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溅射用高纯铜靶材制备工艺研究 被引量:6
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作者 郭金明 田云飞 +3 位作者 韦建峰 杨森 赵钰 王国栋 《装备制造技术》 2015年第9期167-169,共3页
高纯铜靶材是电子行业中用量最大的金属靶材制品之一。溅射用铜靶的微观组织结构对溅射薄膜的质量具有重要影响。制备研究了高品质的高纯铜靶材的制备工艺,认为若获得细小均匀的微观组织,必须对高纯铜锭进行镦拔工艺处理。高纯铜铸锭在... 高纯铜靶材是电子行业中用量最大的金属靶材制品之一。溅射用铜靶的微观组织结构对溅射薄膜的质量具有重要影响。制备研究了高品质的高纯铜靶材的制备工艺,认为若获得细小均匀的微观组织,必须对高纯铜锭进行镦拔工艺处理。高纯铜铸锭在550℃具有较低的变形抗力,镦拔开坯后,铸态组织得到充分破碎,而且组织比较均匀。此外,铜靶的合理热处理温度在450℃~550℃之间,热处理时间为30 min^60 min. 展开更多
关键词 高纯铜靶材 溅射 制备工艺
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具有1∞形式的极限的探讨
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作者 贺奕鹏 韦建峰 《太原教育学院学报》 2006年第B06期90-91,共2页
具有1∞形式极限是一类很重要的极限,在考试中涉及比较多,学生对此也比较模糊不清,同济大学的教材只给出这种重要的极限及简单的解题方法,没有给出极限存在与否的充分和必要条件,本文给出充要条件。
关键词 无穷小量 极限 函数
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