竹 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期611-619,共9页
介绍了根据量子光学的最新成果———激光冷却和捕陷中性原子的原理而发展出的一种新型纳米级刻印技术———原子光刻.介绍了该项技术的基本原理、总体方案、单元技术及刻印结果,将这项新技术与其他微刻印方法进行了比较,展望了其应... 介绍了根据量子光学的最新成果———激光冷却和捕陷中性原子的原理而发展出的一种新型纳米级刻印技术———原子光刻.介绍了该项技术的基本原理、总体方案、单元技术及刻印结果,将这项新技术与其他微刻印方法进行了比较,展望了其应用于微电子学等领域的前景. 展开更多
关键词 原子光刻 刻印 量子光学 激光冷却 原子捕陷
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红移高功率大失谐驻波光场原子光刻 被引量:4
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作者 曾庆林 霍芸生 +1 位作者 蔡惟泉 王育竹 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期918-922,共5页
研究了红移大失谐驻波光场在高功率的情况下对原子束的聚焦特性 ,数值结果显示在激光功率较高的情况下 ,有实现原子光刻的可能。在单线功率输出为P =7W ,光斑尺寸为w0 =0 .1mm的Ar+ 离子激光束的条件下 ,Cr原子束在置于焦平面处的基板... 研究了红移大失谐驻波光场在高功率的情况下对原子束的聚焦特性 ,数值结果显示在激光功率较高的情况下 ,有实现原子光刻的可能。在单线功率输出为P =7W ,光斑尺寸为w0 =0 .1mm的Ar+ 离子激光束的条件下 ,Cr原子束在置于焦平面处的基板上所沉积的条纹半高宽度为 2 0nm左右 ,对比度为 4~ 5。提出了用增强腔来提高条纹对比度和减小色差的办法。在势阱深度增强 2 5 0 0倍时 ,沉积的条纹半高宽度为 5nm~ 10nm ,对比度约为 7。 展开更多
关键词 红移大失谐驻波光场 增强腔 原子光刻
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增强腔在大失谐原子光刻中的应用
16
作者 曾庆林 蔡惟泉 +1 位作者 霍芸生 王育竹 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期783-785,共3页
对增强腔在大失谐光场原子光刻中的实现进行了详细的讨论 ,通过增强腔对激光光束的压缩和功率的增强可达到近共振原子光刻的要求。数值结果显示相对于近共振原子刻印结果 ,在增强腔下光束中心处沉积的原子条纹宽度将更细 ,为原子刻印提... 对增强腔在大失谐光场原子光刻中的实现进行了详细的讨论 ,通过增强腔对激光光束的压缩和功率的增强可达到近共振原子光刻的要求。数值结果显示相对于近共振原子刻印结果 ,在增强腔下光束中心处沉积的原子条纹宽度将更细 ,为原子刻印提供了一种实现条纹精细度较高的新型方案。 展开更多
关键词 大失谐光场 原子光刻 增强腔
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玻色爱因斯坦凝聚体一维轴向干涉中的非线性现象 被引量:3
17
作者 洪涛 霍芸生 王育竹 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期315-318,共4页
利用含时的 Gross- Pitaevskii方程 ,研究了轴对称的高密度玻色爱因斯坦凝聚体在干涉过程中因原子间相互作用而产生的非线性现象。发现玻色爱因斯坦凝聚体的一维轴向干涉条纹的密度分布是一种驻波状结构。通过原子波之间非线性耦合相互... 利用含时的 Gross- Pitaevskii方程 ,研究了轴对称的高密度玻色爱因斯坦凝聚体在干涉过程中因原子间相互作用而产生的非线性现象。发现玻色爱因斯坦凝聚体的一维轴向干涉条纹的密度分布是一种驻波状结构。通过原子波之间非线性耦合相互作用 ,这种结构可以表现为物质波光栅 。 展开更多
关键词 玻色爱因斯坦凝聚体 非线性原子光学
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X光预电离XeCl~*3080放电准分子激光器增益与饱和特性的研究
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作者 郑承恩 霍芸生 魏运荣 《中国激光》 EI CAS 1983年第4期201-204,共4页
本文用最大损耗法测定了X光预电离XeCl~*3080(?)雪崩放电准分子激光器在2~5个大气压运转的增益与饱和特性。结果表明,在这个气压范围内小讯号增益系数与饱和强度均随气压的上升而增加。
关键词 气压 激光 XECL 准分子激光器 二聚物激光器 预电离 饱和特性 饱和参量 石英平板 腔内损耗 HCI
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喇曼脉冲在钡蒸气中传播的理论分析和数值计算
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作者 莫春松 王润文 +1 位作者 楼祺洪 霍芸生 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第1期16-19,165,共5页
从原子体系三能级近似出发,利用密度矩阵方程和Maxwell方程,导出一套描述光场和原子体系相互作用的方程.在考虑泵浦光随时间变化和初、末态的横向弛豫情况下,对该方程组进行数值解,结果与实验相符合.
关键词 喇曼脉冲传播 钡蒸气 准分子激光
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准分子激光照射人正常主动脉的组织效应 被引量:1
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作者 包世宏 董蓉 +6 位作者 郑道声 张世华 盖保康 霍芸生 魏运荣 董景星 楼祺洪 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第5期377-380,共4页
本文应用XeCl准分子激光,在不同单脉冲能量和不同重复频率下,照射人尸正常主动脉,在不同的表面介质条件下观察它们的组织学变化。
关键词 主动脉 准分子激光 激光 组织效应
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