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一种新型偏振-微光EMCCD传感器研制
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作者 顾子悦 那启跃 +2 位作者 徐建东 沈吉 常维静 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第10期1138-1144,共7页
随着图像传感器的发展,图像传感器需要探测更多维度的图像信息。为了解决偏振单元无法在低照度条件下成像的问题,设计了一种新型偏振-微光结构,新型结构单元的引入可以大幅度提高器件在低照度微光条件下的成像质量。完成了偏振-微光结... 随着图像传感器的发展,图像传感器需要探测更多维度的图像信息。为了解决偏振单元无法在低照度条件下成像的问题,设计了一种新型偏振-微光结构,新型结构单元的引入可以大幅度提高器件在低照度微光条件下的成像质量。完成了偏振-微光结构的工艺制作,同时利用多次高能离子注入及高温退火形成鞍形p型纵向抗晕结构,实现了EMCCD器件的光晕抑制。最后对器件成像性能进行了分析,器件在10-2 lx量级环境照度下成像质量几乎不下降,同时也能够获得足够的偏振信息,实现对目标的偏振探测。此新型偏振-微光结构能使图像传感器在低照度微光条件下完成对目标的多维度信息探测。 展开更多
关键词 EMCCD 偏振 微光 抗光晕
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高阻硅基GaN晶片上MIS栅结构GaN HEMT射频器件研制 被引量:1
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作者 顾子悦 吴灯鹏 +2 位作者 程新红 刘晓博 俞跃辉 《微波学报》 CSCD 北大核心 2019年第4期16-20,共5页
5G通信中3.4~3.6 GHz是主要使用频段。GaN射频器件由于高频、低功耗、高线性度等优势,满足5G通信应用需求。文中在高阻硅基GaN外延片上研制了AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(High Electron Mobility Transistor, HEMT),并分析了金属-绝缘... 5G通信中3.4~3.6 GHz是主要使用频段。GaN射频器件由于高频、低功耗、高线性度等优势,满足5G通信应用需求。文中在高阻硅基GaN外延片上研制了AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(High Electron Mobility Transistor, HEMT),并分析了金属-绝缘层-半导体(Metal-Insulator-Semiconductor,MIS)栅对器件直流和射频特性的影响。研究发现:相比于肖特基栅结构,MIS栅结构器件栅极泄漏电流减少2~5个数量级,漏极驱动电流能力和跨导提高10%以上;频率为3.5 GHz时,增益从1.5 dB提升到4.0 dB,最大资用增益从5.2 dB提升到11.0 dB,电流增益截止频率为8.3 GHz,最高振荡频率为10.0 GHz。 展开更多
关键词 高阻硅 氮化镓射频 金属-绝缘层-半导体栅结构
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p-GaN在不同掩膜和刻蚀气体中的ICP刻蚀 被引量:1
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作者 钱茹 程新红 +4 位作者 郑理 沈玲燕 张栋梁 顾子悦 俞跃辉 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期449-455,共7页
p-GaN栅沟槽侧壁与AlGaN表面特性直接影响栅注入(GIT)型AlGaN/GaN HEMT器件的输出特性及击穿特性。对比研究了两种刻蚀气体(SF6/BCl3和Cl2/N2/O2)及不同的刻蚀掩膜层(SiO2,Si3N4和光刻胶)对AlGaN上p-GaN的选择性刻蚀结果,利用原... p-GaN栅沟槽侧壁与AlGaN表面特性直接影响栅注入(GIT)型AlGaN/GaN HEMT器件的输出特性及击穿特性。对比研究了两种刻蚀气体(SF6/BCl3和Cl2/N2/O2)及不同的刻蚀掩膜层(SiO2,Si3N4和光刻胶)对AlGaN上p-GaN的选择性刻蚀结果,利用原子力显微镜(AFM)对刻蚀沟槽的表面形貌进行表征,并通过I-V测试其电学性能。结果显示,以Cl2/N2/O2为刻蚀气体,且体积流量为18,10和2 cm^3/min时,p-GaN刻蚀速率稳定且与AlGaN的刻蚀选择比较高(约30),并且可使p-GaN刻蚀自动停止在AlGaN界面处。此外,以Si3N4作为刻蚀掩膜,可以获得表面光滑、无微沟槽且侧壁垂直度较好的沟槽结构。采用上述刻蚀工艺制备的GIT结构器件的漏端关态电流相比肖特基栅降低约2个量级,阈值电压约为0.61 V,峰值跨导为36 m S/mm。 展开更多
关键词 GAN 选择性刻蚀 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀 ALGAN/GAN HEMT 刻蚀形貌
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阿西替尼对人口腔黏膜黑色素瘤裸鼠移植瘤血管生成拟态的作用探讨 被引量:4
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作者 洪多 顾子悦 +1 位作者 李江 张志愿 《中国口腔颌面外科杂志》 CAS 2018年第4期296-301,共6页
目的:探讨阿西替尼用于口腔黏膜黑色素瘤(oral mucosal melanoma,OMM)治疗的可行性。方法:取病理确诊的口腔黏膜黑色素瘤标本,构建病人源性小鼠移植瘤(patient-derived xenografts,PDX)模型。将PDX动物模型随机分为2组,分别给予阿西替... 目的:探讨阿西替尼用于口腔黏膜黑色素瘤(oral mucosal melanoma,OMM)治疗的可行性。方法:取病理确诊的口腔黏膜黑色素瘤标本,构建病人源性小鼠移植瘤(patient-derived xenografts,PDX)模型。将PDX动物模型随机分为2组,分别给予阿西替尼和羧甲基纤维素钠处理,用药周期28 d。应用免疫组织化学染色和过碘酸雪夫反应双染法,检测各组肿瘤的血管拟态(vasculogenic mimicry,VM)、EphA2、MMP-2及HIF-1a等蛋白的表达。采用SPSS 23.0软件包对数据进行统计学分析。结果:与空白对照组相比,阿西替尼显著抑制肿瘤生长,VM数量、CD34^+血管数量、EphA2及MMP-2蛋白表达水平显著降低;HIF-1a表达显著高于对照组。结论:阿西替尼对人口腔黏膜黑色素瘤小鼠具有较好的肿瘤生长抑制作用,主要机制可能为抗血管新生和VM形成。 展开更多
关键词 口腔黏膜黑色素瘤 病人源性小鼠移植瘤模型 血管拟态 阿西替尼
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