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PECVD SiO_2-SiN_X叠层钝化膜的研究
被引量:
4
1
作者
韩培育
季静佳
+1 位作者
王振交
李果华
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期1549-1552,共4页
首先使用正交设计法对SiN_X和SiO_2膜的PECVD(等离子体增强化学气相沉积)特性进行了研究,分别得到了两种膜的最佳沉积条件。然后使用PECVD在P型多晶硅片发射极上沉积了SiO_2-SiN_X叠层钝化膜,并与SiN_X单层钝化膜进行比较。通过测试硅...
首先使用正交设计法对SiN_X和SiO_2膜的PECVD(等离子体增强化学气相沉积)特性进行了研究,分别得到了两种膜的最佳沉积条件。然后使用PECVD在P型多晶硅片发射极上沉积了SiO_2-SiN_X叠层钝化膜,并与SiN_X单层钝化膜进行比较。通过测试硅片在退火前后少子寿命的变化,考察了两种钝化膜对太阳电池发射极的钝化效果,结果表明SiO_2-SiN_X叠层膜具有更好的钝化效果。利用反射率测试仪测试了两种膜的反射率,其反射率曲线基本相同。最后,测量了采用该叠层膜制作的太阳电池的量子效率和电性能,其短路电流和开路电压均比采用SiN_X单层膜的电池要好,转换效率提高了0.25%。
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关键词
多晶硅
太阳电池
PECVD
氮化硅
二氧化硅
减反射
钝化
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职称材料
PECVD制备SiO_x-SiN_x薄膜的研究
被引量:
3
2
作者
韩培育
季静佳
+3 位作者
朱凡
王振交
钱洪强
李果华
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期680-683,709,共5页
首先使用工业型Direct-PECVD设备,采用SiH4和N2O制备了SiOx薄膜。针对Si太阳电池的应用,比较了SiOx薄膜在不同射频功率、气压、气体流量比和温度下的沉积特性,得出了最佳的沉积条件,这些沉积特性包括沉积速率、折射率和腐蚀速率。在该...
首先使用工业型Direct-PECVD设备,采用SiH4和N2O制备了SiOx薄膜。针对Si太阳电池的应用,比较了SiOx薄膜在不同射频功率、气压、气体流量比和温度下的沉积特性,得出了最佳的沉积条件,这些沉积特性包括沉积速率、折射率和腐蚀速率。在该条件下沉积的SiOx膜均匀性良好、结构致密、沉积速率稳定,其性能满足了现阶段Si太阳电池对减反钝化层的光学和电学性能方面的要求。然后制备了SiOx-SiNx叠层减反钝化膜,并比较了SiO2与SiNx单层膜的减反和钝化效果,结果显示SiOx-SiNx叠层膜在不增加反射率的同时显著提高了Si片的钝化效果。
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关键词
晶体硅太阳电池
氧化硅
减反
钝化
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职称材料
快速制备单晶Si片绒面的研究
被引量:
9
3
作者
吴文娟
张松
+4 位作者
韩培育
覃榆森
季静佳
顾晓峰
李果华
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期352-358,共7页
太阳电池单晶Si片表面制绒已是一项成熟的工艺,但普遍制绒时间较长。为提高制绒效率,本课题研究了较短时间内NaOH/异丙醇(IPA)体系制绒时的温度、时间、溶液组分对绒面的影响,以及制绒前去损伤的优劣。最终实现了,在含2.5%NaOH(质量百分...
太阳电池单晶Si片表面制绒已是一项成熟的工艺,但普遍制绒时间较长。为提高制绒效率,本课题研究了较短时间内NaOH/异丙醇(IPA)体系制绒时的温度、时间、溶液组分对绒面的影响,以及制绒前去损伤的优劣。最终实现了,在含2.5%NaOH(质量百分比,下同)和10%IPA的溶液中,80℃恒温处理15 min即可制备出比较均匀的绒面。溶液中加入3%Na2SiO3,效果更佳,反射率最低可达9.5%。并发现去损伤后制绒效果并不理想,同时还研究了表面活性剂1,4-环己二醇(CHX)和十二烷基苯磺酸钠(SDBS)代替异丙醇制绒。研究发现,异丙醇仍然是性价比较好的添加剂。
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关键词
各向异性腐蚀
太阳电池
制绒
单晶Si
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职称材料
激光掺杂形成硼背场PERL硅太阳电池的研究
被引量:
4
4
作者
李文佳
王振交
+3 位作者
韩培育
储银枝
施正荣
李果华
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期344-349,共6页
研究两种激光器(绿光纳秒调Q激光器和准连续紫外高频锁模激光器)对PERL太阳电池的背面掺硼的效果。通过分析扫描电子显微镜(SEM)、电化学ECV曲线和少子寿命的数据,确定合适的激光器及激光参数。继而研究烧结温度对太阳电池性能的影响。...
研究两种激光器(绿光纳秒调Q激光器和准连续紫外高频锁模激光器)对PERL太阳电池的背面掺硼的效果。通过分析扫描电子显微镜(SEM)、电化学ECV曲线和少子寿命的数据,确定合适的激光器及激光参数。继而研究烧结温度对太阳电池性能的影响。综合分析电池的反射率、内量子效率、电性能参数及烧结后铝硅接触的SEM剖面图,得到最优烧结温度。研究发现用准连续紫外高频锁模激光器(7 W,250 mm/s)进行激光掺硼、以630℃烧结,所得电池效率最高可达19.90%。
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关键词
太阳电池
PERL
激光掺硼
低温烧结
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职称材料
发挥供销合作社优势 服务新农村建设——扬州市江都区社推进为农服务体系建设的调查与思考
5
作者
韩培育
《中国合作经济》
2013年第12期53-54,共2页
建设农村现代流通服务体系,既是发展现代农业、推进社会主义新农村建设的重要内容,也是供销社服务“三农”,实现助农增收,立足农村发展的重要举措。近期,江苏省扬州市江都区供销合作社系统围绕助农增收和新农村建设,开拓农村市场...
建设农村现代流通服务体系,既是发展现代农业、推进社会主义新农村建设的重要内容,也是供销社服务“三农”,实现助农增收,立足农村发展的重要举措。近期,江苏省扬州市江都区供销合作社系统围绕助农增收和新农村建设,开拓农村市场、搞活农村流通、发展农村合作经济等情况进行了专题调研。‘
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关键词
社会主义新农村建设
供销合作社系统
为农服务体系
扬州市
优势服务
流通服务体系
农村合作经济
现代农业
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职称材料
江都市政协建言加快发展现代物流业
6
作者
韩培育
孙立定
《江苏政协》
2011年第4期35-36,共2页
近期江都市政协对物流业发展情况进行了调研。近年来,江都市物流业快速发展,规模不断扩大。"十一五"期间,社会物流总额年均增长22%。2010年。
关键词
江都
社会物流总额
公共信息平台
现代物流体系
公司化经营
传统运输
综合物流服务
企业规范
大型车辆
现代物流企业
原文传递
题名
PECVD SiO_2-SiN_X叠层钝化膜的研究
被引量:
4
1
作者
韩培育
季静佳
王振交
李果华
机构
江南大学理学院
无锡尚德太阳能电力有限公司
江苏省(尚德)光伏技术研究院
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期1549-1552,共4页
文摘
首先使用正交设计法对SiN_X和SiO_2膜的PECVD(等离子体增强化学气相沉积)特性进行了研究,分别得到了两种膜的最佳沉积条件。然后使用PECVD在P型多晶硅片发射极上沉积了SiO_2-SiN_X叠层钝化膜,并与SiN_X单层钝化膜进行比较。通过测试硅片在退火前后少子寿命的变化,考察了两种钝化膜对太阳电池发射极的钝化效果,结果表明SiO_2-SiN_X叠层膜具有更好的钝化效果。利用反射率测试仪测试了两种膜的反射率,其反射率曲线基本相同。最后,测量了采用该叠层膜制作的太阳电池的量子效率和电性能,其短路电流和开路电压均比采用SiN_X单层膜的电池要好,转换效率提高了0.25%。
关键词
多晶硅
太阳电池
PECVD
氮化硅
二氧化硅
减反射
钝化
Keywords
multi-crystalline silicon
solar cell
PECVD
SiNx
SiO2
antireflection
passivation
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
PECVD制备SiO_x-SiN_x薄膜的研究
被引量:
3
2
作者
韩培育
季静佳
朱凡
王振交
钱洪强
李果华
机构
江南大学理学院
尚德电力控股有限公司
江苏省(尚德)光伏技术研究院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期680-683,709,共5页
文摘
首先使用工业型Direct-PECVD设备,采用SiH4和N2O制备了SiOx薄膜。针对Si太阳电池的应用,比较了SiOx薄膜在不同射频功率、气压、气体流量比和温度下的沉积特性,得出了最佳的沉积条件,这些沉积特性包括沉积速率、折射率和腐蚀速率。在该条件下沉积的SiOx膜均匀性良好、结构致密、沉积速率稳定,其性能满足了现阶段Si太阳电池对减反钝化层的光学和电学性能方面的要求。然后制备了SiOx-SiNx叠层减反钝化膜,并比较了SiO2与SiNx单层膜的减反和钝化效果,结果显示SiOx-SiNx叠层膜在不增加反射率的同时显著提高了Si片的钝化效果。
关键词
晶体硅太阳电池
氧化硅
减反
钝化
Keywords
crystalline silicon solar cells
SiOx
anti-reflective
passivation
分类号
TN914.4 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
快速制备单晶Si片绒面的研究
被引量:
9
3
作者
吴文娟
张松
韩培育
覃榆森
季静佳
顾晓峰
李果华
机构
江南大学理学院
尚德电力控股有限公司太阳电池研发部
江苏省(尚德)光伏技术研究院
江南大学物联网工程学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期352-358,共7页
基金
教育部留学回国人员科研启动基金教外司留([2008]890)
文摘
太阳电池单晶Si片表面制绒已是一项成熟的工艺,但普遍制绒时间较长。为提高制绒效率,本课题研究了较短时间内NaOH/异丙醇(IPA)体系制绒时的温度、时间、溶液组分对绒面的影响,以及制绒前去损伤的优劣。最终实现了,在含2.5%NaOH(质量百分比,下同)和10%IPA的溶液中,80℃恒温处理15 min即可制备出比较均匀的绒面。溶液中加入3%Na2SiO3,效果更佳,反射率最低可达9.5%。并发现去损伤后制绒效果并不理想,同时还研究了表面活性剂1,4-环己二醇(CHX)和十二烷基苯磺酸钠(SDBS)代替异丙醇制绒。研究发现,异丙醇仍然是性价比较好的添加剂。
关键词
各向异性腐蚀
太阳电池
制绒
单晶Si
Keywords
anisotropic etching
solar cells
texturing
monocrystalline silicon
分类号
TK514 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
激光掺杂形成硼背场PERL硅太阳电池的研究
被引量:
4
4
作者
李文佳
王振交
韩培育
储银枝
施正荣
李果华
机构
江南大学物联网学院
凯世通半导体有限公司
苏州中世太新能源科技有限公司
国家电投西安太阳能电力有限公司
无锡尚德太阳能电力有限公司
江苏省(尚德)光伏技术研究院
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期344-349,共6页
基金
教育部
国家外国专家局"111"工程(高等学校学科创新引智计划)(B13025)
文摘
研究两种激光器(绿光纳秒调Q激光器和准连续紫外高频锁模激光器)对PERL太阳电池的背面掺硼的效果。通过分析扫描电子显微镜(SEM)、电化学ECV曲线和少子寿命的数据,确定合适的激光器及激光参数。继而研究烧结温度对太阳电池性能的影响。综合分析电池的反射率、内量子效率、电性能参数及烧结后铝硅接触的SEM剖面图,得到最优烧结温度。研究发现用准连续紫外高频锁模激光器(7 W,250 mm/s)进行激光掺硼、以630℃烧结,所得电池效率最高可达19.90%。
关键词
太阳电池
PERL
激光掺硼
低温烧结
Keywords
Li Wenija, Wang Zhenjiao, Han Peiyu, Chu Yinzhi, Shi Zhengrong, Li Guohua(1. School of Things of lnternet, Jiangnan University, Wuxi 214122, China
2. Kingstone Semiconductor Co., Ltd, Shanghai 201203, China
3. Jone Solar Co., Ltd, Suzhou 215100, China
4. CPI Solar Power Xi' an Co., Ltd, Xi' an 710061, China
5. Suntech Power Co., Ltd, Wuxi 214028, China
6. Jiangsu ( Suntech ) Institute for Photovoltaic Technology, Wuxi 214028, China)solar cell
PERL
laser doping boron
low temperature firing
分类号
TM914.41 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
发挥供销合作社优势 服务新农村建设——扬州市江都区社推进为农服务体系建设的调查与思考
5
作者
韩培育
机构
江苏省扬州市江都区供销合作社
出处
《中国合作经济》
2013年第12期53-54,共2页
文摘
建设农村现代流通服务体系,既是发展现代农业、推进社会主义新农村建设的重要内容,也是供销社服务“三农”,实现助农增收,立足农村发展的重要举措。近期,江苏省扬州市江都区供销合作社系统围绕助农增收和新农村建设,开拓农村市场、搞活农村流通、发展农村合作经济等情况进行了专题调研。‘
关键词
社会主义新农村建设
供销合作社系统
为农服务体系
扬州市
优势服务
流通服务体系
农村合作经济
现代农业
分类号
F721.2 [经济管理—产业经济]
F327 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
江都市政协建言加快发展现代物流业
6
作者
韩培育
孙立定
出处
《江苏政协》
2011年第4期35-36,共2页
文摘
近期江都市政协对物流业发展情况进行了调研。近年来,江都市物流业快速发展,规模不断扩大。"十一五"期间,社会物流总额年均增长22%。2010年。
关键词
江都
社会物流总额
公共信息平台
现代物流体系
公司化经营
传统运输
综合物流服务
企业规范
大型车辆
现代物流企业
分类号
D628 [政治法律—中外政治制度]
F259.27 [经济管理—国民经济]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PECVD SiO_2-SiN_X叠层钝化膜的研究
韩培育
季静佳
王振交
李果华
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
4
下载PDF
职称材料
2
PECVD制备SiO_x-SiN_x薄膜的研究
韩培育
季静佳
朱凡
王振交
钱洪强
李果华
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
3
下载PDF
职称材料
3
快速制备单晶Si片绒面的研究
吴文娟
张松
韩培育
覃榆森
季静佳
顾晓峰
李果华
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
9
下载PDF
职称材料
4
激光掺杂形成硼背场PERL硅太阳电池的研究
李文佳
王振交
韩培育
储银枝
施正荣
李果华
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
4
下载PDF
职称材料
5
发挥供销合作社优势 服务新农村建设——扬州市江都区社推进为农服务体系建设的调查与思考
韩培育
《中国合作经济》
2013
0
下载PDF
职称材料
6
江都市政协建言加快发展现代物流业
韩培育
孙立定
《江苏政协》
2011
0
原文传递
已选择
0
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