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用X射线双晶衍射及低温光致发光研究MBE生长GaAs/AlGaAs量子阱材料的均匀性
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作者 冯禹臣 高大超 袁佑荣 《半导体光电》 CAS 1987年第2期-,共9页
本文叙述了用X射线双晶衍射仪非平行(十、一)设置法,测量用分子束外延(MBE)法在GaAs(001)面上生长的量子阱(QW)材料表面各点的回摆曲线。结果表明,松弛状态下晶体表面不同位置上各点的晶格失配、应力以及外延层铝含量分布是不均匀的,这... 本文叙述了用X射线双晶衍射仪非平行(十、一)设置法,测量用分子束外延(MBE)法在GaAs(001)面上生长的量子阱(QW)材料表面各点的回摆曲线。结果表明,松弛状态下晶体表面不同位置上各点的晶格失配、应力以及外延层铝含量分布是不均匀的,这与用低温光致发光(PL)光谱测量的组分均匀性的结果有较好的一致性。实验表明,在工艺相同的条件下,采用MBE生长有超晶格过渡层的GaAs/AlGaAs量子阱材料,提高了外延层的均匀性。 展开更多
关键词 GAAS/ALGAAS 衬底 基片 MBE 激光材料 量子阱材料 外延层 均匀性 双晶衍射 低温光致发光
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硬X射线位相衬度成象 被引量:33
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作者 高大超 A.POGANY +3 位作者 A.W.STEVENSON T.GUREYEV S.W.WILKINS 麦振洪 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第12期2357-2368,共12页
常规X射线成象技术是建立在吸收衬度和几何光学基础上 .介绍了“in line”位相衬度成象技术和成象理论 .以生物样品为例 ,说明常规X射线吸收衬底成象与位相衬度成象的差别 ,并对X射线源尺寸对成象衬度的影响进行了研究 .此外 ,对吸收衬... 常规X射线成象技术是建立在吸收衬度和几何光学基础上 .介绍了“in line”位相衬度成象技术和成象理论 .以生物样品为例 ,说明常规X射线吸收衬底成象与位相衬度成象的差别 ,并对X射线源尺寸对成象衬度的影响进行了研究 .此外 ,对吸收衬底象和位相衬度象的关键参量进行了计算模拟和讨论 . 展开更多
关键词 位相衬度 成象 硬X射线
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