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题名浅析半导体洁净室的洁净度维护
被引量:3
- 1
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作者
韩科勇
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机构
中国电子科技集团南京
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出处
《洁净与空调技术》
2013年第4期84-87,共4页
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文摘
半导体洁净室的洁净度维护是一项非常专业的、庞大的工程,分析洁净室洁净度维护系统中,日常管理容易出现纰漏的情况,找到预防这些纰漏的原因,并在实际管理过程中去避免这些纰漏。
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关键词
洁净室
洁净度的维护
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Keywords
Clean room
Cleanliness maintenance
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名浅析不同结构的FFU安装
被引量:1
- 2
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作者
韩科勇
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机构
中国电子科技集团南京
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出处
《洁净与空调技术》
2013年第1期70-72,共3页
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文摘
分析国内FFU的结构形式,讨论不同形式FFU的安装。
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关键词
不同结构FFU
安装
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Keywords
Different types FFU
Installation
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分类号
TU834.8
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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题名浅析FFU参数选择和实际应用
被引量:2
- 3
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作者
韩科勇
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机构
中国电子科技集团南京
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出处
《洁净与空调技术》
2013年第4期103-106,109,共5页
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文摘
FFU的核心参数在实际中的选择和应用。
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关键词
FFU参数
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Keywords
FFU parameters
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分类号
TU834
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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题名制药洁净厂房的净化空调设计
被引量:1
- 4
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作者
肖红梅
韩科勇
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机构
中国电子工程设计院
华越微电子有限公司
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出处
《洁净与空调技术》
2003年第1期52-55,共4页
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文摘
结合工程实例和工艺要求重点介绍制药洁净厂房的空调系统的设计、设备选型、 运行控制要求及真空清扫系统等。
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关键词
制药
洁净厂房
净化空调
设计
气流组织
压差控制
变风量调节
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Keywords
Air distribution Differential pressure control Clean air - conditioning Variable air volume(VAV)
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分类号
TU831
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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题名集成电路工厂的噪声及控制
被引量:1
- 5
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作者
周向荣
韩科勇
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机构
中国电子工程设计院
华越微电子有限公司
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出处
《洁净与空调技术》
2003年第4期53-54,58,共3页
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文摘
本文分析了集成电路制厂的噪声来源,阐述了噪声控制的重要性及主要噪声的控制措施。
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关键词
集成电路工厂
噪声控制
噪声源
减噪设施
噪声污染
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Keywords
IC workks Noise soures Noise control.
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分类号
TB535
[理学—声学]
TN4
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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