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SE+PERC太阳电池扩散工艺的研究
被引量:
4
1
作者
张建军
张志敏
+2 位作者
张进臣
靳迎松
刘苗
《太阳能》
2020年第8期52-55,共4页
近年来晶体硅太阳电池PERC技术已经全面推广,在此基础上的选择性发射极(selective emiter,SE)激光掺杂技术也逐渐趋于成熟,已实现工业化量产,且以产线升级简单、兼容性好等优势逐渐成为新一代主流产品。论述了一种匹配SE+PERC技术的新...
近年来晶体硅太阳电池PERC技术已经全面推广,在此基础上的选择性发射极(selective emiter,SE)激光掺杂技术也逐渐趋于成熟,已实现工业化量产,且以产线升级简单、兼容性好等优势逐渐成为新一代主流产品。论述了一种匹配SE+PERC技术的新型太阳电池扩散工艺,即通过改善磷硅玻璃(PSG)层的厚度、表面掺杂浓度来降低激光掺杂过程对硅片绒面的损伤,从而减少开路电压的损失;同时重掺区得到更高的掺杂浓度,可以明显改善欧姆接触,使SE激光掺杂技术的优势体现得更明显。
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关键词
PERC太阳电池
SE
激光掺杂
磷掺杂浓度
PSG层
欧姆接触
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职称材料
管式PECVD法沉积的Si_(y)N_(x)/SiO_(x)N_(y)叠层膜的研究
被引量:
2
2
作者
王贵梅
许志卫
+2 位作者
靳迎松
朱少杰
王少丽
《太阳能》
2022年第1期40-44,共5页
本文对采用管式等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积的氮化硅与氮氧化硅(Si_(y)N_(x)/SiO_(x)N_(y))叠层膜进行了实验研究,结果表明:在硅片正面镀膜时增加SiO_(x)N_(y)膜层,既可以增强正面的钝化效果,还可以降低对光的反射率,增加光...
本文对采用管式等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积的氮化硅与氮氧化硅(Si_(y)N_(x)/SiO_(x)N_(y))叠层膜进行了实验研究,结果表明:在硅片正面镀膜时增加SiO_(x)N_(y)膜层,既可以增强正面的钝化效果,还可以降低对光的反射率,增加光吸收率,从而提升太阳电池的短波响应能力,通过对膜层组分和反应气体流量等工艺参数进行匹配优化,使太阳电池的光电转换效率提升了0.07%;利用Si_(y)N_(x)/SiO_(x)N_(y)叠层膜抗氧化、抗钠离子的特性,使太阳电池的抗电势诱导衰减(PID)性能提升了22%。
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关键词
管式PECVD
氮氧化硅薄膜
氮化硅薄膜
Si_(y)N_(x)/SiO_(x)N_(y)叠层膜
太阳电池
短波响应
抗PID性能
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职称材料
双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化工艺
3
作者
孙晓凯
田凤美
+2 位作者
靳迎松
张福庆
胡明强
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第4期312-316,共5页
基于钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池工艺,对选择性发射极晶体硅双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化进行了研究。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,制备了背面为AlOx/SiNx钝化膜层的双面PERC太阳电池。提出了几种不同背...
基于钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池工艺,对选择性发射极晶体硅双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化进行了研究。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,制备了背面为AlOx/SiNx钝化膜层的双面PERC太阳电池。提出了几种不同背面钝化膜层的设计方案,分析了不同设计方案对双面PERC太阳电池背面效率及双面率的影响。测试结果表明,采用背面AlOx/SiNx叠层钝化膜、SiNx双层减反射膜、较大折射率梯度SiN_x膜层、较薄AlOx膜层及较薄SiNx膜层工艺,对提升双面PERC太阳电池背面效率及电池双面率效果显著,用最优设计方案制备的双面PERC太阳电池,其背面效率和双面率分别为14.96%和68.69%。
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关键词
双面钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池
背面效率
双面率
背钝化
双面减反射膜
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职称材料
不同扩散工艺对发黑硅片的影响
4
作者
严金梅
李吉
+3 位作者
王惠
麻增智
靳迎松
赵朋松
《太阳能》
2016年第2期26-28,共3页
主要研究电池片生产过程中不同扩散工艺、扩散温度,以及扩散方式对发黑单晶硅片产生的影响,使用光致发光测试仪测试发黑单晶硅片经过不同的扩散工艺、扩散温度、扩散方式后的PL图。结果表明,电池片生产工艺中一定的扩散工艺会使硅片中...
主要研究电池片生产过程中不同扩散工艺、扩散温度,以及扩散方式对发黑单晶硅片产生的影响,使用光致发光测试仪测试发黑单晶硅片经过不同的扩散工艺、扩散温度、扩散方式后的PL图。结果表明,电池片生产工艺中一定的扩散工艺会使硅片中的发黑情况消失。
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关键词
太阳电池
发黑硅片
扩散工艺
光致发光测试仪
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职称材料
题名
SE+PERC太阳电池扩散工艺的研究
被引量:
4
1
作者
张建军
张志敏
张进臣
靳迎松
刘苗
机构
晶澳太阳能有限公司
出处
《太阳能》
2020年第8期52-55,共4页
文摘
近年来晶体硅太阳电池PERC技术已经全面推广,在此基础上的选择性发射极(selective emiter,SE)激光掺杂技术也逐渐趋于成熟,已实现工业化量产,且以产线升级简单、兼容性好等优势逐渐成为新一代主流产品。论述了一种匹配SE+PERC技术的新型太阳电池扩散工艺,即通过改善磷硅玻璃(PSG)层的厚度、表面掺杂浓度来降低激光掺杂过程对硅片绒面的损伤,从而减少开路电压的损失;同时重掺区得到更高的掺杂浓度,可以明显改善欧姆接触,使SE激光掺杂技术的优势体现得更明显。
关键词
PERC太阳电池
SE
激光掺杂
磷掺杂浓度
PSG层
欧姆接触
Keywords
PERC solar cell
SE
laser doping
phosphorous doping concentration
PSG layer
ohmic contact
分类号
TK514 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
管式PECVD法沉积的Si_(y)N_(x)/SiO_(x)N_(y)叠层膜的研究
被引量:
2
2
作者
王贵梅
许志卫
靳迎松
朱少杰
王少丽
机构
晶澳太阳能有限公司
出处
《太阳能》
2022年第1期40-44,共5页
文摘
本文对采用管式等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积的氮化硅与氮氧化硅(Si_(y)N_(x)/SiO_(x)N_(y))叠层膜进行了实验研究,结果表明:在硅片正面镀膜时增加SiO_(x)N_(y)膜层,既可以增强正面的钝化效果,还可以降低对光的反射率,增加光吸收率,从而提升太阳电池的短波响应能力,通过对膜层组分和反应气体流量等工艺参数进行匹配优化,使太阳电池的光电转换效率提升了0.07%;利用Si_(y)N_(x)/SiO_(x)N_(y)叠层膜抗氧化、抗钠离子的特性,使太阳电池的抗电势诱导衰减(PID)性能提升了22%。
关键词
管式PECVD
氮氧化硅薄膜
氮化硅薄膜
Si_(y)N_(x)/SiO_(x)N_(y)叠层膜
太阳电池
短波响应
抗PID性能
Keywords
tubular PECVD
SiO_(x)N_(y)film
Si_(y)N_(x)film
Si_(y)N_(x)/SiO_(x)N_(y)laminated film
solar cells
short wave response
anti-PID performance
分类号
TK514 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化工艺
3
作者
孙晓凯
田凤美
靳迎松
张福庆
胡明强
机构
晶澳太阳能有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第4期312-316,共5页
文摘
基于钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池工艺,对选择性发射极晶体硅双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化进行了研究。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,制备了背面为AlOx/SiNx钝化膜层的双面PERC太阳电池。提出了几种不同背面钝化膜层的设计方案,分析了不同设计方案对双面PERC太阳电池背面效率及双面率的影响。测试结果表明,采用背面AlOx/SiNx叠层钝化膜、SiNx双层减反射膜、较大折射率梯度SiN_x膜层、较薄AlOx膜层及较薄SiNx膜层工艺,对提升双面PERC太阳电池背面效率及电池双面率效果显著,用最优设计方案制备的双面PERC太阳电池,其背面效率和双面率分别为14.96%和68.69%。
关键词
双面钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池
背面效率
双面率
背钝化
双面减反射膜
Keywords
bifacial passivated emitter and rear contact(PERC)solar cell
rear side efficiency
bifaciality
rear passivation
double-layer anti-reflection coating
分类号
TM914 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
不同扩散工艺对发黑硅片的影响
4
作者
严金梅
李吉
王惠
麻增智
靳迎松
赵朋松
机构
晶澳太阳能有限公司
出处
《太阳能》
2016年第2期26-28,共3页
文摘
主要研究电池片生产过程中不同扩散工艺、扩散温度,以及扩散方式对发黑单晶硅片产生的影响,使用光致发光测试仪测试发黑单晶硅片经过不同的扩散工艺、扩散温度、扩散方式后的PL图。结果表明,电池片生产工艺中一定的扩散工艺会使硅片中的发黑情况消失。
关键词
太阳电池
发黑硅片
扩散工艺
光致发光测试仪
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SE+PERC太阳电池扩散工艺的研究
张建军
张志敏
张进臣
靳迎松
刘苗
《太阳能》
2020
4
下载PDF
职称材料
2
管式PECVD法沉积的Si_(y)N_(x)/SiO_(x)N_(y)叠层膜的研究
王贵梅
许志卫
靳迎松
朱少杰
王少丽
《太阳能》
2022
2
下载PDF
职称材料
3
双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化工艺
孙晓凯
田凤美
靳迎松
张福庆
胡明强
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020
0
下载PDF
职称材料
4
不同扩散工艺对发黑硅片的影响
严金梅
李吉
王惠
麻增智
靳迎松
赵朋松
《太阳能》
2016
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
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