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大型全金属超高真空规管比对系统 被引量:1
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作者 陆经 何平 +3 位作者 仇华兴 郑主安 马锡芳 孟宪华 《真空》 CAS 北大核心 1989年第2期40-45,共6页
本文主要介绍了全金属超高真空规管比对系统。该系统具有大容积、全金属等优点。图1展示了系统装置:该系统装置的真空校准室容积为198升,规管及连接管道的总容积为 4.2升,两者之比为 47.2倍,满足了 ISO/DIS 35... 本文主要介绍了全金属超高真空规管比对系统。该系统具有大容积、全金属等优点。图1展示了系统装置:该系统装置的真空校准室容积为198升,规管及连接管道的总容积为 4.2升,两者之比为 47.2倍,满足了 ISO/DIS 3568标准。该系统的极限真 空为 1.7×10-9Pa,校准范围为 10-2~10-8Pa. 9只规管均匀地分布在校准室容器上 (图2),以便减少规管间的相互影响.讨论了影响压强稳定度和均匀性的因素(图3)。 例举了比对实验的实测结果(表 2)。此系统满足了北京正负电子对撞机(BEPC)贮 存环所用超高真空规管校准的需要,同时,也为其它用户提供良好的服务。 展开更多
关键词 真空 校准 真空规 测量
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