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基于两平晶三面互检的折射率均匀性测量方法
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作者 马致遥 郑东晖 +1 位作者 陈磊 马骏 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期97-106,共10页
结合奇偶函数理论,提出了一种基于两平晶三面干涉测量平晶折射率均匀性的方法。该方法通过两块平晶3个表面之间的组合测量,对折射率均匀性引入的误差进行分部求解,生成4个随机波面作为初始3个表面面形和折射率均匀性误差,对其中的均匀... 结合奇偶函数理论,提出了一种基于两平晶三面干涉测量平晶折射率均匀性的方法。该方法通过两块平晶3个表面之间的组合测量,对折射率均匀性引入的误差进行分部求解,生成4个随机波面作为初始3个表面面形和折射率均匀性误差,对其中的均匀性误差复原,结果与初始值仅相差0.6×10-6,残差与平晶表面面形的低频信息无关,仅取决于折射率均匀性本身的旋转不变项。在100 mm口径Zygo干涉仪上完成了两平晶折射率均匀性检测实验。同时通过三平晶透射法对同一块平晶的折射率均匀性进行检测,将两种方法的测量结果进行对比。结果表明两平晶方法获得的折射率均匀性结果与透射法获得的折射率均匀性波面形状相同,指标结果仅相差0.2×10-6,波面偏差峰谷值相差3 nm。分析了影响评估精度的误差项,旋转角度误差与对准误差的影响在实验精度条件下,均方根偏差均小于1 nm。实验结果表明所提出的两平晶三面互检方法能够有效地对平晶的折射率均匀性进行测量。 展开更多
关键词 物理光学 光干涉测量 奇偶函数法 光学均匀性 绝对检测
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20CrMnTi钢球化退火工艺优化
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作者 谢红委 李伟涛 +2 位作者 马致遥 刘建垒 姜传辉 《金属制品》 CAS 2024年第2期29-30,62,共3页
对比分析两种退火工艺下材料的组织和性能,获得最佳球化退火工艺参数。将试样随炉加热至715℃后以20℃/h速度升温至760℃保温7 h。随炉冷却至720℃保温5 h,再以20℃/h速度降至500℃,然后自然冷却,球化级别达到4级,碳化物75%为球状或点状... 对比分析两种退火工艺下材料的组织和性能,获得最佳球化退火工艺参数。将试样随炉加热至715℃后以20℃/h速度升温至760℃保温7 h。随炉冷却至720℃保温5 h,再以20℃/h速度降至500℃,然后自然冷却,球化级别达到4级,碳化物75%为球状或点状,布氏硬度136 HBW,满足客户使用要求。还需优化材料的塑性、硬度及强度指标,优化保温时间和保温温度,以降低能耗,改善冷挤压效果。 展开更多
关键词 20CrMnTi 球化退火 冷加工 布氏硬度 碳化物
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液体基准平面的Φ300 mm立式斐索干涉仪系统误差标定 被引量:3
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作者 马致遥 陈磊 +4 位作者 郑东晖 马海颖 李若琨 黄晨 胡晨辉 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第2期440-449,共10页
在高精度的干涉检测中,干涉仪系统误差的标定越来越重要。根据立式斐索干涉仪的结构特点,采用液面作为平面基准,对参考平晶的自重变形量以及夹持形变进行补偿校准,对其系统误差进行标定。理论上,液面和地球半径的曲率相同,可认作平面基... 在高精度的干涉检测中,干涉仪系统误差的标定越来越重要。根据立式斐索干涉仪的结构特点,采用液面作为平面基准,对参考平晶的自重变形量以及夹持形变进行补偿校准,对其系统误差进行标定。理论上,液面和地球半径的曲率相同,可认作平面基准对立式结构干涉仪的系统误差进行标定。针对Φ300 mm立式斐索干涉仪,研究了不同的液体粘度、液体厚度、干涉腔长和环境温度对液面测量的影响,构建了可靠的液面基准。通过液面基准,指导干涉仪参考平晶的装调校准,对其系统误差进行补偿,干涉仪精度达到0.035λ,优于λ/25。为了进一步验证液面基准的可靠性与准确性,进行了重复性实验,并且采用Φ400 mm的液面和Φ450 mm的液面进行比对测试,两次标定结果的偏差优于λ/100(6 nm),验证了液面基准的可靠性与准确性。 展开更多
关键词 干涉测量 液面基准 表面形状测量 系统误差
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Random phase screen influence of the inhomogeneous tissue layer on the generation of acoustic vortices 被引量:1
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作者 马致遥 马骏 +1 位作者 章东 屠娟 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第3期291-298,共8页
The influence of the inhomogeneous tissue layer on the generation of acoustic vortices (AV) is studied theoretically and experimentally based on the phase screen model. By considering the time-shift of a random phas... The influence of the inhomogeneous tissue layer on the generation of acoustic vortices (AV) is studied theoretically and experimentally based on the phase screen model. By considering the time-shift of a random phase screen, the formula of acoustic pressure for the AV beam generated by a circular array of eight planar piston sources is derived. With the actual correlation length of the abdominal wall, numerical simulations before and after the insertion of the inhomogeneous tissue layer are conducted, and also demonstrated by experimental measurements. It is proved that, when the thickness variation of the phase screen is less than one wavelength, no significant influence on the generation of AVs can be produced. The variations of vortex nodes and antinodes in terms of the location, shape, and size of AVs are not obvious. Although the circular pressure distribution might be deformed by the phase interference with a larger thickness variation, AVs can still be generated around the center axis with perfect phase spirals in a reduced effective radius. The favorable results provide the feasibility of AV generation inside the human body and suggest the application potential of AVs in object manipulation for biomedical engineering. 展开更多
关键词 acoustic vortices random phase screen phase spiral correlation length
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基于低粘度硅油波动的动态干涉仪误差标定
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作者 钱月 郑东晖 +3 位作者 胡晨辉 马致遥 张喆 陈磊 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期7-13,共7页
液面绝对检验法通常以高粘度液体平面作为基准标定光学平晶的平整度,基准液面的稳定时间及受干扰后恢复时间长。文章提出动态液面绝对检验法,采用动态干涉仪测量低粘度硅油表面的动态面形,将其平均值作为基准面,用于标定干涉仪的系统误... 液面绝对检验法通常以高粘度液体平面作为基准标定光学平晶的平整度,基准液面的稳定时间及受干扰后恢复时间长。文章提出动态液面绝对检验法,采用动态干涉仪测量低粘度硅油表面的动态面形,将其平均值作为基准面,用于标定干涉仪的系统误差。基于多维模态分析原理,建立液面波动模型,使用有限元法进行仿真。仿真结果显示,动态液面是以地球半径对应的标准液面为基准的垂直波动,振幅呈余弦形式。液面平整度在采样时间内剩余误差的均值可以控制在10^(-3)nm量级。在Φ300mm立式动态斐索干涉仪上采用0.65Cst粘度、液面厚度3mm的硅油进行实验,采样时间30s。将低粘度硅油动态干涉测量标定结果与静态绝对检验结果进行比对,二者面形分布一致,PV值偏差为λ/63,RMS值偏差为λ/400。仿真和实验结果证明了干涉仪系统误差可以用低粘度硅油干涉测量均值结果标定。 展开更多
关键词 干涉仪误差标定 液面绝对检验 低粘度动态液面 多维模态分析 液面波动有限元仿真
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双水口钢包浇注末期汇流旋涡形成的影响因素
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作者 赵烁 卢中阳 +3 位作者 张泽 马致遥 曹永波 唐海燕 《钢铁》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期71-79,共9页
钢包浇注末期,当钢液面降低到一定高度时,由于钢液的黏性、初始切向速度和科氏力的相互作用,钢包内会形成漏斗状的汇流旋涡。旋涡一旦贯通到水口会把钢水上方的炉渣和空气卷入到钢水中污染钢液,因此在生产中需准确把控旋涡的产生和贯通... 钢包浇注末期,当钢液面降低到一定高度时,由于钢液的黏性、初始切向速度和科氏力的相互作用,钢包内会形成漏斗状的汇流旋涡。旋涡一旦贯通到水口会把钢水上方的炉渣和空气卷入到钢水中污染钢液,因此在生产中需准确把控旋涡的产生和贯通高度,以便在形成旋涡时及时关闭浇钢口。另一方面通过优化钢包工艺参数从而使旋涡延迟产生也可减少钢包留钢量,提高金属收得率。针对双水口钢包浇注末期旋涡的特性和影响因素研究很少。以一个服役的150 t双水口工业钢包为原型,基于相似原理,采用有机玻璃制作了1∶3.5的钢包物理模型,通过水模拟方法研究了钢包静置时间、初始液位高度、水口位置、水口结构、底吹搅拌和阻旋装置等因素对浇注末期旋涡形成过程的影响。结果表明,钢液静置时间和初始液位高度对旋涡高度无明显影响,而水口位置对旋涡的起旋高度影响较大,对贯通高度几乎无影响。当2个水口偏心率分别为0.60和0.83时,旋涡的起旋高度最小,为17 mm。与漏斗形水口相比,正方形水口可以降低旋涡的起旋高度。另外,在本试验条件下,增加底吹搅拌操作对控制旋涡不利,而在距离包底中心0.6R(R为钢包底半径)处,靠近2个水口连线处安装阻旋装置会降低旋涡的起旋高度,有利于抑制旋涡的产生。 展开更多
关键词 钢包 双水口 浇注末期 物理模拟 汇流旋涡
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Φ600mm波长调谐干涉仪的振动误差抑制算法 被引量:1
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作者 郑东晖 陈磊 +2 位作者 马致遥 李金鹏 胡晨辉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第23期96-103,共8页
为抑制Φ600 mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差,研究了波长调谐振动抑制算法。该算法构建了基于波长调谐移相的振动理论模型,在此基础上建立光强与初始相位的关系曲线,从它的频谱中提取谐波系数用于修正初始相位,解算出真... 为抑制Φ600 mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差,研究了波长调谐振动抑制算法。该算法构建了基于波长调谐移相的振动理论模型,在此基础上建立光强与初始相位的关系曲线,从它的频谱中提取谐波系数用于修正初始相位,解算出真实相位。引入评价参数误差抑制系数,将该算法应用于Φ600 mm波长调谐平面移相干涉仪,经过振动抑制算法的处理,振动引起的二倍频“纹波”误差得到较好的抑制,波面峰谷值由0.1180λ降至0.0951λ(λ为波长),均方根值由0.0164λ降到0.0135λ,结果验证了振动抑制算法在波长调谐移相干涉仪上的有效性。 展开更多
关键词 测量 移相干涉 波长调谐 大口径干涉仪 振动抑制
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格子玻尔兹曼方法对不同张角聚焦声束的建模 被引量:5
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作者 马致遥 单锋 章东 《声学学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第2期217-223,共7页
高强度聚焦超声(HIFU)是一种新型的无创治疗肿瘤新技术,其中换能器声场数值计算能够为HIFU治疗提供重要的依据。传统非线性KZK和SBE模型广泛应用于换能器声场数值计算,但依然存在某些不足。我们采用一种介观尺度的新型流体力学方法,... 高强度聚焦超声(HIFU)是一种新型的无创治疗肿瘤新技术,其中换能器声场数值计算能够为HIFU治疗提供重要的依据。传统非线性KZK和SBE模型广泛应用于换能器声场数值计算,但依然存在某些不足。我们采用一种介观尺度的新型流体力学方法,即格子Boltzmann方法(LBM),基于2维9离散速度(D2Q9)格子构建了轴对称多弛豫参数LBM模型,并通过调节弛豫参数分析其对模型的影响;利用该模型对两个具有不同张角的球面聚焦换能器的声场进行数值模拟,并与KZK和SBE模型的计算结果进行比较。结果表明LBM模型能够很好地描述超声波的激发和传播机制,从流体力学的角度描述聚焦声场的分布,具有清晰的物理意义,且计算过程不受换能器张角的限制,在换能器声场的理论分析和模拟计算及其在HIFU治疗中的应用有着积极的意义。 展开更多
关键词 聚焦换能器 声场计算 LBM 模型计算
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抑制移相干涉仪中相干噪声的多模光纤扩展光源研究 被引量:1
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作者 胡晨辉 陈磊 +5 位作者 黄晨 马致遥 钱月 张喆 李若琨 郑东晖 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第19期1-8,共8页
激光干涉仪中光学元件上的瑕疵、气泡和脏点等会在干涉图中引入类似“牛眼环”的相干噪声。为解决这一问题,提出一种基于多模光纤扩展光源的相干噪声抑制方法。该方法利用扩展光源抑制相干噪声,选择最优多模光纤纤芯保证良好的干涉条纹... 激光干涉仪中光学元件上的瑕疵、气泡和脏点等会在干涉图中引入类似“牛眼环”的相干噪声。为解决这一问题,提出一种基于多模光纤扩展光源的相干噪声抑制方法。该方法利用扩展光源抑制相干噪声,选择最优多模光纤纤芯保证良好的干涉条纹对比度,并使用复合散斑抑制技术,通过多模光纤和旋转毛玻璃减小散斑对比度,抑制多模光纤模式干涉产生的散斑噪声。在直径为300 mm的干涉仪中进行了仿真分析与实验验证,结果表明:在直径为300 mm的菲佐立式平面干涉仪,腔长为500 mm,相机曝光时间为5 ms的条件下,将该光源系统中多模光纤纤芯直径范围控制在0.52~1.70 mm范围内,可以保证干涉条纹对比度大于0.75;干涉仪最终成像的散斑对比度维持在0.04左右,最小可以达到0.044;多模光纤扩展光源进一步提高了光源的均匀性,干涉仪中成像背景更均匀。实验证明了所提方法可以有效抑制干涉图中的相干噪声。 展开更多
关键词 光纤光学 干涉测量 菲佐干涉仪 扩展光源 相干噪声 散斑 信噪比
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基于液面旋转平移法的绝对检验技术研究 被引量:1
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作者 马海颖 陈磊 +4 位作者 王云涛 胡晨辉 黄晨 马致遥 郑东晖 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期21-26,64,共7页
绝对检验作为一种光学元件高精度检测方法,其中的两平晶绝对检验无法精确测量平移过程中的倾斜误差,导致恢复的面形中二次项出现偏差。液面在位置变化前后能够保持水平,在旋转平移过程中不会产生倾斜误差。推导了平移过程中倾斜误差和... 绝对检验作为一种光学元件高精度检测方法,其中的两平晶绝对检验无法精确测量平移过程中的倾斜误差,导致恢复的面形中二次项出现偏差。液面在位置变化前后能够保持水平,在旋转平移过程中不会产生倾斜误差。推导了平移过程中倾斜误差和恢复面形中离焦项的关系,并通过仿真分析加以验证,当不存在倾斜误差时,残差面PV值小于1nm。在300mm口径立式斐索干涉仪上进行液面旋转平移干涉实验,将所得到结果与传统三面互检法进行对比,面形基本一致,PV值偏差小于1.3nm,RMS值偏差小于0.65nm,证明了液面旋转平移法在干涉测量过程中不会引入倾斜误差。 展开更多
关键词 干涉测量 平面绝对检验 液面旋转平移 倾斜误差
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基于奇偶函数分解算法的绝对检验对比研究
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作者 李若琨 陈磊 +4 位作者 马致遥 张喆 胡晨辉 郑东晖 胡志豪 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第6期684-689,共6页
奇偶函数法与N次旋转法是平面绝对检验方法中常用的两种方法,这两方法在恢复面形的过程中都使用了奇偶函数分解算法,但是在求解奇奇项方面使用的方法不同,对比了这两种绝对检验方法。在奇偶函数法与N次旋转法的算法仿真过程中加入待测... 奇偶函数法与N次旋转法是平面绝对检验方法中常用的两种方法,这两方法在恢复面形的过程中都使用了奇偶函数分解算法,但是在求解奇奇项方面使用的方法不同,对比了这两种绝对检验方法。在奇偶函数法与N次旋转法的算法仿真过程中加入待测平晶重力形变的有限元分析,并对100mm口径平晶进行奇偶函数法与N次旋转法实验,将面形恢复结果与液面法测量结果对比,结果显示奇偶函数法恢复面形的PV值差值为4.864nm,N次旋转法恢复面形的PV值差值为1.853nm。结果表明存在重力影响时,N次旋转法恢复面形精度优于奇偶函数法。仿真分析旋转角度误差对于奇偶函数法与N次旋转法的影响,结果显示N次旋转法抗旋转角度误差能力强于奇偶函数法。 展开更多
关键词 干涉测量 平面绝对检验 奇偶函数法 N次旋转法 有限元分析
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