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PECVD SiO_2-SiN_X叠层钝化膜的研究 被引量:4
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作者 韩培育 季静佳 +1 位作者 王振交 李果华 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1549-1552,共4页
首先使用正交设计法对SiN_X和SiO_2膜的PECVD(等离子体增强化学气相沉积)特性进行了研究,分别得到了两种膜的最佳沉积条件。然后使用PECVD在P型多晶硅片发射极上沉积了SiO_2-SiN_X叠层钝化膜,并与SiN_X单层钝化膜进行比较。通过测试硅... 首先使用正交设计法对SiN_X和SiO_2膜的PECVD(等离子体增强化学气相沉积)特性进行了研究,分别得到了两种膜的最佳沉积条件。然后使用PECVD在P型多晶硅片发射极上沉积了SiO_2-SiN_X叠层钝化膜,并与SiN_X单层钝化膜进行比较。通过测试硅片在退火前后少子寿命的变化,考察了两种钝化膜对太阳电池发射极的钝化效果,结果表明SiO_2-SiN_X叠层膜具有更好的钝化效果。利用反射率测试仪测试了两种膜的反射率,其反射率曲线基本相同。最后,测量了采用该叠层膜制作的太阳电池的量子效率和电性能,其短路电流和开路电压均比采用SiN_X单层膜的电池要好,转换效率提高了0.25%。 展开更多
关键词 多晶硅 太阳电池 PECVD 氮化硅 二氧化硅 减反射 钝化
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PECVD制备SiO_x-SiN_x薄膜的研究 被引量:3
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作者 韩培育 季静佳 +3 位作者 朱凡 王振交 钱洪强 李果华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第7期680-683,709,共5页
首先使用工业型Direct-PECVD设备,采用SiH4和N2O制备了SiOx薄膜。针对Si太阳电池的应用,比较了SiOx薄膜在不同射频功率、气压、气体流量比和温度下的沉积特性,得出了最佳的沉积条件,这些沉积特性包括沉积速率、折射率和腐蚀速率。在该... 首先使用工业型Direct-PECVD设备,采用SiH4和N2O制备了SiOx薄膜。针对Si太阳电池的应用,比较了SiOx薄膜在不同射频功率、气压、气体流量比和温度下的沉积特性,得出了最佳的沉积条件,这些沉积特性包括沉积速率、折射率和腐蚀速率。在该条件下沉积的SiOx膜均匀性良好、结构致密、沉积速率稳定,其性能满足了现阶段Si太阳电池对减反钝化层的光学和电学性能方面的要求。然后制备了SiOx-SiNx叠层减反钝化膜,并比较了SiO2与SiNx单层膜的减反和钝化效果,结果显示SiOx-SiNx叠层膜在不增加反射率的同时显著提高了Si片的钝化效果。 展开更多
关键词 晶体硅太阳电池 氧化硅 减反 钝化
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快速制备单晶Si片绒面的研究 被引量:9
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作者 吴文娟 张松 +4 位作者 韩培育 覃榆森 季静佳 顾晓峰 李果华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期352-358,共7页
太阳电池单晶Si片表面制绒已是一项成熟的工艺,但普遍制绒时间较长。为提高制绒效率,本课题研究了较短时间内NaOH/异丙醇(IPA)体系制绒时的温度、时间、溶液组分对绒面的影响,以及制绒前去损伤的优劣。最终实现了,在含2.5%NaOH(质量百分... 太阳电池单晶Si片表面制绒已是一项成熟的工艺,但普遍制绒时间较长。为提高制绒效率,本课题研究了较短时间内NaOH/异丙醇(IPA)体系制绒时的温度、时间、溶液组分对绒面的影响,以及制绒前去损伤的优劣。最终实现了,在含2.5%NaOH(质量百分比,下同)和10%IPA的溶液中,80℃恒温处理15 min即可制备出比较均匀的绒面。溶液中加入3%Na2SiO3,效果更佳,反射率最低可达9.5%。并发现去损伤后制绒效果并不理想,同时还研究了表面活性剂1,4-环己二醇(CHX)和十二烷基苯磺酸钠(SDBS)代替异丙醇制绒。研究发现,异丙醇仍然是性价比较好的添加剂。 展开更多
关键词 各向异性腐蚀 太阳电池 制绒 单晶Si
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激光掺杂形成硼背场PERL硅太阳电池的研究 被引量:4
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作者 李文佳 王振交 +3 位作者 韩培育 储银枝 施正荣 李果华 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期344-349,共6页
研究两种激光器(绿光纳秒调Q激光器和准连续紫外高频锁模激光器)对PERL太阳电池的背面掺硼的效果。通过分析扫描电子显微镜(SEM)、电化学ECV曲线和少子寿命的数据,确定合适的激光器及激光参数。继而研究烧结温度对太阳电池性能的影响。... 研究两种激光器(绿光纳秒调Q激光器和准连续紫外高频锁模激光器)对PERL太阳电池的背面掺硼的效果。通过分析扫描电子显微镜(SEM)、电化学ECV曲线和少子寿命的数据,确定合适的激光器及激光参数。继而研究烧结温度对太阳电池性能的影响。综合分析电池的反射率、内量子效率、电性能参数及烧结后铝硅接触的SEM剖面图,得到最优烧结温度。研究发现用准连续紫外高频锁模激光器(7 W,250 mm/s)进行激光掺硼、以630℃烧结,所得电池效率最高可达19.90%。 展开更多
关键词 太阳电池 PERL 激光掺硼 低温烧结
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发挥供销合作社优势 服务新农村建设——扬州市江都区社推进为农服务体系建设的调查与思考
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作者 韩培育 《中国合作经济》 2013年第12期53-54,共2页
建设农村现代流通服务体系,既是发展现代农业、推进社会主义新农村建设的重要内容,也是供销社服务“三农”,实现助农增收,立足农村发展的重要举措。近期,江苏省扬州市江都区供销合作社系统围绕助农增收和新农村建设,开拓农村市场... 建设农村现代流通服务体系,既是发展现代农业、推进社会主义新农村建设的重要内容,也是供销社服务“三农”,实现助农增收,立足农村发展的重要举措。近期,江苏省扬州市江都区供销合作社系统围绕助农增收和新农村建设,开拓农村市场、搞活农村流通、发展农村合作经济等情况进行了专题调研。‘ 展开更多
关键词 社会主义新农村建设 供销合作社系统 为农服务体系 扬州市 优势服务 流通服务体系 农村合作经济 现代农业
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江都市政协建言加快发展现代物流业
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作者 韩培育 孙立定 《江苏政协》 2011年第4期35-36,共2页
近期江都市政协对物流业发展情况进行了调研。近年来,江都市物流业快速发展,规模不断扩大。"十一五"期间,社会物流总额年均增长22%。2010年。
关键词 江都 社会物流总额 公共信息平台 现代物流体系 公司化经营 传统运输 综合物流服务 企业规范 大型车辆 现代物流企业
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