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浅析半导体洁净室的洁净度维护 被引量:3
1
作者 韩科勇 《洁净与空调技术》 2013年第4期84-87,共4页
半导体洁净室的洁净度维护是一项非常专业的、庞大的工程,分析洁净室洁净度维护系统中,日常管理容易出现纰漏的情况,找到预防这些纰漏的原因,并在实际管理过程中去避免这些纰漏。
关键词 洁净室 洁净度的维护
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浅析不同结构的FFU安装 被引量:1
2
作者 韩科勇 《洁净与空调技术》 2013年第1期70-72,共3页
分析国内FFU的结构形式,讨论不同形式FFU的安装。
关键词 不同结构FFU 安装
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浅析FFU参数选择和实际应用 被引量:2
3
作者 韩科勇 《洁净与空调技术》 2013年第4期103-106,109,共5页
FFU的核心参数在实际中的选择和应用。
关键词 FFU参数
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制药洁净厂房的净化空调设计 被引量:1
4
作者 肖红梅 韩科勇 《洁净与空调技术》 2003年第1期52-55,共4页
结合工程实例和工艺要求重点介绍制药洁净厂房的空调系统的设计、设备选型、 运行控制要求及真空清扫系统等。
关键词 制药 洁净厂房 净化空调 设计 气流组织 压差控制 变风量调节
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集成电路工厂的噪声及控制 被引量:1
5
作者 周向荣 韩科勇 《洁净与空调技术》 2003年第4期53-54,58,共3页
本文分析了集成电路制厂的噪声来源,阐述了噪声控制的重要性及主要噪声的控制措施。
关键词 集成电路工厂 噪声控制 噪声源 减噪设施 噪声污染
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