TFT-LCD生产线智能破片分析平台的建立与应用

针对TFT-LCD生产线彩色滤光片制作过程中频发的玻璃基板破片问题,构建基于OIC/YMS系统的破片分析数据库软件平台,通过基板在生产线传送过程中与各类设备机构接触点数据库、历史破片破裂点Mapping数据库、基板生产线履历数据库相结合,形成OIC(Operator interface client)录入、YMS(Yield management system)查询的客户端查询平台,实现由软件查询匹配分析替代人工分析,随着数据的积累,可实现快速锁定碎片发生设备、提升分析结果的准确性,并输出针对破片的有效预防项目和维护周期,从而实现破片率的降低。