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TDL—FZ35型区熔单晶炉下传动部件的设计与制造
1
作者
张树敕
马学陶
《LSI制造与测试》
1992年第6期28-32,共5页
关键词
半导体材料
单晶炉
传动部件
制造
下载PDF
职称材料
拉制大直径区熔Si单晶用的晶体支持器
2
作者
李留臣
马学陶
《LSI制造与测试》
1992年第6期40-42,共3页
关键词
半导体材料
单晶炉
单晶拉制
下载PDF
职称材料
题名
TDL—FZ35型区熔单晶炉下传动部件的设计与制造
1
作者
张树敕
马学陶
出处
《LSI制造与测试》
1992年第6期28-32,共5页
关键词
半导体材料
单晶炉
传动部件
制造
分类号
TF806.9 [冶金工程—有色金属冶金]
下载PDF
职称材料
题名
拉制大直径区熔Si单晶用的晶体支持器
2
作者
李留臣
马学陶
出处
《LSI制造与测试》
1992年第6期40-42,共3页
关键词
半导体材料
单晶炉
单晶拉制
分类号
TF806.9 [冶金工程—有色金属冶金]
下载PDF
职称材料
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作者
出处
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1
TDL—FZ35型区熔单晶炉下传动部件的设计与制造
张树敕
马学陶
《LSI制造与测试》
1992
0
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职称材料
2
拉制大直径区熔Si单晶用的晶体支持器
李留臣
马学陶
《LSI制造与测试》
1992
0
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职称材料
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