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低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究
被引量:
3
1
作者
王伟
熊斌
+1 位作者
王跃林
马颖蕾
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2012年第1期62-64,共3页
研究了玻璃浆料在低温下真空封装MEMS器件的工艺。封装过程中,采用了丝网印刷技术,丝网的线宽设计为100μm,印刷后玻璃浆料线宽为160μm左右,从而能够减小封装器件的尺寸,节省成本;另外,对玻璃浆料键合工艺做了研究,找到了较好的工艺条...
研究了玻璃浆料在低温下真空封装MEMS器件的工艺。封装过程中,采用了丝网印刷技术,丝网的线宽设计为100μm,印刷后玻璃浆料线宽为160μm左右,从而能够减小封装器件的尺寸,节省成本;另外,对玻璃浆料键合工艺做了研究,找到了较好的工艺条件,采用该工艺(预烧结温度425℃,键合温度430℃),得到的封装结构具有较高的封接强度(剪切力>20 kgf)和良好的真空度,测得的漏率为10-9 cm3/s。
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关键词
微机电系统
玻璃浆料封装
加速度计
真空封装
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职称材料
谐振式MEMS磁传感器接口电路设计
被引量:
3
2
作者
高华磊
徐德辉
+2 位作者
刘松
马颖蕾
熊斌
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第11期87-89,93,共4页
介绍了一种谐振式微系统(MEMS)磁传感器的接口电路,电路由驱动电路和信号检测处理电路组成。驱动电路采用直接数字频率合成器(DDS)产生磁传感器驱动信号,同时为检测电路提供同步信号;信号检测处理电路对磁传感器输出信号和DDS产生的同...
介绍了一种谐振式微系统(MEMS)磁传感器的接口电路,电路由驱动电路和信号检测处理电路组成。驱动电路采用直接数字频率合成器(DDS)产生磁传感器驱动信号,同时为检测电路提供同步信号;信号检测处理电路对磁传感器输出信号和DDS产生的同步信号进行同步解调,最终得到所需的磁场信号。最后对电路的性能和测试结果进行分析和总结。
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关键词
微系统磁传感器
直接数字频率合成器驱动
同步解调
接口电路
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职称材料
工业与高科技的交响乐:德国高科技产业的发展密码
被引量:
1
3
作者
李楚天
马颖蕾
《张江科技评论》
2021年第2期52-55,共4页
高科技提升了“德国制造”的竞争力,而“德国制造”则为高科技提供了广阔的应用前景和巨大的市场空间。两者相互成就、交相辉映,共同谱写了德国经济发达与社会繁荣的交响乐。
关键词
高科技产业
德国制造
竞争力
交响乐
交相辉映
应用前景
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职称材料
质量立校 人才强校 特色兴校 品牌铸校——记不断发展的北大方正软件技术学院
4
作者
张韦韦
马颖蕾
《教育与职业》
北大核心
2007年第25期67-69,共3页
“三位一体”是学院高水平、个性化和影响力的标志.
关键词
技术学院
人才强校
特色兴校
方正软件
质量
北大
品牌
“三位一体”
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职称材料
俄罗斯高科技产业的破局之道:集中力量办大事
5
作者
李楚天
马颖蕾
《张江科技评论》
2022年第1期54-57,共4页
俄罗斯科技发展经过3个世纪的探索,可以说由政府最高层指导协调全国优质资源,集中力量办大事,并以此为基础发挥市场化手段的决定性作用,是相对更适合俄罗斯的科技创新发展之路。在苏联解体后,俄罗斯社会发生了剧变。30年过去了,今天的...
俄罗斯科技发展经过3个世纪的探索,可以说由政府最高层指导协调全国优质资源,集中力量办大事,并以此为基础发挥市场化手段的决定性作用,是相对更适合俄罗斯的科技创新发展之路。在苏联解体后,俄罗斯社会发生了剧变。30年过去了,今天的俄罗斯高科技产业正在逐步走向复苏,尽管远不能与苏联时代的盛况相提并论,但是已经停止了自由落体般的倒退和衰落。
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关键词
高科技产业
集中力量办大事
自由落体
优质资源
创新发展之路
市场化手段
破局之道
俄罗斯
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职称材料
欧洲小而美的创新典范:爱沙尼亚
6
作者
李楚天
马颖蕾
《张江科技评论》
2021年第3期56-59,共4页
爱沙尼亚,一个独立建国只有30年的波罗的海小国,被世界定义为未来社会的模样。它是如何提前一步实现全面电子化、信息化的呢?爱沙尼亚的异军突起又有着怎样的偶然与必然?爱沙尼亚,波罗的海三国之一,与芬兰隔海相望。那里,山林小溪星罗棋...
爱沙尼亚,一个独立建国只有30年的波罗的海小国,被世界定义为未来社会的模样。它是如何提前一步实现全面电子化、信息化的呢?爱沙尼亚的异军突起又有着怎样的偶然与必然?爱沙尼亚,波罗的海三国之一,与芬兰隔海相望。那里,山林小溪星罗棋布,被茂密森林大片覆盖的国土里不时能发现中世纪日耳曼人留下的大大小小的城堡与庄园,其中很多都能追溯到条顿骑士团国鼎盛时期。同时,在这个国家大大小小的隘口附近。
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关键词
偶然与必然
波罗的海
爱沙尼亚
日耳曼人
信息化
电子化
小而美
条顿骑士团
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职称材料
跨国协同创新的典范:比利时、荷兰、卢森堡携手共进
7
作者
李楚天
马颖蕾
《张江科技评论》
2021年第4期58-61,共4页
比利时、荷兰、卢森堡协同分工、优势互补,营造竞争合作的良性循环,在互利共赢的同时助推产业升级与技术创新。比利时、荷兰、卢森堡地处欧洲西部,因三国地势整体处于低洼地区,传统上被称为低地国家。尤其是荷兰,其沿海的部分国土处在...
比利时、荷兰、卢森堡协同分工、优势互补,营造竞争合作的良性循环,在互利共赢的同时助推产业升级与技术创新。比利时、荷兰、卢森堡地处欧洲西部,因三国地势整体处于低洼地区,传统上被称为低地国家。尤其是荷兰,其沿海的部分国土处在海平面以下。那里的人们经过世代努力,修得一手好堤坝,建得一手好风车,同时在填海造陆方面颇有心得。
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关键词
协同创新
良性循环
产业升级
填海造陆
低洼地区
技术创新
互利共赢
卢森堡
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职称材料
高度就是资源:法国和意大利的高科技产业
8
作者
李楚天
马颖蕾
《张江科技评论》
2021年第5期48-51,共4页
法国和意大利在发展高科技产业时不约而同地把航空航天产业作为重点。航空航天一直追求更高的高度、更远的距离、更快的速度、更安全的过程和更优美的造型,而这份冲破束缚、奔向自由的浪漫在很大程度上契合了法意两国的民族性格。法国...
法国和意大利在发展高科技产业时不约而同地把航空航天产业作为重点。航空航天一直追求更高的高度、更远的距离、更快的速度、更安全的过程和更优美的造型,而这份冲破束缚、奔向自由的浪漫在很大程度上契合了法意两国的民族性格。法国和意大利,拉丁文明现在和昔日的王者。两国以阿尔卑斯山为界,隔地中海相望。
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关键词
高科技产业
航空航天
阿尔卑斯山
民族性格
地中海
拉丁文
意大利
法国
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职称材料
因地制宜,创新驱动--北欧实现跨越式发展
9
作者
李楚天
马颖蕾
《张江科技评论》
2021年第6期52-56,共5页
北欧五国,不仅历史背景紧密相连,生活方式、宗教、社会和政治制度相近,而且因地制宜,结合自身现有条件和传统优势,通过科技创新驱动经济实现跨越式发展。
关键词
因地制宜
跨越式发展
创新驱动
紧密相连
历史背景
现有条件
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职称材料
题名
低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究
被引量:
3
1
作者
王伟
熊斌
王跃林
马颖蕾
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
中国科学院研究生院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2012年第1期62-64,共3页
文摘
研究了玻璃浆料在低温下真空封装MEMS器件的工艺。封装过程中,采用了丝网印刷技术,丝网的线宽设计为100μm,印刷后玻璃浆料线宽为160μm左右,从而能够减小封装器件的尺寸,节省成本;另外,对玻璃浆料键合工艺做了研究,找到了较好的工艺条件,采用该工艺(预烧结温度425℃,键合温度430℃),得到的封装结构具有较高的封接强度(剪切力>20 kgf)和良好的真空度,测得的漏率为10-9 cm3/s。
关键词
微机电系统
玻璃浆料封装
加速度计
真空封装
Keywords
MEMS
glass frit packaging
accelerometers
vacuum packaging
分类号
TN305.94 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
谐振式MEMS磁传感器接口电路设计
被引量:
3
2
作者
高华磊
徐德辉
刘松
马颖蕾
熊斌
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第11期87-89,93,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51577186
51306200)
文摘
介绍了一种谐振式微系统(MEMS)磁传感器的接口电路,电路由驱动电路和信号检测处理电路组成。驱动电路采用直接数字频率合成器(DDS)产生磁传感器驱动信号,同时为检测电路提供同步信号;信号检测处理电路对磁传感器输出信号和DDS产生的同步信号进行同步解调,最终得到所需的磁场信号。最后对电路的性能和测试结果进行分析和总结。
关键词
微系统磁传感器
直接数字频率合成器驱动
同步解调
接口电路
Keywords
MEMS magnetic sensor
direct digital frequency synthesizer(DDS) drive
synchronous demodulation
interface circuit
分类号
TN709 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
工业与高科技的交响乐:德国高科技产业的发展密码
被引量:
1
3
作者
李楚天
马颖蕾
机构
上海新微科技集团有限公司
上海新微科技发展有限公司
复旦大学材料科学系
出处
《张江科技评论》
2021年第2期52-55,共4页
文摘
高科技提升了“德国制造”的竞争力,而“德国制造”则为高科技提供了广阔的应用前景和巨大的市场空间。两者相互成就、交相辉映,共同谱写了德国经济发达与社会繁荣的交响乐。
关键词
高科技产业
德国制造
竞争力
交响乐
交相辉映
应用前景
分类号
F42 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
质量立校 人才强校 特色兴校 品牌铸校——记不断发展的北大方正软件技术学院
4
作者
张韦韦
马颖蕾
出处
《教育与职业》
北大核心
2007年第25期67-69,共3页
文摘
“三位一体”是学院高水平、个性化和影响力的标志.
关键词
技术学院
人才强校
特色兴校
方正软件
质量
北大
品牌
“三位一体”
分类号
G649.2 [文化科学—高等教育学]
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职称材料
题名
俄罗斯高科技产业的破局之道:集中力量办大事
5
作者
李楚天
马颖蕾
机构
上海新微科技集团有限公司
上海新微科技发展有限公司
复旦大学材料科学系
出处
《张江科技评论》
2022年第1期54-57,共4页
文摘
俄罗斯科技发展经过3个世纪的探索,可以说由政府最高层指导协调全国优质资源,集中力量办大事,并以此为基础发挥市场化手段的决定性作用,是相对更适合俄罗斯的科技创新发展之路。在苏联解体后,俄罗斯社会发生了剧变。30年过去了,今天的俄罗斯高科技产业正在逐步走向复苏,尽管远不能与苏联时代的盛况相提并论,但是已经停止了自由落体般的倒退和衰落。
关键词
高科技产业
集中力量办大事
自由落体
优质资源
创新发展之路
市场化手段
破局之道
俄罗斯
分类号
F27 [经济管理—企业管理]
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职称材料
题名
欧洲小而美的创新典范:爱沙尼亚
6
作者
李楚天
马颖蕾
机构
上海新微科技集团有限公司
上海新微科技发展有限公司
复旦大学材料科学系
出处
《张江科技评论》
2021年第3期56-59,共4页
文摘
爱沙尼亚,一个独立建国只有30年的波罗的海小国,被世界定义为未来社会的模样。它是如何提前一步实现全面电子化、信息化的呢?爱沙尼亚的异军突起又有着怎样的偶然与必然?爱沙尼亚,波罗的海三国之一,与芬兰隔海相望。那里,山林小溪星罗棋布,被茂密森林大片覆盖的国土里不时能发现中世纪日耳曼人留下的大大小小的城堡与庄园,其中很多都能追溯到条顿骑士团国鼎盛时期。同时,在这个国家大大小小的隘口附近。
关键词
偶然与必然
波罗的海
爱沙尼亚
日耳曼人
信息化
电子化
小而美
条顿骑士团
分类号
G63 [文化科学—教育学]
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职称材料
题名
跨国协同创新的典范:比利时、荷兰、卢森堡携手共进
7
作者
李楚天
马颖蕾
机构
上海新微科技集团有限公司
出处
《张江科技评论》
2021年第4期58-61,共4页
文摘
比利时、荷兰、卢森堡协同分工、优势互补,营造竞争合作的良性循环,在互利共赢的同时助推产业升级与技术创新。比利时、荷兰、卢森堡地处欧洲西部,因三国地势整体处于低洼地区,传统上被称为低地国家。尤其是荷兰,其沿海的部分国土处在海平面以下。那里的人们经过世代努力,修得一手好堤坝,建得一手好风车,同时在填海造陆方面颇有心得。
关键词
协同创新
良性循环
产业升级
填海造陆
低洼地区
技术创新
互利共赢
卢森堡
分类号
F42 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
高度就是资源:法国和意大利的高科技产业
8
作者
李楚天
马颖蕾
机构
上海新微科技集团有限公司
出处
《张江科技评论》
2021年第5期48-51,共4页
文摘
法国和意大利在发展高科技产业时不约而同地把航空航天产业作为重点。航空航天一直追求更高的高度、更远的距离、更快的速度、更安全的过程和更优美的造型,而这份冲破束缚、奔向自由的浪漫在很大程度上契合了法意两国的民族性格。法国和意大利,拉丁文明现在和昔日的王者。两国以阿尔卑斯山为界,隔地中海相望。
关键词
高科技产业
航空航天
阿尔卑斯山
民族性格
地中海
拉丁文
意大利
法国
分类号
F27 [经济管理—企业管理]
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职称材料
题名
因地制宜,创新驱动--北欧实现跨越式发展
9
作者
李楚天
马颖蕾
机构
上海新微科技集团有限公司
出处
《张江科技评论》
2021年第6期52-56,共5页
文摘
北欧五国,不仅历史背景紧密相连,生活方式、宗教、社会和政治制度相近,而且因地制宜,结合自身现有条件和传统优势,通过科技创新驱动经济实现跨越式发展。
关键词
因地制宜
跨越式发展
创新驱动
紧密相连
历史背景
现有条件
分类号
F42 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究
王伟
熊斌
王跃林
马颖蕾
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2012
3
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职称材料
2
谐振式MEMS磁传感器接口电路设计
高华磊
徐德辉
刘松
马颖蕾
熊斌
《传感器与微系统》
CSCD
2016
3
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职称材料
3
工业与高科技的交响乐:德国高科技产业的发展密码
李楚天
马颖蕾
《张江科技评论》
2021
1
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职称材料
4
质量立校 人才强校 特色兴校 品牌铸校——记不断发展的北大方正软件技术学院
张韦韦
马颖蕾
《教育与职业》
北大核心
2007
0
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职称材料
5
俄罗斯高科技产业的破局之道:集中力量办大事
李楚天
马颖蕾
《张江科技评论》
2022
0
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职称材料
6
欧洲小而美的创新典范:爱沙尼亚
李楚天
马颖蕾
《张江科技评论》
2021
0
下载PDF
职称材料
7
跨国协同创新的典范:比利时、荷兰、卢森堡携手共进
李楚天
马颖蕾
《张江科技评论》
2021
0
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职称材料
8
高度就是资源:法国和意大利的高科技产业
李楚天
马颖蕾
《张江科技评论》
2021
0
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职称材料
9
因地制宜,创新驱动--北欧实现跨越式发展
李楚天
马颖蕾
《张江科技评论》
2021
0
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职称材料
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