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变间距光栅刻线密度测试系统的性能评价
被引量:
8
1
作者
陈锵
胡中文
+3 位作者
余小江
高家法
王秋平
王琪民
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期9-13,共5页
在国家同步辐射实验室二期工程光束线的建设中,建立了一套变间距光栅刻线密度的测试系统。该系统采用衍射测量法测量光栅间距的变化,可以对光栅长度为100 mm的平面和凹面光栅的刻线密度进行测量。样品测量结果表明,该系统的测量精度△N/...
在国家同步辐射实验室二期工程光束线的建设中,建立了一套变间距光栅刻线密度的测试系统。该系统采用衍射测量法测量光栅间距的变化,可以对光栅长度为100 mm的平面和凹面光栅的刻线密度进行测量。样品测量结果表明,该系统的测量精度△N/N<2×10^(-4),满足光束线工程的要求,可以作为NSRL进口的变间距光栅的验收工具。
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关键词
变间距光栅
刻线密度
测量系统
下载PDF
职称材料
题名
变间距光栅刻线密度测试系统的性能评价
被引量:
8
1
作者
陈锵
胡中文
余小江
高家法
王秋平
王琪民
机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期9-13,共5页
文摘
在国家同步辐射实验室二期工程光束线的建设中,建立了一套变间距光栅刻线密度的测试系统。该系统采用衍射测量法测量光栅间距的变化,可以对光栅长度为100 mm的平面和凹面光栅的刻线密度进行测量。样品测量结果表明,该系统的测量精度△N/N<2×10^(-4),满足光束线工程的要求,可以作为NSRL进口的变间距光栅的验收工具。
关键词
变间距光栅
刻线密度
测量系统
Keywords
Variable spacing grating, Groove spacing, Measurement system
分类号
TL817.4 [核科学技术—核技术及应用]
O432.2 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
变间距光栅刻线密度测试系统的性能评价
陈锵
胡中文
余小江
高家法
王秋平
王琪民
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
8
下载PDF
职称材料
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