中束流离子注入的束流强度改进研究

由于对离子注入剂量的测量大多为破坏性测量,无法在注入工艺后及时检测注入的准确性,一直是离子注入技术面临的难题。以NISSIN exceed 2000AH中束流离子注入机为平台,着重研究束流强度增强后对晶圆的电学性能带来的影响,及其实际应用。研究通过线下测试片进行实验,验证了束流强度对晶圆实际注入剂量和均匀度的影响。在不改变设定注入剂量的情况下,加大束流强度,亦会使晶圆的实际注入剂量偏多,当束流强度增加100%时,有可能造成实际注入剂量1.5%甚至2%以上的偏差。而当扫描次数小于5次时,注入的均匀度亦会有可能产生偏差。