钛酸锶钡薄膜性能优化研究

综述了钛酸锶钡[Ba1_xSrxTiO3(简称BST)]薄膜的制备方法及研究进展,介绍了衬底和电极材料对BST薄膜性能的影响,讨论了引入缓冲层、掺杂和制备组分梯度薄膜对其性能的影响,并指出了未来BST薄膜材料的研究发展方向。