在试验的基础上提出了测量 Ti N涂层界面结合强度的弹塑性赫兹接触应力经验修正公式 ,作为应用实例测量了不同基体表面粗糙度对磁控溅射沉积的 Ti N涂层界面结合强度的影响 .将测量结果与其它测量方法所得结果进行了比较 ,证明提出的方...在试验的基础上提出了测量 Ti N涂层界面结合强度的弹塑性赫兹接触应力经验修正公式 ,作为应用实例测量了不同基体表面粗糙度对磁控溅射沉积的 Ti N涂层界面结合强度的影响 .将测量结果与其它测量方法所得结果进行了比较 ,证明提出的方法切实可行 .展开更多
文摘利用球与平面的赫兹接触应力分布的经验修正公式[1] ,对磁控溅处理前的基体表面粗糙度对沉积层和基体的界面结合力进行了研究 ,并和其他涂层界面结合力的测量方法进行了比较。结果表明 :基体表面粗糙度对界面结合力有很大影响 ,表面粗糙度的改善有利于 Ti N层 /基体的界面结合力的提高 ,同时改善了 Ti