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Si(111)衬底上HVPE GaN厚膜生长 被引量:1
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作者 颜怀跃 修向前 +7 位作者 华雪梅 刘战辉 周安 张荣 谢自力 韩平 施毅 郑有炓 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期509-511,515,共4页
在Si(111)衬底上,以MOCVD方法高温外延生长的AlN为缓冲层,使用氢化物气相外延(HVPE)方法外延生长了15μm的c面GaN厚膜。并利用X射线衍射(XRD)、光致发光谱(PL)、拉曼光谱(Raman)等技术研究了GaN厚膜的结构和光学性质。分析结果表明,GaN... 在Si(111)衬底上,以MOCVD方法高温外延生长的AlN为缓冲层,使用氢化物气相外延(HVPE)方法外延生长了15μm的c面GaN厚膜。并利用X射线衍射(XRD)、光致发光谱(PL)、拉曼光谱(Raman)等技术研究了GaN厚膜的结构和光学性质。分析结果表明,GaN厚膜具有六方纤锌矿结构,外延层中存在的张应力较小,为0.17GPa,在363.7nm处具有很强的GaN带边发光峰,没有黄带出现。AlN缓冲层有效地阻止了Si衬底和反应气体发生非生长的附加反应,并减小了GaN厚膜自身残余应力,有利于Si(111)衬底上HVPE GaN厚膜的生长。 展开更多
关键词 氢化物气相外延 HVPE SI GAN
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氢化物气相外延生长的GaN厚膜中位错密度计算 被引量:1
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作者 刘战辉 修向前 +6 位作者 张荣 谢自力 颜怀跃 施毅 顾书林 韩平 郑有炓 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期190-192,201,共4页
采用两种不同的方法分别确定了在c面蓝宝石上用氢化物气相外延(HVPE)法生长的六方相的GaN厚膜中的位错密度。首先,利用选择性化学腐蚀方法研究了GaN膜中的晶体缺陷,研究区分了位错的不同类型,发现在HVPEGaN贯通位错占主导地位。由腐蚀... 采用两种不同的方法分别确定了在c面蓝宝石上用氢化物气相外延(HVPE)法生长的六方相的GaN厚膜中的位错密度。首先,利用选择性化学腐蚀方法研究了GaN膜中的晶体缺陷,研究区分了位错的不同类型,发现在HVPEGaN贯通位错占主导地位。由腐蚀后形成的腐蚀坑数量可以直接来确定膜中的位错密度。此外,研究了用特定的X射线衍射峰半峰宽数据计算得到位错密度的方法。结果表明,HVPE生长的六方相的GaN厚膜中的位错密度为109~1010cm-2,而且两种方法所得到的结果相符合。 展开更多
关键词 位错 氮化镓 氢化物气相外延 X射线衍射
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Optical and Structural Properties of Cr-Doped GaN Grown by HVPE Method
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作者 颜怀跃 修向前 +7 位作者 华雪梅 刘战辉 周安 张荣 谢自力 韩平 施毅 郑有炓 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2010年第12期184-187,共4页
Single crystalline Cr-doped GaN fihns are successfully grown by hydride vapor phase epitaxy. The structure analysis indicates that the film is uniform without detectable Cr precipitates or clusters and the Cr atoms ar... Single crystalline Cr-doped GaN fihns are successfully grown by hydride vapor phase epitaxy. The structure analysis indicates that the film is uniform without detectable Cr precipitates or clusters and the Cr atoms are substituted for Ga sites. The impurity modes in the range 510 530cm^-1 are observed by the Raman spectra. The modes are assigned to the host lattice defects caused by substitutional Cr. The donor-aeceptor emission is found to locate at Ec - 0.20 eV by analyzing the photoluminescence spectrum obtained at different temperatures, and the emission is attributed to the structural defects caused by CrGa-VN complex. The superconductor quantum interference device results show that the Cr-doped GaN film without detectable Cr precipitates or clusters exhibits paramagnetic properties. 展开更多
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Gallium Nitride Nanowires Grown by Hydride Vapor Phase Epitaxy
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作者 刘战辉 修向前 +5 位作者 颜怀跃 张荣 谢自力 韩平 施毅 郑有炓 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2011年第5期260-262,共3页
GaN nanowires are grown by hydride vapor phase epitaxy using nickel as a catalyst.The properties of the obtained GaN nanowires are characterized by scanning and transmission electron microscopy,electron diffraction,ro... GaN nanowires are grown by hydride vapor phase epitaxy using nickel as a catalyst.The properties of the obtained GaN nanowires are characterized by scanning and transmission electron microscopy,electron diffraction,roomtemperature photoluminescence and energy dispersive spectroscopy.The results show that the nanowires are wurtzite single crystals growing along the[0001]direction and a redshift in the photoluminescence is observed due to a superposition of several effects.The Raman spectra are close to those of the bulk GaN and the significantly broadening of those modes indicates the phonon confinement effects associated with the nanoscale dimensions of the system. 展开更多
关键词 EPITAXY DIMENSIONS NANOWIRES
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立式氢化物气相外延反应器生长GaN模拟研究 被引量:3
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作者 赵传阵 修向前 +5 位作者 张荣 谢自力 刘斌 刘占辉 颜怀跃 郑有炓 《中国科学(G辑)》 CSCD 北大核心 2010年第1期82-85,共4页
利用有限元法对立式氢化物气相外延系统工艺参数进行了优化,发现在新设计的立式氢化物气相外延反应器中,存在衬底与气体入口的最佳距离,在最佳距离位置上,沉积的均匀性最好.在设定的条件下模拟的结果表明这个距离为5cm.在此基础上,模拟... 利用有限元法对立式氢化物气相外延系统工艺参数进行了优化,发现在新设计的立式氢化物气相外延反应器中,存在衬底与气体入口的最佳距离,在最佳距离位置上,沉积的均匀性最好.在设定的条件下模拟的结果表明这个距离为5cm.在此基础上,模拟得到了优化的生长参数.模拟的结果还表明重力方向与GaCl气体出口方向的夹角的大小,对GaN沉积的速率和均匀性影响很大.重力方向与GaCl气体出口方向相反时得到的计算结果与两者方向相同时得到的计算结果比较,尽管GaN沉积速率有所下降,但是沉积均匀性却得到了极大的改善.此外还讨论了浮力效应对GaN沉积的影响. 展开更多
关键词 GAN 氢化物气相外延 流体动力学
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Chemical mechanical polishing of freestanding GaN substrates 被引量:2
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作者 颜怀跃 修向前 +6 位作者 刘战辉 张荣 华雪梅 谢自力 韩平 施毅 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期26-29,共4页
Chemical mechanical polishing (CMP) has been used to produce smooth and scratch-free surfaces for GaN. In the aqueous solution of KOH, GaN is subjected to etching. At the same time, all surface irregularities, inclu... Chemical mechanical polishing (CMP) has been used to produce smooth and scratch-free surfaces for GaN. In the aqueous solution of KOH, GaN is subjected to etching. At the same time, all surface irregularities, including etch pyramids, roughness after mechanical polishing and so on will be removed by a polishing pad. The experiments had been performed under the condition of different abrasive particle sizes of the polishing pad. Also the polishing results for different polishing times are analyzed, and chemical mechanical polishing resulted in an average root mean square (RMS) surface roughness of 0.565 nm, as measured by atomic force microscopy. 展开更多
关键词 GAN chemical mechanical polishing epitaxial layers
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