扫描电子显微镜放大倍数示值误差的校准及不确定度评定

扫描电子显微镜是用于微观表面形貌观察、显微结构分析以及微纳米几何尺寸测量的常用分析仪器。由于仪器扫描图像时易出现放大倍率的偏差,导致图像畸变以及测长不准等问题,因此放大倍数示值误差是该类仪器校准的主要计量特性。利用微米至亚微米尺度一维线间距标样实现对扫描电子显微镜放大倍数示值误差的校准,并对校准结果的不确定度进行评定。

扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法研究

扫描探针显微镜在现代医疗、物理、化学等领域应用广泛,其微纳结构深度测量也因此得到普遍关注。文章尝试分析扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法,首先以机械探针、光学探针建立模拟实验,再结合结果分析影响测量精度的因素,最后据此分析校准方法,给出运用自动化技术、容错技术等内容。

关于测绘仪器测量不确定度中灵敏系数的研究

灵敏系数是不确定度计算的关键因素,在实际测绘仪器计量检定过程中,输入量的采集方式为不同目标多次测算方式,利用公式计算测量结果,获取输出量。在测量不确定度过程中,基于数学模型的繁杂性,致使对输入、输出量的灵敏系数获取难度加大。文章简要介绍了强行偏导法、方差比例法、传递继承法的计算方法,获取其中的灵敏系数,解决测绘仪器测量不确定度的技术问题。