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母盘玻璃盘基的制作与工艺
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作者 高为彪 周元大 《记录媒体技术》 2005年第1期52-53,44,共3页
精密光学与电子学的迅速发展,尤其是在光学短波 段,对所使用的元件或基板的品质(如材料的各 种缺陷密度,外形尺寸的精度,平面度,平行度,表面 粗糙度,表面硬度等)提出了非常高的要求。特别是表 征基板表面平滑程度的微观表面粗糙度,被要... 精密光学与电子学的迅速发展,尤其是在光学短波 段,对所使用的元件或基板的品质(如材料的各 种缺陷密度,外形尺寸的精度,平面度,平行度,表面 粗糙度,表面硬度等)提出了非常高的要求。特别是表 征基板表面平滑程度的微观表面粗糙度,被要求达到Ra 低于1nm的指标。即我们称之为超光滑表面。 展开更多
关键词 母盘 表面粗糙度 平面度 盘基 光滑表面 精密光学 表面硬度 平行度 缺陷密度 基板
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