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单片晶圆气液混合流清洗技术研究
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作者 刘佰红 杨炜平 +7 位作者 梁翔 杨丽丽 杜浩楠 保加兵 石春明 马跃霞 殷艳娥 段瑜 《红外技术》 CSCD 北大核心 2022年第12期1332-1337,共6页
研究了气液混合流清洗方法对单片晶圆表面颗粒的去除效果,引入无量纲参数移径比(H/D)讨论其对单片晶圆表面颗粒去除效率的影响。此外,还讨论了冲洗时间、冲洗压力对颗粒去除效率的影响。结果表明:晶圆表面颗粒去除效率随着冲洗时间、冲... 研究了气液混合流清洗方法对单片晶圆表面颗粒的去除效果,引入无量纲参数移径比(H/D)讨论其对单片晶圆表面颗粒去除效率的影响。此外,还讨论了冲洗时间、冲洗压力对颗粒去除效率的影响。结果表明:晶圆表面颗粒去除效率随着冲洗时间、冲洗压力的增大而提高。移径比为1时晶圆表面颗粒去除效率最高;当移径比小于1时,晶圆表面颗粒去除效率随移径比增大而提高;当移径比大于1时,晶圆表面开始出现未被冲洗的区域,颗粒去除效率随移径比增大而迅速降低。采用气液混合流清洗技术,可以实现颗粒直径为0.2~0.3μm范围的颗粒去除效率达99%以上,颗粒直径为0.1~0.5μm范围的颗粒去除效率达96%以上。 展开更多
关键词 气液混合流清洗 冲洗时间 移径比 冲洗压力 颗粒去除效率
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浅谈工程造价资料的积累
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作者 马跃霞 《大陆桥视野》 2010年第06X期42-43,共2页
工程建设从在可行性研究到竣工结算、评估的全过程中,对于“合理确定和有效控制工程造价”而言,“合理确定”属于工程造价管理工作,“有效控制”实质则是投资费用的控制,属于投资管理的范围。尽管我们建筑工程与投资管理属于完全不... 工程建设从在可行性研究到竣工结算、评估的全过程中,对于“合理确定和有效控制工程造价”而言,“合理确定”属于工程造价管理工作,“有效控制”实质则是投资费用的控制,属于投资管理的范围。尽管我们建筑工程与投资管理属于完全不同的领域,但从建设项目实施的全过程看,工程建设源于投资需求,加强工程造价管理工作,才能合理确定工程造价。 展开更多
关键词 控制工程造价 工程造价管理工作 工程建设 投资管理 竣工结算 投资费用 建筑工程 项目实施
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如何提高建筑工程竣工结算定案率
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作者 马跃霞 《大陆桥视野》 2010年第07X期61-61,64,共2页
建筑工程竣工结算是企业管理的重要组成部分,当年竣工、当年结算定案的比例对建筑市场而言,比较低。这种现象严重影响了企业的正常经营活动,影响了企业的经济效益。如何提高建筑工程结算定案率,使企业各项管理工作能正常科学地运作... 建筑工程竣工结算是企业管理的重要组成部分,当年竣工、当年结算定案的比例对建筑市场而言,比较低。这种现象严重影响了企业的正常经营活动,影响了企业的经济效益。如何提高建筑工程结算定案率,使企业各项管理工作能正常科学地运作,各种报表能及时准确无误,使工程款能及时回收,是各施工企业迫在眉睫的一件大事。 展开更多
关键词 建筑工程 竣工 结算定案率 施工企业 工程监理制
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如何提高建筑工程竣工结算定案率 被引量:4
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作者 马跃霞 《施工企业管理》 2013年第10期80-81,共2页
提高工程竣工结算定案率,只有施工企业方的努力是不够的,需要各方面、各部门的共同努力。工程监理制的推行,有助于竣工结算定案率的提高。建筑工程竣工结算是企业管理的重要组成部分,"当年竣工,当年结算定案"的比例在建筑市场中比较... 提高工程竣工结算定案率,只有施工企业方的努力是不够的,需要各方面、各部门的共同努力。工程监理制的推行,有助于竣工结算定案率的提高。建筑工程竣工结算是企业管理的重要组成部分,"当年竣工,当年结算定案"的比例在建筑市场中比较低。这种现象严重影响了企业的正常经营活动,影响了企业的经济效益。如何提高建筑工程结算定案率,使工程款能及时收回、各种报表能及时准确无虚,是决定企业各项管理工作能否科学地运作的一件大事,同时,也是建设单位的需要。 展开更多
关键词 工程竣工结算 高建筑 施工企业 工程监理制 组成部分 企业管理 建筑市场 经营活动
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