单晶炉横向磁场的优化设计与实现

本文利用有限元法对152.4 mm(6 inch)单晶炉355.6 mm(14 inch)坩埚横向磁场的磁场强度、磁场分布和均匀度,以及线圈匝数、铁芯半径、导线截面积、磁极宽度和高度等影响因素进行了模拟分析和优化。在此基础上得到了磁场的优化参数,并对优化设计参数进行了实验验证。结果表明:模拟方法合理,结果正确、符合实际,可运用于实际设计。为磁场设计提供了一种可靠的模拟新方法和经验数据。