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Pt层对Ni/Si(100)固相反应NiSi薄膜高温稳定性的增强效应 被引量:2
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作者 韩永召 李炳宗 +1 位作者 屈新萍 茹国平 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期451-455,共5页
研究了顺次淀积在 Si (10 0 )衬底上的 Ni/ Pt和 Pt/ Ni的固相硅化反应 .研究发现 ,当 1nm Pt作为中间层或覆盖层加入 Ni/ Si体系中时 ,延缓了 Ni Si向 Ni Si2 的转变 ,相变温度提高 .对于这种双层薄膜体系 ,80 0℃退火后 ,XRD测试未检... 研究了顺次淀积在 Si (10 0 )衬底上的 Ni/ Pt和 Pt/ Ni的固相硅化反应 .研究发现 ,当 1nm Pt作为中间层或覆盖层加入 Ni/ Si体系中时 ,延缓了 Ni Si向 Ni Si2 的转变 ,相变温度提高 .对于这种双层薄膜体系 ,80 0℃退火后 ,XRD测试未检测到 Ni Si2 相存在 ;85 0℃退火后的薄膜仍有一些 Ni Si衍射峰存在 . 80 0℃退火后的薄膜呈现较低的电阻率 ,在 2 3— 2 5 μΩ· cm范围 .上述薄膜较 Ni/ Si直接反应生成膜的热稳定性提高了 10 0℃以上 .这有利于Ni Si薄膜材料在 Si基器件制造中的应用 . 展开更多
关键词 热稳定性 金属硅化物 固相反应 Pt层 增强效应 NiSi薄膜
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SiO_x调制的三元硅化物(Co_(1-x)Ni_x)Si_2外延
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作者 韩永召 李炳宗 +7 位作者 茹国平 屈新萍 曹永峰 徐蓓蕾 蒋玉龙 王连卫 张荣耀 朱剑豪 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期1269-1273,共5页
报道了通过 Co/ Ni/ Si Ox/ Si(10 0 )体系固相反应 ,实现三元硅化物 (Co1 - x Nix) Si2 薄膜外延生长及薄膜特性的表征 .测试结果表明 ,中间氧化硅层对原子扩散起到阻挡作用 .XRD和 RBS图谱显示 ,有中间层的样品所形成的硅化物膜和硅... 报道了通过 Co/ Ni/ Si Ox/ Si(10 0 )体系固相反应 ,实现三元硅化物 (Co1 - x Nix) Si2 薄膜外延生长及薄膜特性的表征 .测试结果表明 ,中间氧化硅层对原子扩散起到阻挡作用 .XRD和 RBS图谱显示 ,有中间层的样品所形成的硅化物膜和硅衬底有良好的外延关系 .而 Co/ Ni/ Si(10 0 )体系 ,则形成多晶硅化物膜 ,和硅衬底没有外延关系 .外延三元硅化物 (Co1 - x Nix) Si2 膜的晶格常数介于 Co Si2 和 Ni Si2 之间 ,从而可以降低生成膜的应力 .薄膜的厚度约为110 nm;最小沟道产额 (χmin)为 2 2 % .外延三元硅化物膜的电阻率约为 17μΩ· cm ;高温稳定性达 10 0 0℃ ,与 Co 展开更多
关键词 三元硅化物 固相反应 外延
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Co/a-GeSi/Ti/Si多层薄膜固相反应外延生长CoSi_2薄膜
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作者 徐蓓蕾 屈新萍 +5 位作者 韩永召 茹国平 李炳宗 W.Y.Cheung S.P.Wong Paul K.Chu 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期149-154,共6页
研究了在 Co/Ti/Si结构中加入非晶 Ge Si层对 Co Si2 /Si异质固相外延的影响 ,用离子束溅射方法在Si衬底上制备 Co/Ge Si/Ti/Si结构多层薄膜 ,通过快速热退火使多层薄膜发生固相反应。采用四探针电阻仪、AES、XRD、RBS等方法进行测试。... 研究了在 Co/Ti/Si结构中加入非晶 Ge Si层对 Co Si2 /Si异质固相外延的影响 ,用离子束溅射方法在Si衬底上制备 Co/Ge Si/Ti/Si结构多层薄膜 ,通过快速热退火使多层薄膜发生固相反应。采用四探针电阻仪、AES、XRD、RBS等方法进行测试。实验表明 ,利用 Co/Ge Si/Ti/Si固相反应形成的 Co Si2 薄膜具有良好的外延特性和电学特性 ,Ti中间层和非晶 Ge Si中间层具有促进和改善 Co Si2 外延质量 ,减少衬底耗硅量的作用。Ge原子的存在能够改善外延 Co Si2 展开更多
关键词 金属硅化物 固相外延 扩散阻挡层 晶格失配 Co/Ti/Si结构 钴钛硅化合物
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BSIT开态的数值分析 被引量:1
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作者 李思渊 刘瑞喜 +2 位作者 李成 韩永召 刘肃 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第1期33-39,共7页
对双极模式静电感应晶体管(BSIT)开通过程的理论分析和二维数值模拟清楚地表明,BSIT的完全开通须经过不同作用机制的两个阶段的转变,即正向小栅压(VG<0.5V)下的势垒控制机制转变为大栅压下(VG>0.5V)的少... 对双极模式静电感应晶体管(BSIT)开通过程的理论分析和二维数值模拟清楚地表明,BSIT的完全开通须经过不同作用机制的两个阶段的转变,即正向小栅压(VG<0.5V)下的势垒控制机制转变为大栅压下(VG>0.5V)的少子注入电流控制机制。数值计算给出的结果有:小栅压下沿沟道中心线的电势分布;沿沟道的少子和电场分布;开态的I-V特性;通态压降和饱和电流随正栅压的变化;通态电阻随栅压和材料参数的变化;特别是电流增益随栅压、漏电流以及材料参数的变化。上述结果加深了我们对BSIT通导过程和通态特性的物理本质的认识。 展开更多
关键词 双极模式 静电感应 晶体管 BSIT 数值模拟
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BSIT开启特性的研究 被引量:1
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作者 李思渊 刘瑞喜 +3 位作者 李成 刘肃 杨建红 韩永召 《兰州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1996年第2期37-45,共9页
双极型静电感应晶体管(BSIT)以其高电流增益,低饱和压降以及高的开关速度等优异性能受到人们的广泛关注.但对其作用机制,特别是正栅压下的开启特性还需进一步深入研究.在实验观测的基础上,对BSIT开通过程进行了理论分析... 双极型静电感应晶体管(BSIT)以其高电流增益,低饱和压降以及高的开关速度等优异性能受到人们的广泛关注.但对其作用机制,特别是正栅压下的开启特性还需进一步深入研究.在实验观测的基础上,对BSIT开通过程进行了理论分析和二维数值模拟.结果表明,BSIT的完全开通须经过不同作用机制的两个阶段的转变,即由正向小栅压(VG≤0.5V)下的势垒控制机制转变为大栅压(VG≥0.5V)下的少子注入电流控制机制.数值计算给出的结果有:小栅压下沿沟道中心线的电势分布;沿沟道的少子和电场分布;开态的I-V特性;通态压降与饱和电流随正栅压的变化;通态电阻随栅压和材料参数的变化;特别是电流增益随栅压。 展开更多
关键词 模拟 双极型 静电感应晶体管 开启特性
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土木工程建筑施工技术的创新 被引量:19
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作者 韩永召 《智能城市》 2016年第5期199-,201,共2页
近年来,我国建筑业得到更好的发展,土木工程建设也取得了喜人的成就,土木工程施工技术是工程建设的关键技术之一,虽然取得了很大的提高,但是与国际先进建设水平的距离还是很大,而且由于影响施工的环境因素在不断的变化,像我国新疆等地... 近年来,我国建筑业得到更好的发展,土木工程建设也取得了喜人的成就,土木工程施工技术是工程建设的关键技术之一,虽然取得了很大的提高,但是与国际先进建设水平的距离还是很大,而且由于影响施工的环境因素在不断的变化,像我国新疆等地区的昼夜温差大,寒冷等气候环境特点也会给土木工程建筑的施工带来不利影响,因此,如何加强土木工程建筑施工技术的创新成为重要课题,本篇文章首先对我国当前的土木工程施工技术特点和现状进行阐述,然后分析土木工程建筑施工技术创新的必要性,结合结合新疆地区环境特点,对土木工程建筑施工技术创新策略进行探讨。 展开更多
关键词 土木工程 建筑施工 创新技术
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建筑工程项目管理中的施工管理与优化策略研究
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作者 韩永召 《数字化用户》 2020年第18期133-135,共3页
建筑工程作为一项规模大、综合性强,且牵涉很多学科的项目,其施工需要很多技术支持,同时需要很多部门和所有人员主动积极配合,每个阶段都要将技术管控工作做好。管理人员要对影响工程项目施工质量的各项因素进行深入探究,根据企业实际... 建筑工程作为一项规模大、综合性强,且牵涉很多学科的项目,其施工需要很多技术支持,同时需要很多部门和所有人员主动积极配合,每个阶段都要将技术管控工作做好。管理人员要对影响工程项目施工质量的各项因素进行深入探究,根据企业实际经营和管理情况,制定更健全的管控制度,对其进行有效预防和弥补,这样才能建设出高质量的现代化建筑工程,进一步推动建筑行业的可持续发展。 展开更多
关键词 建筑工程 质量 管控
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建筑工程总承包项目管理中存在的问题及对策
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作者 韩永召 《数字化用户》 2020年第6期121-123,共3页
当今社会经济的快速发展,各个类型工程项目数量也越来越多,为了更好将项目质量提高,就要加强其管理力度。运用传统工程管理模式会出现各类问题,造成项目管理工作水平无法得到提高,没有办法满足项目需求。因此,科学合理地运用EPC工程总... 当今社会经济的快速发展,各个类型工程项目数量也越来越多,为了更好将项目质量提高,就要加强其管理力度。运用传统工程管理模式会出现各类问题,造成项目管理工作水平无法得到提高,没有办法满足项目需求。因此,科学合理地运用EPC工程总承包项目管理能够更好使项目管理工作越来越完善,同时还能确保项目施工质量以及提高施工进度,更有利于创造更高经济效益。由此本文专门针对EPC工程总承包项目管理进行探究。 展开更多
关键词 工程总承包 EPC模式 项目管理
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