基于激光干涉仪与自准直仪的平面镜轮廓高精度测量技术

基于三组激光干涉光路与一台自准直仪的光学扫描检测方法,开发可用于大尺寸平面镜二维轮廓的高精度测量技术。通过联立线性方程式与最小二乘法结合的计算算法,可得到平面镜二维轮廓的测量结果及整个测量过程的不确定度值。利用建模仿真整个测量过程,分析不同采样点数N下不确定度数值的变化趋势。此外,搭建基于高精度三坐标测量仪平台上的光学检测系统,试验果表明该技术成功实现对100 mm平面镜二维轮廓的测量,并可实现重复性测量精度在±20 nm范围内。通过与Zygo白光干涉系统结果的比较,该检测技术可以实现纳米级别的测量精度。

三坐标测量机的软件的动向

【正】 1.软件在三坐标测量机中的重要性包括计算机在内的软件对三坐标测量机的发展作出了很大贡献,如果没有软件就不能有效地利用,因此三坐标测量机在迅速地软件化。这种现象今后也将会在其它测量仪器上出现。当然,对于一般的测量器具而言。