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纳米MOS器件RTS噪声测量与分析 被引量:5
1
作者 张鹏 庄奕琪 +3 位作者 鲍立 马中发 包军林 李伟华 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1041-1045,共5页
提出了一种基于虚拟仪器的纳米MOS器件随机电报信号噪声测量方法.应用虚拟仪器平台采集随机电报信号噪声的时间序列,采用逐点差分和高斯函数拟合方法,提取了随机电报信号噪声的相对幅度,再通过数字滤波和指数函数拟合方法提取随机电报... 提出了一种基于虚拟仪器的纳米MOS器件随机电报信号噪声测量方法.应用虚拟仪器平台采集随机电报信号噪声的时间序列,采用逐点差分和高斯函数拟合方法,提取了随机电报信号噪声的相对幅度,再通过数字滤波和指数函数拟合方法提取随机电报信号噪声时常数.通过对90 nm MOS器件的测量分析,结果表明该方法不但计算速度远高于传统方法,而且在相同精度要求下,需要的采样点仅为传统方法的1/10.在随机电报信号时常数较小的情况下,测量精度为传统方法的几倍到几十倍. 展开更多
关键词 随机电报信号噪声 噪声测量 虚拟仪器 纳米MOS器件
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1/f噪声之谜 被引量:5
2
作者 庄奕琪 马中发 杜磊 《世界科技研究与发展》 CSCD 1999年第4期69-72,共4页
1/f 噪声是一种普遍存在于物理、生物、社会、医学、天文、地理等系统中的自然现象,人们为寻找它的产生机制孜孜以求近百年。虽然至今尚不能找到形成这种噪声的统一机制。但已发现1/f 噪声具有一种截然不同的两面性:一方面,“... 1/f 噪声是一种普遍存在于物理、生物、社会、医学、天文、地理等系统中的自然现象,人们为寻找它的产生机制孜孜以求近百年。虽然至今尚不能找到形成这种噪声的统一机制。但已发现1/f 噪声具有一种截然不同的两面性:一方面,“过剩”的1/f 噪声与系统的某些不完整性有着密切的关系,因而可以用作检测电子、机械、建筑等系统潜在缺陷;另一方面,“本征”的1/f 噪声又反映了自然界的完美和和谐,将其用于音乐创作、时装设计、园艺造型、医疗保健、公共设施建设等领域。 展开更多
关键词 1/f噪声 缺陷检测 美学 子波 分析方法
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基于低频噪声的薄膜电阻器可靠性表征方法 被引量:2
3
作者 吴勇 马中发 +1 位作者 杜磊 何亮 《电子科技》 2014年第12期100-104,107,共6页
薄膜电阻的低频噪声同器件的损伤程度密切相关。文中采用两级低噪声放大器和高速高精度PCI数据采集卡构建的测试系统测量了一组1.5 kΩ镍铬薄膜电阻老化试验前后的低频噪声,结合显微分析发现电迁移是薄膜电阻可靠性退化的主导机制,电迁... 薄膜电阻的低频噪声同器件的损伤程度密切相关。文中采用两级低噪声放大器和高速高精度PCI数据采集卡构建的测试系统测量了一组1.5 kΩ镍铬薄膜电阻老化试验前后的低频噪声,结合显微分析发现电迁移是薄膜电阻可靠性退化的主导机制,电迁移损伤发生前后低频噪声的幅值、频率指数和转折频率等参量均会发生异常波动。分析表明,低频噪声能更敏感地反映薄膜电阻的损伤程度,可作为此类器件可靠性无损的筛选依据。 展开更多
关键词 镍铬薄膜电阻器 低频噪声 老化试验 电迁移 可靠性
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电子器件噪声高斯性和线性的定量分析方法 被引量:1
4
作者 李伟华 庄奕琪 +2 位作者 杜磊 包军林 马中发 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1059-1062,1091,共5页
基于高阶统计量理论,采用双相干系数平方和对电子器件噪声进行了定量分析.通过分析非线性非高斯信号、线性非高斯信号、非线性高斯信号、线性高斯信号,给出噪声信号的线性与高斯性的定量判定标准.将这种分析方法用于实验测量的电子器件... 基于高阶统计量理论,采用双相干系数平方和对电子器件噪声进行了定量分析.通过分析非线性非高斯信号、线性非高斯信号、非线性高斯信号、线性高斯信号,给出噪声信号的线性与高斯性的定量判定标准.将这种分析方法用于实验测量的电子器件噪声信号分析,表明电子器件噪声中存在这4种类型的信号,并可以用该方法进行有效区分.研究结果为电子器件噪声非常规特性的分析提供了理论依据与定量判据. 展开更多
关键词 电子器件的噪声 时间序列分析 高阶统计量 高斯性 线性
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VLSI金属互连电迁移可靠性评估技术研究
5
作者 薛丽君 杜磊 +3 位作者 庄奕琪 鲍立 李伟华 马中发 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期412-415,共4页
 在简要介绍电迁移失效机理的基础上,对各种电迁移可靠性实验评估方法的特点进行了分析对比,重点研究了VLSI金属互连电迁移可靠性的噪声评估技术。通过实验数据和结果的对比分析,证明噪声方法不仅可行,而且有着其他传统方法不可比拟的...  在简要介绍电迁移失效机理的基础上,对各种电迁移可靠性实验评估方法的特点进行了分析对比,重点研究了VLSI金属互连电迁移可靠性的噪声评估技术。通过实验数据和结果的对比分析,证明噪声方法不仅可行,而且有着其他传统方法不可比拟的优越性,具有极好的应用前景。 展开更多
关键词 VLSI 金属互连 电迁移 可靠性评佶 噪声测试
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MOSFET辐照损伤1/f噪声产生机制的定量鉴别方法
6
作者 李伟华 杜磊 +1 位作者 包军林 马中发 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期6-10,48,共6页
用小波极大模统计参量研究了MOSFET器件辐照损伤低频噪声的时间序列.将辐照前后实验测量的低频噪声信号与数值模型产生的噪声信号统计特性相比较,发现nMOSFET和pMOSFET的低频噪声小波极大模统计结果均与随机电报噪声叠加模型数值信号的... 用小波极大模统计参量研究了MOSFET器件辐照损伤低频噪声的时间序列.将辐照前后实验测量的低频噪声信号与数值模型产生的噪声信号统计特性相比较,发现nMOSFET和pMOSFET的低频噪声小波极大模统计结果均与随机电报噪声叠加模型数值信号的统计特性相接近.辐照前nMOSFET和pMOSFET的统计结果很接近,以致无法区分;辐照后两种器件的小波极大模分布出现明显差异.根据小波极大模统计量判断,随机电报噪声叠加是nMOSFET和pMOSFET低频噪声的主导产生机制,辐照并没有在器件中引入新的缺陷类型,而是使原有缺陷浓度增大,散射增强,辐照引起的nMOSFET损伤比pMOSFET严重. 展开更多
关键词 MOSFET 辐照损伤 1/f噪声 小波分析
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VLSI金属互连线电迁移噪声检测敏感性的逾渗模拟 被引量:1
7
作者 李宇博 马中发 张鹏 《现代电子技术》 2010年第14期186-189,共4页
在电迁移物理机制的基础上结合逾渗理论,建立了一种金属互连线电迁移的逾渗模型。基于该模型,采用蒙特卡罗方法模拟了超大规模集成电路(VLSI)金属互连线电迁移过程中电阻和低频噪声参数的变化规律。结果表明,与传统的电阻测量方法相比,... 在电迁移物理机制的基础上结合逾渗理论,建立了一种金属互连线电迁移的逾渗模型。基于该模型,采用蒙特卡罗方法模拟了超大规模集成电路(VLSI)金属互连线电迁移过程中电阻和低频噪声参数的变化规律。结果表明,与传统的电阻测量方法相比,低频噪声表征方法对电迁移损伤更敏感,检测的效率更高。该研究结果为低频噪声表征VLSI金属互连线电迁移损伤的检测方法提供了理论依据。 展开更多
关键词 电迁移 LF噪声 逾渗模拟 敏感性
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新型自对准石墨烯场效应晶体管制备工艺
8
作者 邓建国 杨勇 +5 位作者 马中发 韩东 吴勇 张鹏 张策 肖郑操 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期525-529,共5页
提出了一种新型自对准石墨烯场效应晶体管(graphere field-effect transistor,GFET)制备工艺,该工艺可与现有Si CMOS工艺相兼容。利用该工艺制备的自对准栅GFET器件可以消除传统GFET器件制备过程中存在的栅极与漏极和源极覆盖区的寄生... 提出了一种新型自对准石墨烯场效应晶体管(graphere field-effect transistor,GFET)制备工艺,该工艺可与现有Si CMOS工艺相兼容。利用该工艺制备的自对准栅GFET器件可以消除传统GFET器件制备过程中存在的栅极与漏极和源极覆盖区的寄生电容或栅极与源极和漏极暴露区的寄生电阻,使器件直流特性得到了很大改善。对制作的样品进行直流I-V特性测试时,清楚地观测到了双极型导电特性。制作的沟道长度为1μm的自对准GFET器件样品最大跨导gm为2.4μS/μm,提取的电子与空穴的本征场效应迁移率μeeff和μheff分别为6 924和7 035 cm2/(V·s),顶栅电压VTG为±30 V时,器件的开关电流比Ion/Ioff约为50,远大于目前已报道的最大GFET开关电流比。 展开更多
关键词 石墨烯 石墨烯场效应晶体管(GFET) 自对准 集成电路(IC)
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Accurate extraction of trap depth responsible for RTS noise in nano-MOSFETs
9
作者 马中发 张鹏 +3 位作者 吴勇 李伟华 庄奕琪 杜磊 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第3期467-470,共4页
This paper presents an accurate analytical model of the random telegraph signal (RTS) noise time-constant ratio (-T/-Te) for RTS noise in nano-MOSFETs, in which the Coulomb-blockade effect on trapping and detrappi... This paper presents an accurate analytical model of the random telegraph signal (RTS) noise time-constant ratio (-T/-Te) for RTS noise in nano-MOSFETs, in which the Coulomb-blockade effect on trapping and detrapping processes was taken into account. Based on this new model, the depth of the trap responsible for RTS noise in a sample n-type nano-MOSFET is extracted. The results show that large errors will be introduced to the calculated trap depth when the Coulomb-blockade effect is neglected. 展开更多
关键词 TRAP RTS noise nano-MOSFETs
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纳米MOSFET栅氧化层中吸引型陷阱的参数提取方法
10
作者 张鹏 庄奕琪 +1 位作者 马中发 吴勇 《中国科学:物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2010年第4期395-399,共5页
通过实验在室温下同时测量纳米MOSFET器件样品漏源电流和栅电流的低频噪声,发现一些样品器件中漏源电流不存在明显的RTS噪声,而栅电流存在显著的RTS噪声,而且该栅电流RTS噪声俘获时间随栅压增大而增大,发射时间随栅压增大而减小的特点,... 通过实验在室温下同时测量纳米MOSFET器件样品漏源电流和栅电流的低频噪声,发现一些样品器件中漏源电流不存在明显的RTS噪声,而栅电流存在显著的RTS噪声,而且该栅电流RTS噪声俘获时间随栅压增大而增大,发射时间随栅压增大而减小的特点,复合陷阱为库伦吸引型陷阱的特点.根据栅电流RTS噪声的时常数随栅压及漏压的变化关系,提取了吸引型氧化层陷阱的深度、在沟道中的横向位置和陷阱能级等信息. 展开更多
关键词 RTS噪声 参数提取 吸引型陷阱
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