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题名母盘玻璃盘基的制作与工艺
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作者
高为彪
周元大
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机构
上海光和光学制造有限公司
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出处
《记录媒体技术》
2005年第1期52-53,44,共3页
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文摘
精密光学与电子学的迅速发展,尤其是在光学短波 段,对所使用的元件或基板的品质(如材料的各 种缺陷密度,外形尺寸的精度,平面度,平行度,表面 粗糙度,表面硬度等)提出了非常高的要求。特别是表 征基板表面平滑程度的微观表面粗糙度,被要求达到Ra 低于1nm的指标。即我们称之为超光滑表面。
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关键词
母盘
表面粗糙度
平面度
盘基
光滑表面
精密光学
表面硬度
平行度
缺陷密度
基板
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分类号
TQ596
[化学工程—精细化工]
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